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1. 发明专利

TWI617683B 蒸發源裝置有权
简体标题：蒸发源设备
公开(公告)号：TWI617683B
公开(公告)日：2018-03-11
申请号：TW103108654
申请日：2014-03-12
申请人：佳能特機股份有限公司 , CANON TOKKI CORPORATION
发明人：三澤啓太 , MISAWA, KEITA , 牧修治 , MAKI, SHUJI , 小林義仁 , KOBAYASHI, YOSHIMASA , 近藤喜成 , KONDO, YOSHINARI , 山田尙人 , YAMADA, NAOTO , 渡邊一弘 , WATANABE, KAZUHIRO , 山将大 , YAMAZAKI, MASAHIRO , 松本栄一 , MATSUMOTO, EIICHI
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： C23C14/243

2. 发明专利

TW201510252A 蒸發源裝置审中-公开
简体标题：蒸发源设备
公开(公告)号：TW201510252A
公开(公告)日：2015-03-16
申请号：TW103108655
申请日：2014-03-12
申请人：佳能特機股份有限公司 , CANON TOKKI CORPORATION
发明人：近藤喜成 , KONDO, YOSHINARI , 渡邊一弘 , WATANABE, KAZUHIRO , 小林義仁 , KOBAYASHI, YOSHIMASA , 三澤啓太 , MISAWA, KEITA , 牧修治 , MAKI, SHUJI , 山田尙人 , YAMADA, NAOTO , 山将大 , YAMAZAKI, MASAHIRO , 松本栄一 , MATSUMOTO, EIICHI
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： H05B1/023 , C23C14/243
摘要：本發明之課題係在於提供可進行坩堝的細微溫度控制，能以更短時間將坩堝的溫度分佈予以最佳化而能形成具有均等的膜厚分佈之薄膜的蒸發源裝置。在收容有蒸鍍材料(1)的坩堝(2)沿著其長度方向設置主加熱器(3)，在設有此主加熱器(3)的前述坩堝(2)之至少長度方向兩端部分別設有輔助加熱器(4)，藉由前述主加熱器(3)及輔助加熱器(4)能夠加熱控制前述坩堝(2)的長度方向兩端部。
简体摘要：本发明之课题系在于提供可进行坩埚的细微温度控制，能以更短时间将坩埚的温度分布予以最优化而能形成具有均等的膜厚分布之薄膜的蒸发源设备。在收容有蒸镀材料(1)的坩埚(2)沿着其长度方向设置主加热器(3)，在设有此主加热器(3)的前述坩埚(2)之至少长度方向两端部分别设有辅助加热器(4)，借由前述主加热器(3)及辅助加热器(4)能够加热控制前述坩埚(2)的长度方向两端部。

3. 发明专利

TWI589716B 蒸發源有权
简体标题：蒸发源
公开(公告)号：TWI589716B
公开(公告)日：2017-07-01
申请号：TW102127956
申请日：2013-08-05
申请人：佳能特機股份有限公司 , CANON TOKKI CORPORATION
发明人：近藤喜成 , KONDO, YOSHINARI , 山田尙人 , YAMADA, NAOTO , 小林義仁 , KOBAYASHI, YOSHIMASA , 佐藤聡 , SATO, SATOSHI , 松本栄一 , MATSUMOTO, EIICHI
IPC分类号： C23C14/26
CPC分类号： C23C14/243

4. 发明专利

TW201506177A 蒸發源裝置审中-公开
简体标题：蒸发源设备
公开(公告)号：TW201506177A
公开(公告)日：2015-02-16
申请号：TW103108654
申请日：2014-03-12
申请人：佳能特機股份有限公司 , CANON TOKKI CORPORATION
发明人：三澤啓太 , MISAWA, KEITA , 牧修治 , MAKI, SHUJI , 小林義仁 , KOBAYASHI, YOSHIMASA , 近藤喜成 , KONDO, YOSHINARI , 山田尙人 , YAMADA, NAOTO , 渡邊一弘 , WATANABE, KAZUHIRO , 山将大 , YAMAZAKI, MASAHIRO , 松本栄一 , MATSUMOTO, EIICHI
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： C23C14/243
摘要：本發明的課題係在於提供在例如大型基板蒸鍍用坩堝可發揮優良的節能效果之蒸發源裝置。用以解決課題之手段為，一種蒸發源裝置係在收容有蒸鍍材料(1)之坩堝本體(2)突設形成有坩堝開口部(3)，且具備有加熱前述坩堝本體(2)的本體加熱部(4)和加熱前述坩堝開口部(3)的開口部加熱部(5)，其特徵為設置加熱控制部，該加熱控制部控制前述開口部加熱部(5)，使前述坩堝開口部(3)的加熱開始時間較前述坩堝本體(2)的加熱開始時間慢，且在前述坩堝本體(2)的溫度到達蒸鍍材料(1)的熔融溫度或昇華溫度之前開始進行前述坩堝開口部(3)的加熱，當前述坩堝本體(2)的溫度到達了蒸鍍材料(1)的熔融溫度或昇華溫度時，前述坩堝開口部(3)的溫度到達蒸鍍材料(1)的熔融溫度或昇華溫度。
简体摘要：本发明的课题系在于提供在例如大型基板蒸镀用坩埚可发挥优良的节能效果之蒸发源设备。用以解决课题之手段为，一种蒸发源设备系在收容有蒸镀材料(1)之坩埚本体(2)突设形成有坩埚开口部(3)，且具备有加热前述坩埚本体(2)的本体加热部(4)和加热前述坩埚开口部(3)的开口部加热部(5)，其特征为设置加热控制部，该加热控制部控制前述开口部加热部(5)，使前述坩埚开口部(3)的加热开始时间较前述坩埚本体(2)的加热开始时间慢，且在前述坩埚本体(2)的温度到达蒸镀材料(1)的熔融温度或升华温度之前开始进行前述坩埚开口部(3)的加热，当前述坩埚本体(2)的温度到达了蒸镀材料(1)的熔融温度或升华温度时，前述坩埚开口部(3)的温度到达蒸镀材料(1)的熔融温度或升华温度。

5. 发明专利

TW201425613A 蒸發源审中-公开
简体标题：蒸发源
公开(公告)号：TW201425613A
公开(公告)日：2014-07-01
申请号：TW102127956
申请日：2013-08-05
申请人：佳能特機股份有限公司 , CANON TOKKI CORPORATION
发明人：近藤喜成 , KONDO, YOSHINARI , 山田尙人 , YAMADA, NAOTO , 小林義仁 , KOBAYASHI, YOSHIMASA , 佐藤聡 , SATO, SATOSHI , 松本栄一 , MATSUMOTO, EIICHI
IPC分类号： C23C14/26
CPC分类号： C23C14/243
摘要：提供接觸所產生之熱變動難以影響蒸鍍材料，可以使蒸鍍材料之溫度分布均勻化，謀求蒸鍍材料之蒸發量穩定化的蒸發源。一種蒸發源，由下述構件所構成：填充有蒸鍍材料(1)的坩鍋(2)，和被設置成包圍該坩鍋(2)之加熱部(3)，和收納配設上述坩鍋(2)及上述加熱部(3)之收納體(4)，該蒸發源之特徵為：構成在上述坩鍋(2)之外側面，較上述蒸鍍材料(1)之填充面(1a)高且較坩鍋(2)之開口位置低之位置，設置坩鍋承受部(5)，藉由設置在上述收納體(4)之內側的坩鍋支撐部(6)支撐上述坩鍋承受部(5)，在上述坩鍋(2)之外底面從上述收納體(4)之內底面離開之狀態下，上述坩鍋(2)得以收納配設在上述收納體(4)。
简体摘要：提供接触所产生之热变动难以影响蒸镀材料，可以使蒸镀材料之温度分布均匀化，谋求蒸镀材料之蒸发量稳定化的蒸发源。一种蒸发源，由下述构件所构成：填充有蒸镀材料(1)的坩锅(2)，和被设置成包围该坩锅(2)之加热部(3)，和收纳配设上述坩锅(2)及上述加热部(3)之收纳体(4)，该蒸发源之特征为：构成在上述坩锅(2)之外侧面，较上述蒸镀材料(1)之填充面(1a)高且较坩锅(2)之开口位置低之位置，设置坩锅承受部(5)，借由设置在上述收纳体(4)之内侧的坩锅支撑部(6)支撑上述坩锅承受部(5)，在上述坩锅(2)之外底面从上述收纳体(4)之内底面离开之状态下，上述坩锅(2)得以收纳配设在上述收纳体(4)。

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