基本信息:
- 专利标题: 四甲基氫氧化銨溶液的分解裝置
- 专利标题(英):TMAH SOLUTION DECOMPOSITION APPARATUS
- 专利标题(中):四甲基氢氧化铵溶液的分解设备
- 申请号:TW105125589 申请日:2016-08-11
- 公开(公告)号:TWI623493B 公开(公告)日:2018-05-11
- 发明人: 劉定忠 , LIOU, DING CHUNG
- 申请人: 劉定忠 , LIOU, DING CHUNG
- 申请人地址: 新竹市
- 专利权人: 劉定忠,LIOU, DING CHUNG
- 当前专利权人: 劉定忠,LIOU, DING CHUNG
- 当前专利权人地址: 新竹市
- 代理人: 范國華
- 主分类号: C01C1/08
- IPC分类号: C01C1/08
公开/授权文献:
- TW201805241A 四甲基氫氧化銨溶液的分解方法及其分解裝置 公开/授权日:2018-02-16