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    • 2. 发明专利
    • 形狀計測裝置、加工裝置及形狀計測方法
    • 形状计测设备、加工设备及形状计测方法
    • TW201631295A
    • 2016-09-01
    • TW105104767
    • 2016-02-18
    • 住友重機械工業股份有限公司SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
    • 高娜GAO, NA市原浩一ICHIHARA, KOICHI
    • G01B21/30B23Q17/20
    • 本發明提供一種形狀測量裝置、加工裝置、及形狀測量方法,該形狀測量裝置藉由減少存在於表面的異物等的影響能夠以高精度對測量對象物之表面形狀進行測量。本發明之形狀測量裝置,藉由3個位移計配設成一列的檢測儀對測量對象物進行掃描,並對前述測量對象物之表面形狀進行測量,該形狀測量裝置具備:間隙計算機構,藉由由前述3個位移計中位於中間之位移計測定的測定值和由其他位移計測定的測定值之差求出間隙資料;插值機構,求出前述間隙資料的平均值及標準偏差,並反覆執行插值處理,直至前述標準偏差的變化率成為預先設定的值以下,前述插值處理中以前述平均值對前述間隙資料中藉由前述標準偏差而設定的範圍外之值進行插值;及形狀計算機構,藉由已執行前述插值處理的前述間隙資料對前述測量對象物之表面形狀進行計算。
    • 本发明提供一种形状测量设备、加工设备、及形状测量方法,该形状测量设备借由减少存在于表面的异物等的影响能够以高精度对测量对象物之表面形状进行测量。本发明之形状测量设备,借由3个位移计配设成一列的检测仪对测量对象物进行扫描,并对前述测量对象物之表面形状进行测量,该形状测量设备具备:间隙计算机构,借由由前述3个位移计中位于中间之位移计测定的测定值和由其他位移计测定的测定值之差求出间隙数据;插值机构,求出前述间隙数据的平均值及标准偏差,并反复运行插值处理,直至前述标准偏差的变化率成为预先设置的值以下,前述插值处理中以前述平均值对前述间隙数据中借由前述标准偏差而设置的范围外之值进行插值;及形状计算机构,借由已运行前述插值处理的前述间隙数据对前述测量对象物之表面形状进行计算。
    • 6. 发明专利
    • 形狀測量裝置、加工裝置及形狀測量裝置的校正方法
    • 形状测量设备、加工设备及形状测量设备的校正方法
    • TW201632832A
    • 2016-09-16
    • TW105106339
    • 2016-03-02
    • 住友重機械工業股份有限公司SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
    • 市原浩一ICHIHARA, KOICHI高娜GAO, NA
    • G01B21/20G01B21/30B24B49/02
    • 本發明提供一種形狀測量裝置、加工裝置及形狀測量裝置的校正方法,本發明之形狀測量裝置能夠輕鬆地對位移計之安裝位置執行校正,並能夠以高精度對測量對象物之表面形狀進行測量。本發明之形狀測量裝置,係藉由將3個位移計配設成一列之檢測儀對測量對象物進行掃描,並對前述測量對象物之表面形狀進行測量,該形狀測量裝置具備:取得機構,藉由前述3個位移計取得各自的測定值;間隙資料計算機構,依據由前述3個位移計中位於中間的位移計測定之測定值和由其他位移計測定之測定值之差求出間隙資料;偏移量計算機構,將由前述檢測儀對校正用試料進行掃描而得到之前述間隙資料的平均值作為前述3個位移計之安裝位置的偏移量而進行計算:校正機構,利用前述偏移量來對由前述檢測儀掃描前述測量對象物所得到之前述間隙資料進行修正,並對前述位移計之位置偏移進行校正;及形狀計算機構,依據利用前述偏移量進行修正之前述間隙資料來對前述測量對象物之表面形狀進行計算。
    • 本发明提供一种形状测量设备、加工设备及形状测量设备的校正方法,本发明之形状测量设备能够轻松地对位移计之安装位置运行校正,并能够以高精度对测量对象物之表面形状进行测量。本发明之形状测量设备,系借由将3个位移计配设成一列之检测仪对测量对象物进行扫描,并对前述测量对象物之表面形状进行测量,该形状测量设备具备:取得机构,借由前述3个位移计取得各自的测定值;间隙数据计算机构,依据由前述3个位移计中位于中间的位移计测定之测定值和由其他位移计测定之测定值之差求出间隙数据;偏移量计算机构,将由前述检测仪对校正用试料进行扫描而得到之前述间隙数据的平均值作为前述3个位移计之安装位置的偏移量而进行计算:校正机构,利用前述偏移量来对由前述检测仪扫描前述测量对象物所得到之前述间隙数据进行修正,并对前述位移计之位置偏移进行校正;及形状计算机构,依据利用前述偏移量进行修正之前述间隙数据来对前述测量对象物之表面形状进行计算。