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1. 发明专利

TW201626581A 用以減少太陽能電池的光致衰退的方法及設備审中-公开
简体标题：用以减少太阳能电池的光致衰退的方法及设备
公开(公告)号：TW201626581A
公开(公告)日：2016-07-16
申请号：TW104133988
申请日：2015-10-16
申请人： TP太陽能公司 , TP SOLAR, INC.
发明人：芮加希亞路易斯阿雷安卓 , REY GARCIA, LUIS ALEJANDRO , 拉給彼得G , RAGAY, PETER G.
IPC分类号： H01L31/00 , H01L31/06 , H01L31/18
CPC分类号： H01L31/1868 , H01J65/04 , H01L21/67115 , H01L21/67173 , H01L21/677 , H01L21/6776 , H01L31/028 , H01L31/0288 , H01L31/186 , H01L31/1864 , H01L31/1876 , H05B1/0233 , H05B3/0047
摘要：太陽能晶圓(12)的LID的減少係藉由曝光(24)到連續或斷續的藉由一產生3-10Sol的增強型光源ELS(30、52、60)之高強度的全光譜的光輻射HILR(24、52、60)達到，其中HILR係選配地在成形氣體(FI)的存在中或者/並且加熱(50、PLH)到從100℃到350℃的範圍之內。HILR係由用於獨立的大量/連續的處理的ELS模組(30)所提供、或是在晶圓生產線中被整合在一晶圓燒結爐(18)的下游之一高強度的光區域HILZ(24)中。一種指驅動晶圓傳輸(13)係在該整合的爐/HILZ(18/24)中提供200-400吋/分鐘之連續的無陰影的處理速度。在該峰值燒結的區域中的晶圓駐留時間是1~2秒。晶圓(12)係在該些HILZ-ELS模組(24/30)之前的一淬火區域(QZ)中，從850℃-1050℃的峰值燒結溫度立即被冷卻。在該HILZ(24)中的駐留時間係從約10秒到5分鐘，較佳的是10~180秒。斷續的HILR曝光係藉由電子控制、一遮罩(78)、旋轉的開槽的板、或是移動的帶來加以產生。
简体摘要：太阳能晶圆(12)的LID的减少系借由曝光(24)到连续或断续的借由一产生3-10Sol的增强型光源ELS(30、52、60)之高强度的全光谱的光辐射HILR(24、52、60)达到，其中HILR系选配地在成形气体(FI)的存在中或者/并且加热(50、PLH)到从100℃到350℃的范围之内。HILR系由用于独立的大量/连续的处理的ELS模块(30)所提供、或是在晶圆生产线中被集成在一晶圆烧结炉(18)的下游之一高强度的光区域HILZ(24)中。一种指驱动晶圆传输(13)系在该集成的炉/HILZ(18/24)中提供200-400吋/分钟之连续的无阴影的处理速度。在该峰值烧结的区域中的晶圆驻留时间是1~2秒。晶圆(12)系在该些HILZ-ELS模块(24/30)之前的一淬火区域(QZ)中，从850℃-1050℃的峰值烧结温度立即被冷却。在该HILZ(24)中的驻留时间系从约10秒到5分钟，较佳的是10~180秒。断续的HILR曝光系借由电子控制、一遮罩(78)、旋转的开槽的板、或是移动的带来加以产生。

2. 发明专利

TWI595673B 用以減少太陽能電池的光致衰退的方法及設備有权
简体标题：用以减少太阳能电池的光致衰退的方法及设备
公开(公告)号：TWI595673B
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：TW104133988
申请日：2015-10-16
申请人： TP太陽能公司 , TP SOLAR, INC.
发明人：芮加希亞路易斯阿雷安卓 , REY GARCIA, LUIS ALEJANDRO , 拉給彼得G , RAGAY, PETER G.
IPC分类号： H01L31/00 , H01L31/06 , H01L31/18
CPC分类号： H01L31/1868 , H01J65/04 , H01L21/67115 , H01L21/67173 , H01L21/677 , H01L21/6776 , H01L31/028 , H01L31/0288 , H01L31/186 , H01L31/1864 , H01L31/1876 , H05B1/0233 , H05B3/0047

3. 发明专利

TWI541483B 具有單帶與多個獨立控制處理線之紅外線輸送機爐以及一種在紅外線燈加熱爐中熱處理太陽能電池晶圓之方法有权
简体标题：具有单带与多个独立控制处理线之红外线输送机炉以及一种在红外线灯加热炉中热处理太阳能电池晶圆之方法
公开(公告)号：TWI541483B
公开(公告)日：2016-07-11
申请号：TW102134735
申请日：2013-09-26
申请人： TP太陽能公司 , TP SOLAR, INC.
发明人：帕克斯理查W , PARKS, RICHARD W. , 芮加希亞路易斯阿雷安卓 , REY GARCIA, LUIS ALEJANDRO , 拉給彼得G , RAGAY, PETER G.
IPC分类号： F27B9/24 , H01L21/324

4. 发明专利

TWI436018B 用於紅外線輸送機爐的雙獨立運輸系統與燒製薄工件的方法有权
简体标题：用于红外线输送机炉的双独立运输系统与烧制薄工件的方法
公开(公告)号：TWI436018B
公开(公告)日：2014-05-01
申请号：TW101102479
申请日：2012-01-20
申请人： TP太陽能公司 , TP SOLAR, INC.
发明人：帕克斯理查W , PARKS, RICHARD W. , 拉給彼得G , RAGAY, PETER G. , 芮加希亞路易斯阿雷安卓 , REY GARCIA, LUIS ALEJANDRO
IPC分类号： F27B9/24 , F27B9/36
CPC分类号： F27B9/021 , F27B9/243 , F27B9/36 , H01L21/67115 , H01L21/67173 , H01L21/67736 , H01L21/6776

5. 发明专利

TW201314942A 用於使用抗下垂制動裝置及側壁加熱器之擴散爐的超低質量運送系統审中-公开
简体标题：用于使用抗下垂制动设备及侧壁加热器之扩散炉的超低质量运送系统
公开(公告)号：TW201314942A
公开(公告)日：2013-04-01
申请号：TW101126439
申请日：2012-07-23
申请人： TP太陽能公司 , TP SOLAR, INC.
发明人：帕克斯理查W , PARKS, RICHARD W. , 芮加希亞路易斯阿雷安卓 , REY GARCIA, LUIS ALEJANDRO , 拉給彼得G , RAGAY, PETER G.
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/042
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要：多區域太陽能電池擴散爐具有多個輻射元件(SiC)或/和高強度IR燈加熱式加工區域，所述區域包含擋板區域、升高區域、焙燒區域、均熱區域以及冷卻區域。通過使用超低質量晶片運送系統來實施將太陽能電池晶片運送穿過所述爐的操作，所述太陽能電池晶片例如為矽、硒、鍺或鎵基太陽能電池晶片，所述晶片運送系統包括橫向隔開、有防護、並且同步驅動的金屬帶或鏈，所述金屬帶或鏈承載懸掛在所述金屬帶或鏈之間的金屬絲上的不旋轉氧化鋁管。所述晶片位於沿著氧化鋁管橫向隔開的凸起圓周支座上，這減少了污染。高強度IR通量對晶片進行快速光輻射調節，使得擴散發生的速度比常規高質量熱爐快兩倍以上。使用插在運送管中的因科鎳護套的縱向側壁加熱器來確保對鄰近側壁的晶片邊緣進行均勻加熱，所述加熱器包括盤管式加熱器。
简体摘要：多区域太阳能电池扩散炉具有多个辐射组件(SiC)或/和高强度IR灯加热式加工区域，所述区域包含挡板区域、升高区域、焙烧区域、均热区域以及冷却区域。通过使用超低质量芯片运送系统来实施将太阳能电池芯片运送穿过所述炉的操作，所述太阳能电池芯片例如为硅、硒、锗或镓基太阳能电池芯片，所述芯片运送系统包括横向隔开、有防护、并且同步驱动的金属带或链，所述金属带或链承载悬挂在所述金属带或链之间的金属丝上的不旋转氧化铝管。所述芯片位于沿着氧化铝管横向隔开的凸起圆周支座上，这减少了污染。高强度IR通量对芯片进行快速光辐射调节，使得扩散发生的速度比常规高质量热炉快两倍以上。使用插在运送管中的因科镍护套的纵向侧壁加热器来确保对邻近侧壁的芯片边缘进行均匀加热，所述加热器包括盘管式加热器。

6. 发明专利

TWI532935B 用於ＩＲ晶圓處理設備傳送帶之指傳動裝置以及橫向級差溫度輪廓方法有权
简体标题：用于ＩＲ晶圆处理设备发送带之指传动设备以及横向级差温度轮廓方法
公开(公告)号：TWI532935B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：TW100143464
申请日：2011-11-28
申请人： TP太陽能公司 , TP SOLAR, INC.
发明人：拉給彼得G , RAGAY, PETER G. , 帕克斯理查W , PARKS, RICHARD W. , 芮加希亞路易斯阿雷安卓 , REY GARCIA, LUIS ALEJANDRO
IPC分类号： F16G7/02 , F16G3/07
CPC分类号： B65G17/12 , B65G17/26 , B65G17/32 , F27B17/0025 , F27D3/0084 , H01L21/67109 , H01L21/67706 , H01L21/67742

7. 发明专利

TWI523252B 摻雜劑塗佈系統以及塗佈蒸氣化摻雜化合物於光伏太陽能晶圓的方法有权
简体标题：掺杂剂涂布系统以及涂布蒸气化掺杂化合物于光伏太阳能晶圆的方法
公开(公告)号：TWI523252B
公开(公告)日：2016-02-21
申请号：TW100133130
申请日：2011-09-15
申请人： TP太陽能公司 , TP SOLAR, INC.
发明人：芮加希亞路易斯阿雷安卓 , REY GARCIA, LUIS ALEJANDRO , 拉給彼得G , RAGAY, PETER G. , 帕克斯理查W , PARKS, RICHARD W.
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/042
CPC分类号： H01L31/1876 , H01L31/068 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02P70/521

8. 发明专利

TWI489075B 具有高反射率加熱區段的快速點火ＩＲ輸送帶爐有权
简体标题：具有高反射率加热区段的快速点火ＩＲ输送带炉
公开(公告)号：TWI489075B
公开(公告)日：2015-06-21
申请号：TW100134986
申请日：2011-09-28
申请人： TP太陽能公司 , TP SOLAR, INC.
发明人：拉給彼得G , RAGAY, PETER G. , 帕克斯理查W , PARKS, RICHARD W. , 芮加希亞路易斯阿雷安卓 , REY GARCIA, LUIS ALEJANDRO
IPC分类号： F27B9/06 , H01L31/0525 , H01L31/18
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02E10/60 , Y02P70/521

9. 发明专利

TW201512622A 具有單帶與多個獨立控制處理線之紅外線輸送機爐审中-公开
简体标题：具有单带与多个独立控制处理线之红外线输送机炉
公开(公告)号：TW201512622A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：TW102134735
申请日：2013-09-26
申请人： TP太陽能公司 , TP SOLAR, INC.
发明人：帕克斯理查W , PARKS, RICHARD W. , 芮加希亞路易斯阿雷安卓 , REY GARCIA, LUIS ALEJANDRO , 拉給彼得G , RAGAY, PETER G.
IPC分类号： F27B9/24 , H01L21/324
摘要：本發明係關於使用單一全寬輸送機帶(13)之多區域紅外線太陽能電池處理爐(10)；選定區域(14、16、18、20、26)藉由上或/及下縱向分隔壁(106U、106L)分成多個線(A、B等)且藉由背靠一超高反射陶瓷材料平板(36)之高強度輻射紅外線燈(38U或/及38L)進行加熱。各區域/線中之燈數量及間距可能不同。個別及獨立地控制上部與下部各燈或區域/線燈陣列之功率(200)以在各加熱區域/線(206、208、210、212、212)中提供多種溫度特徵(202)。在多線區域中，該等紅外線燈(38)摺疊，內部末端(114、80、82)藉由該等線分隔器(108、110)支撐。燈外電源線(48)皆自該爐之一側(32a或32b)進入。燈內部燈絲包括非輻射及輻射區段(70)，其經排列用以使一對輻射區段以摺疊燈組態對準且安置於太陽能電池晶圓(12a、12b……12n)之全寬度上。
简体摘要：本发明系关于使用单一全宽输送机带(13)之多区域红外线太阳能电池处理炉(10)；选定区域(14、16、18、20、26)借由上或/及下纵向分隔壁(106U、106L)分成多个线(A、B等)且借由背靠一超高反射陶瓷材料平板(36)之高强度辐射红外线灯(38U或/及38L)进行加热。各区域/线中之灯数量及间距可能不同。个别及独立地控制上部与下部各灯或区域/线灯数组之功率(200)以在各加热区域/线(206、208、210、212、212)中提供多种温度特征(202)。在多线区域中，该等红外线灯(38)折叠，内部末端(114、80、82)借由该等线分隔器(108、110)支撑。灯外电源线(48)皆自该炉之一侧(32a或32b)进入。灯内部灯丝包括非辐射及辐射区段(70)，其经排列用以使一对辐射区段以折叠灯组态对准且安置于太阳能电池晶圆(12a、12b……12n)之全宽度上。

10. 发明专利

TWI473290B 用於使用抗下垂制動裝置及側壁加熱器之擴散爐的超低質量運送系統有权
简体标题：用于使用抗下垂制动设备及侧壁加热器之扩散炉的超低质量运送系统
公开(公告)号：TWI473290B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：TW101126439
申请日：2012-07-23
申请人： TP太陽能公司 , TP SOLAR, INC.
发明人：帕克斯理查W , PARKS, RICHARD W. , 芮加希亞路易斯阿雷安卓 , REY GARCIA, LUIS ALEJANDRO , 拉給彼得G , RAGAY, PETER G.
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/042
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521

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