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    • 1. 发明专利
    • 半導體元件影像測試裝置及其測試設備
    • 半导体组件影像测试设备及其测试设备
    • TW201708829A
    • 2017-03-01
    • TW104127662
    • 2015-08-25
    • 京元電子股份有限公司KING YUAN ELECTRONICS CO., LTD.
    • 吳國榮WU, KUO-JUNG梁興岳LIANG, HSING-YUEH
    • G01R31/26G01R31/302
    • 本發明係有關於一種半導體元件影像測試裝置及其測試設備,該半導體元件影像測試裝置包括有一測試電路模組及一移動式光源模組,測試電路模組設置於與一測試頭連接之一主架體上,包括至少一電路板、一界面板以及固設於界面板上之一針測座。設置於一升降裝置之移動式光源模組包括一基座、一光源供應裝置以及一裝載有複數鏡頭之鏡頭組載盤。其中,升降裝置可選擇式地驅動移動式光源模組頂抵或不頂抵測試電路模組,使測試載盤內之至少一半導體元件接觸或不接觸針測座。藉此,透過模組的設置,方便安裝、維修及取放光源供應裝置及複數光學鏡頭,同時測試訊號可直接傳送至影像測試電路及測試頭,俾能增加訊號傳遞的穩定性。
    • 本发明系有关于一种半导体组件影像测试设备及其测试设备,该半导体组件影像测试设备包括有一测试电路模块及一移动式光源模块,测试电路模块设置于与一测试头连接之一主架体上,包括至少一电路板、一界皮肤以及固设于界皮肤上之一针测座。设置于一升降设备之移动式光源模块包括一基座、一光源供应设备以及一装载有复数镜头之镜头组载盘。其中,升降设备可选择式地驱动移动式光源模块顶抵或不顶抵测试电路模块,使测试载盘内之至少一半导体组件接触或不接触针测座。借此,透过模块的设置,方便安装、维修及取放光源供应设备及复数光学镜头,同时测试信号可直接发送至影像测试电路及测试头,俾能增加信号传递的稳定性。