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1. 发明专利

TW201346051A 蒸鍍裝置及使用蒸鍍裝置之成膜方法审中-公开
简体标题：蒸镀设备及使用蒸镀设备之成膜方法
公开(公告)号：TW201346051A
公开(公告)日：2013-11-16
申请号：TW102104883
申请日：2013-02-07
申请人：佳能特機股份有限公司 , CANON TOKKI CORPORATION
发明人：鳴海廣治 , NARUMI, HIROJI , 市原正浩 , ICHIHARA, MASAHIRO , 田村博之 , TAMURA, HIROYUKI , 松本栄一 , MATSUMOTO, EIICHI , 永田博彰 , NAGATA, HIROAKI , 田島三之 , TAJIMA, MIYUKI , 吉岡正樹 , YOSHIOKA, MASAKI
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/56 , H01L51/56
CPC分类号： C23C14/04 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/24
摘要：提供一種蒸鍍裝置以及使用該蒸鍍裝置之成膜方法，藉由將基板(2)、與蒸鍍遮罩(3)及蒸發源(1)於分開之狀態下進行相對移動，雖是小型的蒸鍍遮罩(3)卻能蒸鍍在大型的基板，且蒸鍍遮罩(3)為小型者較佳，因而，能夠實現高度精細的遮罩開口部(4)，也不容易產生歪斜問題，而且，藉由成膜部周圍的非成膜部也是做成利用別的用途設置的保護遮罩(5)所覆蓋之構成，可確實地防止蒸鍍到非成膜部，且能夠實現品質優良、高良品率的蒸鍍之優良的蒸鍍裝置以及使用該蒸鍍裝置之成膜方法。一種做成具備於基板(2)與蒸鍍遮罩分開之狀態下，使基板(2)、與蒸發源(1)及蒸鍍遮罩(3)相對移動之移動裝置之構成，以蒸鍍膜不會附著在成膜部周圍的非成膜部(29)之方式將覆蓋該非成膜部(29)之保護遮罩(5)設在基板(2)與蒸鍍遮罩(3)之間之蒸鍍裝置。
简体摘要：提供一种蒸镀设备以及使用该蒸镀设备之成膜方法，借由将基板(2)、与蒸镀遮罩(3)及蒸发源(1)于分开之状态下进行相对移动，虽是小型的蒸镀遮罩(3)却能蒸镀在大型的基板，且蒸镀遮罩(3)为小型者较佳，因而，能够实现高度精细的遮罩开口部(4)，也不容易产生歪斜问题，而且，借由成膜部周围的非成膜部也是做成利用别的用途设置的保护遮罩(5)所覆盖之构成，可确实地防止蒸镀到非成膜部，且能够实现品质优良、高良品率的蒸镀之优良的蒸镀设备以及使用该蒸镀设备之成膜方法。一种做成具备于基板(2)与蒸镀遮罩分开之状态下，使基板(2)、与蒸发源(1)及蒸镀遮罩(3)相对移动之移动设备之构成，以蒸镀膜不会附着在成膜部周围的非成膜部(29)之方式将覆盖该非成膜部(29)之保护遮罩(5)设在基板(2)与蒸镀遮罩(3)之间之蒸镀设备。

2. 发明专利

TW201305372A 蒸鍍裝置及蒸鍍方法审中-公开
简体标题：蒸镀设备及蒸镀方法
公开(公告)号：TW201305372A
公开(公告)日：2013-02-01
申请号：TW101108853
申请日：2012-03-15
申请人：佳能特機股份有限公司 , CANON TOKKI CORPORATION
发明人：鳴海廣治 , NARUMI, HIROJI , 田村博之 , TAMURA, HIROYUKI , 市原正浩 , ICHIHARA, MASAHIRO , 松本榮一 , MATSUMOTO, EIICHI , 田島三之 , TAJIMA, MIYUKI , 永田博彰 , NAGATA, HIROAKI , 吉岡正樹 , YOSHIOKA, MASAKI
IPC分类号： C23C14/56
CPC分类号： C23C14/042 , C23C14/12 , H01L51/001 , H01L51/5012
摘要：提供一種蒸鍍裝置及蒸鍍方法，其係使基板在分離狀態下作相對移動，藉此即使為小型的蒸鍍遮罩，亦可大範圍地將成膜圖案的蒸鍍膜進行蒸鍍，而且防止成膜圖案重疊，並且抑制來自蒸發源的輻射熱的入射，在作為使基板與蒸鍍遮罩在分離狀態下作相對移動的構成的同時，可進行高精度且高效率的蒸鍍。該蒸鍍裝置係在蒸發源(1)與基板(4)之間配設具有設有限制用開口部(5)的飛散限制部的遮罩保持具(6)，在該遮罩保持具(6)附設蒸鍍遮罩(2)，相對於附設有蒸鍍遮罩(2)的遮罩保持具(6)及前述蒸發源(1)，在保持與蒸鍍遮罩(2)的分離狀態下以相對移動自如的方式構成前述基板(4)，蒸鍍遮罩(2)的遮罩開口部(3)係形成為朝前述基板(1)的相對移動方向為長形且與此呈正交的橫向為寬幅狹窄的開縫狀，以該橫向並排設置複數個。
简体摘要：提供一种蒸镀设备及蒸镀方法，其系使基板在分离状态下作相对移动，借此即使为小型的蒸镀遮罩，亦可大范围地将成膜图案的蒸镀膜进行蒸镀，而且防止成膜图案重叠，并且抑制来自蒸发源的辐射热的入射，在作为使基板与蒸镀遮罩在分离状态下作相对移动的构成的同时，可进行高精度且高效率的蒸镀。该蒸镀设备系在蒸发源(1)与基板(4)之间配设具有设有限制用开口部(5)的飞散限制部的遮罩保持具(6)，在该遮罩保持具(6)附设蒸镀遮罩(2)，相对于附设有蒸镀遮罩(2)的遮罩保持具(6)及前述蒸发源(1)，在保持与蒸镀遮罩(2)的分离状态下以相对移动自如的方式构成前述基板(4)，蒸镀遮罩(2)的遮罩开口部(3)系形成为朝前述基板(1)的相对移动方向为长形且与此呈正交的横向为宽幅狭窄的开缝状，以该横向并排设置复数个。

3. 发明专利

TW201305355A 蒸鍍裝置及蒸鍍方法审中-公开
简体标题：蒸镀设备及蒸镀方法
公开(公告)号：TW201305355A
公开(公告)日：2013-02-01
申请号：TW101108852
申请日：2012-03-15
申请人：佳能特機股份有限公司 , CANON TOKKI CORPORATION
发明人：鳴海廣治 , NARUMI, HIROJI , 田村博之 , TAMURA, HIROYUKI , 松本榮一 , MATSUMOTO, EIICHI , 市原正浩 , ICHIHARA, MASAHIRO , 永田博彰 , NAGATA, HIROAKI , 田島三之 , TAJIMA, MIYUKI , 吉岡正樹 , YOSHIOKA, MASAKI
IPC分类号： C23C14/04 , C23C14/24 , H01L51/50 , H05B33/10
CPC分类号： C23C14/12 , C23C14/042 , C23C14/24
摘要：提供可高精度蒸鍍、亦可長時間連續運轉的蒸鍍裝置及蒸鍍方法。該蒸鍍裝置係構成為：在成膜室(30)中，將由蒸發源(1)所蒸發的成膜材料透過蒸鍍遮罩(2)的遮罩開口部而堆積在基板(4)上，藉由該蒸鍍遮罩(2)所決定的成膜圖案的蒸鍍膜被形成在基板(4)上的蒸鍍裝置，其特徵為：具有設有用以限制由前述蒸發源(1)所蒸發的蒸發粒子的飛散方向的限制用開口部(5)的飛散限制部，具備附設有前述蒸鍍遮罩(2)的遮罩保持具(6)，且具備有交換室(31)，該交換室(31)具有：附設有該蒸鍍遮罩(2)的前述遮罩保持具(6)可與前述成膜室(30)往來的負載鎖定室(32)；前述遮罩保持具(6)可與前述負載鎖定室(32)往來的待機室(33)；及可將前述遮罩保持具(6)取出至裝置外部的取出室(34)。
简体摘要：提供可高精度蒸镀、亦可长时间连续运转的蒸镀设备及蒸镀方法。该蒸镀设备系构成为：在成膜室(30)中，将由蒸发源(1)所蒸发的成膜材料透过蒸镀遮罩(2)的遮罩开口部而堆积在基板(4)上，借由该蒸镀遮罩(2)所决定的成膜图案的蒸镀膜被形成在基板(4)上的蒸镀设备，其特征为：具有设有用以限制由前述蒸发源(1)所蒸发的蒸发粒子的飞散方向的限制用开口部(5)的飞散限制部，具备附设有前述蒸镀遮罩(2)的遮罩保持具(6)，且具备有交换室(31)，该交换室(31)具有：附设有该蒸镀遮罩(2)的前述遮罩保持具(6)可与前述成膜室(30)往来的负载锁定室(32)；前述遮罩保持具(6)可与前述负载锁定室(32)往来的待机室(33)；及可将前述遮罩保持具(6)取出至设备外部的取出室(34)。

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