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    • 4. 发明专利
    • 刻劃裝置
    • 刻划设备
    • TW201700245A
    • 2017-01-01
    • TW105101355
    • 2016-01-18
    • 三星鑽石工業股份有限公司MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
    • 栗山規由KURIYAMA, NORIYUKI青木仁宏AOKI, YOSHIHIRO吉田圭吾YOSHIDA, KEIGO
    • B26D5/20C03B33/02
    • 本發明提供一種可自動且正確地修正載置於平台上之圓形基板之傾斜的刻劃裝置。 刻劃裝置A,係將圓形基板W載置於可旋轉能之平台1,沿表面之刻劃預定線S1、S2使用刀輪10或雷射進行刻劃,據以形成斷開用之龜裂,其中,在圓形基板W之周緣與刻劃預定線S1、S2平行、通過圓中心點P之線上形成有缺口部K,觀察載置於平台1上之圓形基板W,對以能檢測其外形形狀之角度修正用攝影機15所得之影像資料進行解析處理,並具備檢測圓形基板W之刻劃預定線S1、S2相對於刀輪10之刻劃方向的傾斜角度α,對平台1進行旋轉操作以使此傾斜角度α為零的電腦C之控制部18。
    • 本发明提供一种可自动且正确地修正载置于平台上之圆形基板之倾斜的刻划设备。 刻划设备A,系将圆形基板W载置于可旋转能之平台1,沿表面之刻划预定线S1、S2使用刀轮10或激光进行刻划,据以形成断开用之龟裂,其中,在圆形基板W之周缘与刻划预定线S1、S2平行、通过圆中心点P之在线形成有缺口部K,观察载置于平台1上之圆形基板W,对以能检测其外形形状之角度修正用摄影机15所得之影像数据进行解析处理,并具备检测圆形基板W之刻划预定线S1、S2相对于刀轮10之刻划方向的倾斜角度α,对平台1进行旋转操作以使此倾斜角度α为零的电脑C之控制部18。