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    • 3. 发明专利
    • 四甲基氫氧化銨溶液的分解方法及其分解裝置
    • 四甲基氢氧化铵溶液的分解方法及其分解设备
    • TW201805241A
    • 2018-02-16
    • TW105125589
    • 2016-08-11
    • 劉定忠LIOU, DING CHUNG
    • 劉定忠LIOU, DING CHUNG
    • C01C1/08
    • 本發明揭露一種四甲基氫氧化銨(TMAH)溶液的分解方法及其分解裝置,主要透過混合四甲基氫氧化銨溶液、氧化劑以及觸媒,達到分解四甲基氫氧化銨的目的。氧化劑包括一次氯酸根或一次氯酸鹽,四甲基氫氧化銨溶液會與氧化劑反應,而觸媒則會吸附反應過程中產生的氧原子。觸媒吸附的氧原子會進一步參與反應,藉此將四甲基氫氧化銨分解成氮氣及醇類。透過本發明所提出的四甲基氫氧化銨溶液的分解方法,可使四甲基氫氧化銨溶液中的四甲基氫氧化銨去除率大於99%。
    • 本发明揭露一种四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液的分解方法及其分解设备,主要透过混合四甲基氢氧化铵溶液、氧化剂以及触媒,达到分解四甲基氢氧化铵的目的。氧化剂包括一次氯酸根或一次氯酸盐,四甲基氢氧化铵溶液会与氧化剂反应,而触媒则会吸附反应过程中产生的氧原子。触媒吸附的氧原子会进一步参与反应,借此将四甲基氢氧化铵分解成氮气及醇类。透过本发明所提出的四甲基氢氧化铵溶液的分解方法,可使四甲基氢氧化铵溶液中的四甲基氢氧化铵去除率大于99%。