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    • 5. 发明专利
    • 半導體裝置之製造方法及半導體裝置
    • 半导体设备之制造方法及半导体设备
    • TW201626471A
    • 2016-07-16
    • TW104129591
    • 2015-09-08
    • 住友電木股份有限公司SUMITOMO BAKELITE CO., LTD.
    • 森弘就MORI, HIRONARI渡部格WATANABE, ITARU西谷佳典NISHITANI, YOSHINORI
    • H01L21/56H01L23/28
    • H01L2224/10
    • 本發明之半導體裝置之製造方法包含如下步驟:準備構造體,該構造體具備黏著構件及貼附於黏著構件之黏著面之半導體晶圓,且對黏著構件之黏著面貼附有半導體晶圓之電路形成面;於在半導體晶圓之電路形成面貼附有黏著構件之狀態下,沿著半導體晶圓之切割區域,對半導體晶圓之與電路形成面相反側之面形成複數個特定寬度之切口;使處於流動狀態之半導體密封用樹脂組成物接觸於半導體晶圓,而將半導體密封用樹脂組成物填充於切口內,並且藉由半導體密封用樹脂組成物將半導體晶圓之與電路形成面相反側之面覆蓋密封;及使半導體密封用樹脂組成物硬化。
    • 本发明之半导体设备之制造方法包含如下步骤:准备构造体,该构造体具备黏着构件及贴附于黏着构件之黏着面之半导体晶圆,且对黏着构件之黏着面贴附有半导体晶圆之电路形成面;于在半导体晶圆之电路形成面贴附有黏着构件之状态下,沿着半导体晶圆之切割区域,对半导体晶圆之与电路形成面相反侧之面形成复数个特定宽度之切口;使处于流动状态之半导体密封用树脂组成物接触于半导体晶圆,而将半导体密封用树脂组成物填充于切口内,并且借由半导体密封用树脂组成物将半导体晶圆之与电路形成面相反侧之面覆盖密封;及使半导体密封用树脂组成物硬化。