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2. 发明专利

TW201425613A 蒸發源审中-公开
简体标题：蒸发源
公开(公告)号：TW201425613A
公开(公告)日：2014-07-01
申请号：TW102127956
申请日：2013-08-05
申请人：佳能特機股份有限公司 , CANON TOKKI CORPORATION
发明人：近藤喜成 , KONDO, YOSHINARI , 山田尙人 , YAMADA, NAOTO , 小林義仁 , KOBAYASHI, YOSHIMASA , 佐藤聡 , SATO, SATOSHI , 松本栄一 , MATSUMOTO, EIICHI
IPC分类号： C23C14/26
CPC分类号： C23C14/243
摘要：提供接觸所產生之熱變動難以影響蒸鍍材料，可以使蒸鍍材料之溫度分布均勻化，謀求蒸鍍材料之蒸發量穩定化的蒸發源。一種蒸發源，由下述構件所構成：填充有蒸鍍材料(1)的坩鍋(2)，和被設置成包圍該坩鍋(2)之加熱部(3)，和收納配設上述坩鍋(2)及上述加熱部(3)之收納體(4)，該蒸發源之特徵為：構成在上述坩鍋(2)之外側面，較上述蒸鍍材料(1)之填充面(1a)高且較坩鍋(2)之開口位置低之位置，設置坩鍋承受部(5)，藉由設置在上述收納體(4)之內側的坩鍋支撐部(6)支撐上述坩鍋承受部(5)，在上述坩鍋(2)之外底面從上述收納體(4)之內底面離開之狀態下，上述坩鍋(2)得以收納配設在上述收納體(4)。
简体摘要：提供接触所产生之热变动难以影响蒸镀材料，可以使蒸镀材料之温度分布均匀化，谋求蒸镀材料之蒸发量稳定化的蒸发源。一种蒸发源，由下述构件所构成：填充有蒸镀材料(1)的坩锅(2)，和被设置成包围该坩锅(2)之加热部(3)，和收纳配设上述坩锅(2)及上述加热部(3)之收纳体(4)，该蒸发源之特征为：构成在上述坩锅(2)之外侧面，较上述蒸镀材料(1)之填充面(1a)高且较坩锅(2)之开口位置低之位置，设置坩锅承受部(5)，借由设置在上述收纳体(4)之内侧的坩锅支撑部(6)支撑上述坩锅承受部(5)，在上述坩锅(2)之外底面从上述收纳体(4)之内底面离开之状态下，上述坩锅(2)得以收纳配设在上述收纳体(4)。

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