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1. 发明专利

TW201827947A 顯影液管理裝置审中-公开
简体标题：显影液管理设备
公开(公告)号：TW201827947A
公开(公告)日：2018-08-01
申请号：TW106141776
申请日：2017-11-30
申请人：日商平間理化硏究所股份有限公司 , HIRAMA LABORATORIES CO., LTD.
发明人：中川俊元 , NAKAGAWA, TOSHIMOTO
IPC分类号： G03F7/26 , G03F7/32 , G01N9/36
摘要：提供一種能夠實現可維持所期望的顯影性能，並可維持基板上之配線圖案之所期望的線寬及殘膜厚度之顯影處理的顯影液管理裝置。顯影液管理裝置D具備控制手段21及顯示手段22，該控制手段21具備：數據記憶部23，係儲存有導電率數據，該導電率數據係按以重複使用之呈鹼性的顯影液之溶解光阻劑濃度及吸收二氧化碳濃度為指標而特定的每個濃度區域，具有已預先確認會成為預定的顯影性能之前述顯影液的導電率值；及控制部31，以藉由顯影液的溶解光阻劑濃度的測定值及吸收二氧化碳濃度的測定值，使顯影液的導電率成為控制目標值的方式對設置在輸送補給至顯影液的補充液的管路之控制閥發出控制信號；該顯示手段22係顯示從顯影液所獲得之導電率值、鹼成分濃度值、溶解光阻劑濃度值及吸收二氧化碳濃度值中之至少導電率值及鹼成分濃度值的任一者。
简体摘要：提供一种能够实现可维持所期望的显影性能，并可维持基板上之配线图案之所期望的线宽及残膜厚度之显影处理的显影液管理设备。显影液管理设备D具备控制手段21及显示手段22，该控制手段21具备：数据记忆部23，系存储有导电率数据，该导电率数据系按以重复使用之呈碱性的显影液之溶解光阻剂浓度及吸收二氧化碳浓度为指针而特定的每个浓度区域，具有已预先确认会成为预定的显影性能之前述显影液的导电率值；及控制部31，以借由显影液的溶解光阻剂浓度的测定值及吸收二氧化碳浓度的测定值，使显影液的导电率成为控制目标值的方式对设置在输送补给至显影液的补充液的管路之控制阀发出控制信号；该显示手段22系显示从显影液所获得之导电率值、碱成分浓度值、溶解光阻剂浓度值及吸收二氧化碳浓度值中之至少导电率值及碱成分浓度值的任一者。

2. 发明专利

TW201827808A 顯影液的二氧化碳濃度顯示裝置及顯影液管理裝置审中-公开
简体标题：显影液的二氧化碳浓度显示设备及显影液管理设备
公开(公告)号：TW201827808A
公开(公告)日：2018-08-01
申请号：TW106141772
申请日：2017-11-30
申请人：日商平間理化硏究所股份有限公司 , HIRAMA LABORATORIES CO., LTD.
发明人：中川俊元 , NAKAGAWA, TOSHIMOTO
IPC分类号： G01N9/36 , G03F7/30 , H01L21/027
摘要：提供一種測定被呈鹼性的顯影液所吸收之二氧化碳的濃度之顯影液的二氧化碳濃度顯示裝置、及管理呈鹼性的顯影液之吸收二氧化碳的濃度之顯影液管理裝置。顯影液的二氧化碳濃度顯示裝置及顯影液管理裝置具備密度計，用來測定顯影液的密度。在顯影液的密度與吸收二氧化碳濃度之間，不論鹼成分等其他成分的濃度為何，都具有良好的對應關係。二氧化碳濃度顯示裝置係依據密度的測定值，從顯影液的密度與吸收二氧化碳濃度的對應關係算出吸收二氧化碳濃度，並藉由顯示手段顯示吸收二氧化碳濃度。顯影液管理裝置係使用顯影液的密度與吸收二氧化碳濃度的對應關係，依據顯影液被測得的密度值或算出的吸收二氧化碳濃度值，以顯影液的吸收二氧化碳濃度成為預定的管理值或管理值以下的方式，藉由補給補充液至顯影液，來管理顯影液的吸收二氧化碳濃度，並藉由顯示手段顯示吸收二氧化碳濃度。
简体摘要：提供一种测定被呈碱性的显影液所吸收之二氧化碳的浓度之显影液的二氧化碳浓度显示设备、及管理呈碱性的显影液之吸收二氧化碳的浓度之显影液管理设备。显影液的二氧化碳浓度显示设备及显影液管理设备具备密度计，用来测定显影液的密度。在显影液的密度与吸收二氧化碳浓度之间，不论碱成分等其他成分的浓度为何，都具有良好的对应关系。二氧化碳浓度显示设备系依据密度的测定值，从显影液的密度与吸收二氧化碳浓度的对应关系算出吸收二氧化碳浓度，并借由显示手段显示吸收二氧化碳浓度。显影液管理设备系使用显影液的密度与吸收二氧化碳浓度的对应关系，依据显影液被测得的密度值或算出的吸收二氧化碳浓度值，以显影液的吸收二氧化碳浓度成为预定的管理值或管理值以下的方式，借由补给补充液至显影液，来管理显影液的吸收二氧化碳浓度，并借由显示手段显示吸收二氧化碳浓度。

3. 实用新型

TWM557848U 藥液的濃度管理裝置及濃度管理費用算出系統、與藥液再生裝置及再生處理費用算出系統有权
简体标题：药液的浓度管理设备及浓度管理费用算出系统、与药液再生设备及再生处理费用算出系统
公开(公告)号：TWM557848U
公开(公告)日：2018-04-01
申请号：TW106217784
申请日：2017-11-30
申请人：日商平間理化硏究所股份有限公司 , HIRAMA LABORATORIES CO., LTD.
发明人：中川俊元 , NAKAGAWA, TOSHIMOTO
IPC分类号： G06F19/00 , G05B19/43

4. 发明专利

TW201727734A 藥液調製供給裝置、藥液使用費算出方法及藥液使用費算出系統、與電解液調製供給裝置、電解液使用費算出方法及電解液使用費算出系統审中-公开
简体标题：药液调制供给设备、药液使用费算出方法及药液使用费算出系统、与电解液调制供给设备、电解液使用费算出方法及电解液使用费算出系统
公开(公告)号：TW201727734A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：TW105138772
申请日：2016-11-25
申请人：平間理化硏究所股份有限公司 , HIRAMA LABORATORIES CO., LTD.
发明人：中川俊元 , NAKAGAWA, TOSHIMOTO
IPC分类号： H01L21/306 , C25D21/14 , G05B19/43 , G03F7/32 , G03F7/42 , G03F7/30
CPC分类号： Y02P90/30
摘要：提供在半導體、液晶顯示器、或者電池製造用藥液或電解液上，藥液使用者不用購入運用藥液調製供給裝置，也不用提供藥液或其原料，就能獲得必要藥液濃度必要藥液量之經常供應的藥液使用費算出方法、及其所需的藥液調製供給裝置。藥液調製供給裝置在供給藥液配管具備累計流量計。將藥液供給者所擁有的藥液調製供給裝置連接於藥液使用設備，使用藥液調製供給裝置從藥液供應者所提供的藥液原料調製應供給的藥液。所調製的藥液係按照供給需求，一面以累計流量計計算供應量，一面對藥液使用設備進行供給。藥液供應者則從按每個既定期間所計算的累計流量算出要對藥液使用者請求的使用費。若累計流量計採用具通訊功能的機型，則可經由網路遠程監視累計流量，並算出藥液的使用費。
简体摘要：提供在半导体、液晶显示器、或者电池制造用药液或电解液上，药液用户不用购入运用药液调制供给设备，也不用提供药液或其原料，就能获得必要药液浓度必要药液量之经常供应的药液使用费算出方法、及其所需的药液调制供给设备。药液调制供给设备在供给药液配管具备累计流量计。将药液供给者所拥有的药液调制供给设备连接于药液使用设备，使用药液调制供给设备从药液供应者所提供的药液原料调制应供给的药液。所调制的药液系按照供给需求，一面以累计流量计计算供应量，一面对药液使用设备进行供给。药液供应者则从按每个既定期间所计算的累计流量算出要对药液用户请求的使用费。若累计流量计采用具通信功能的机型，则可经由网络远程监视累计流量，并算出药液的使用费。

5. 发明专利

TW201604324A 蝕刻液管理裝置、蝕刻液管理方法、及蝕刻液之成分濃度測定方法审中-公开
简体标题：蚀刻液管理设备、蚀刻液管理方法、及蚀刻液之成分浓度测定方法
公开(公告)号：TW201604324A
公开(公告)日：2016-02-01
申请号：TW103137330
申请日：2014-10-29
申请人：平間理化研究所股份有限公司 , HIRAMA LABORATORIES CO., LTD.
发明人：中川俊元 , NAKAGAWA, TOSHIMOTO , 白井浩之 , SHIRAI, HIROYUKI
IPC分类号： C23F1/08 , C23F1/30 , G05D21/02
摘要：本發明之課題在於提供將草酸系蝕刻液之作為蝕刻液的性能維持/管理為大致固定、抑制固體粒子的析出之蝕刻液管理裝置、蝕刻液管理方法、及蝕刻液之成分濃度測定方法。本發明之解決手段為一種裝置或方法，其係具備：測定蝕刻液的導電率值之導電率計17；測定蝕刻液的密度值之密度計18；與，根據蝕刻液的草酸濃度與導電率值之間的相關關係及導電率計17之測定結果，以及蝕刻液的溶解金屬濃度與密度值之間的相關關係及密度計18之測定結果，控制補給至蝕刻液之補充液的輸送之補充液輸送控制手段。
简体摘要：本发明之课题在于提供将草酸系蚀刻液之作为蚀刻液的性能维持/管理为大致固定、抑制固体粒子的析出之蚀刻液管理设备、蚀刻液管理方法、及蚀刻液之成分浓度测定方法。本发明之解决手段为一种设备或方法，其系具备：测定蚀刻液的导电率值之导电率计17；测定蚀刻液的密度值之密度计18；与，根据蚀刻液的草酸浓度与导电率值之间的相关关系及导电率计17之测定结果，以及蚀刻液的溶解金属浓度与密度值之间的相关关系及密度计18之测定结果，控制补给至蚀刻液之补充液的输送之补充液输送控制手段。

6. 发明专利

TWI312105B 水系光阻剝離液管理裝置及水系光阻剝離液管理方法有权
简体标题：水系光阻剥离液管理设备及水系光阻剥离液管理方法
公开(公告)号：TWI312105B
公开(公告)日：2009-07-11
申请号：TW091112934
申请日：2002-06-13
申请人：平間理化研究所股份有限公司 HIRAMA LABORATORIES CO., LTD. , 長瀨產業股份有限公司 NAGASE & CO., LTD. , 長瀨CMS科學技術股份有限公司 NAGASE CMS TECHNOLOGY CO., LTD.
发明人：中川俊元 NAKAGAWA, TOSHIMOTO , 片桐優子 KATAGIRI, YUKO , 小川修 OGAWA, SHU , 森田悟 MORITA, SATORU , 菊川誠 KIKUKAWA, MAKOTO
IPC分类号： G03F , H01L
CPC分类号： H01L21/67253 , G03F7/422 , Y10T436/12
摘要：藉由本發明的水系光阻剝離液管理裝置是種在調整槽內用來管理使用在光阻剝離設備中的水系光阻剝離液的裝置。本裝置方面,是在光阻剝離處理槽(調整槽),介著管路來連接測定水系光阻剝離液中的水份濃度的吸光光度計以及測定劣化成份濃度的導電率計,根據該些測定値將光阻剝離原液、光阻剝離再生液、純水以及事先調合的光阻剝離新液中的至少一種供應到光阻剝離處理槽內。藉此就能穩定地維持水系光阻剝離液的光阻剝離性能,同時達到削減使用液量及縮短停止運轉時間。
简体摘要：借由本发明的水系光阻剥离液管理设备是种在调整槽内用来管理使用在光阻剥离设备中的水系光阻剥离液的设备。本设备方面,是在光阻剥离处理槽(调整槽),介着管路来连接测定水系光阻剥离液中的水份浓度的吸光光度计以及测定劣化成份浓度的导电率计,根据该些测定値将光阻剥离原液、光阻剥离再生液、纯水以及事先调合的光阻剥离新液中的至少一种供应到光阻剥离处理槽内。借此就能稳定地维持水系光阻剥离液的光阻剥离性能,同时达到削减使用液量及缩短停止运转时间。

7. 发明专利

TW201841080A 顯影液的濃度監視裝置及顯影液管理裝置审中-公开
简体标题：显影液的浓度监视设备及显影液管理设备
公开(公告)号：TW201841080A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：TW106141773
申请日：2017-11-30
申请人：日商平間理化硏究所股份有限公司 , HIRAMA LABORATORIES CO., LTD.
发明人：中川俊元 , NAKAGAWA, TOSHIMOTO
IPC分类号： G03F7/30 , B05C11/00
摘要：提供一種測定被呈鹼性的顯影液所吸收之二氧化碳的濃度之顯影液的濃度監視裝置、及管理呈鹼性的顯影液之吸收二氧化碳的濃度之顯影液管理裝置。顯影液的濃度監視裝置及顯影液管理裝置具備密度計，用來測定顯影液的密度。在顯影液的密度與吸收二氧化碳濃度之間，不論鹼成分等其他成分的濃度為何，都具有良好的對應關係。濃度監視裝置係依據密度的測定值，從顯影液的密度與吸收二氧化碳濃度的對應關係，算出吸收二氧化碳濃度。警報手段係在藉運算手段所算出之顯影液的吸收二氧化碳濃度值偏離預設的管理範圍時發出警報。顯影液管理裝置係使用顯影液的密度與吸收二氧化碳濃度的對應關係，依據顯影液被測得的密度值或算出的吸收二氧化碳濃度值，以顯影液的吸收二氧化碳濃度成為預定的管理值或管理值以下的方式，藉由補給補充液至顯影液，來管理顯影液的吸收二氧化碳濃度。
简体摘要：提供一种测定被呈碱性的显影液所吸收之二氧化碳的浓度之显影液的浓度监视设备、及管理呈碱性的显影液之吸收二氧化碳的浓度之显影液管理设备。显影液的浓度监视设备及显影液管理设备具备密度计，用来测定显影液的密度。在显影液的密度与吸收二氧化碳浓度之间，不论碱成分等其他成分的浓度为何，都具有良好的对应关系。浓度监视设备系依据密度的测定值，从显影液的密度与吸收二氧化碳浓度的对应关系，算出吸收二氧化碳浓度。警报手段系在藉运算手段所算出之显影液的吸收二氧化碳浓度值偏离默认的管理范围时发出警报。显影液管理设备系使用显影液的密度与吸收二氧化碳浓度的对应关系，依据显影液被测得的密度值或算出的吸收二氧化碳浓度值，以显影液的吸收二氧化碳浓度成为预定的管理值或管理值以下的方式，借由补给补充液至显影液，来管理显影液的吸收二氧化碳浓度。

8. 发明专利

TW201800878A 水系阻劑剝離液的調製裝置及非水系阻劑剝離液的調製裝置审中-公开
简体标题：水系阻剂剥离液的调制设备及非水系阻剂剥离液的调制设备
公开(公告)号：TW201800878A
公开(公告)日：2018-01-01
申请号：TW106107492
申请日：2017-03-08
申请人：平間理化硏究所股份有限公司 , HIRAMA LABORATORIES CO., LTD.
发明人：中川俊元 , NAKAGAWA, TOSHIMOTO
IPC分类号： G03F7/42 , B01F15/00 , B01F3/08 , B01F7/00
摘要：提供一種將既定的成分濃度的阻劑剝離液，從其原料以良好精度自動且連續地調製之阻劑剝離液的調製裝置。調製裝置10具備：調製槽3、測定手段2和控制手段1。調製槽3係接收阻劑剝離液之原料的供給，並將該等加以混合。測定手段2係針對調製槽3內的阻劑剝離液，測定和阻劑剝離液的成分濃度具有相關關係之阻劑剝離液的物性數值、或阻劑剝離液的成分濃度中之至少一者。控制手段1係依據藉由測定手段2所測得的測定值，以在調製槽3內所調製的阻劑剝離液會成為既定的成分濃度之方式，控制被供給至調製槽3之阻劑剝離液的原料的供給量。藉由將其自動且連續地進行，可以良好精度調製所期望之成分濃度的阻劑剝離液。
简体摘要：提供一种将既定的成分浓度的阻剂剥离液，从其原料以良好精度自动且连续地调制之阻剂剥离液的调制设备。调制设备10具备：调制槽3、测定手段2和控制手段1。调制槽3系接收阻剂剥离液之原料的供给，并将该等加以混合。测定手段2系针对调制槽3内的阻剂剥离液，测定和阻剂剥离液的成分浓度具有相关关系之阻剂剥离液的物性数值、或阻剂剥离液的成分浓度中之至少一者。控制手段1系依据借由测定手段2所测得的测定值，以在调制槽3内所调制的阻剂剥离液会成为既定的成分浓度之方式，控制被供给至调制槽3之阻剂剥离液的原料的供给量。借由将其自动且连续地进行，可以良好精度调制所期望之成分浓度的阻剂剥离液。

9. 实用新型

TWM545941U 藥液調製供給裝置及藥液使用費算出系統、與電解液調製供給裝置及電解液使用費算出系統有权
简体标题：药液调制供给设备及药液使用费算出系统、与电解液调制供给设备及电解液使用费算出系统
公开(公告)号：TWM545941U
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：TW105218015
申请日：2016-11-25
申请人：平間理化硏究所股份有限公司 , HIRAMA LABORATORIES CO., LTD.
发明人：中川俊元 , NAKAGAWA, TOSHIMOTO
IPC分类号： G06F19/00 , G05B19/43
CPC分类号： Y02P90/30

10. 发明专利

TW201630650A 固體粒子回收去除裝置、液體管理裝置及蝕刻液管理裝置审中-公开
简体标题：固体粒子回收去除设备、液体管理设备及蚀刻液管理设备
公开(公告)号：TW201630650A
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：TW104122856
申请日：2015-07-15
申请人：平間理化研究所股份有限公司 , HIRAMA LABORATORIES CO., LTD.
发明人：中川俊元 , NAKAGAWA, TOSHIMOTO , 白井浩之 , SHIRAI, HIROYUKI
IPC分类号： B01D43/00 , B01D9/02 , C23F1/46 , H01L21/306
摘要：本發明之課題在於提供省空間且可縮短處理時間之固體粒子回收去除裝置、具備此裝置之液體管理裝置及蝕刻液管理裝置。本發明之解決手段為一種固體粒子回收去除裝置，其係具備：形成筒狀之外殼35；設於外殼35內之中心軸36a；於中心軸36a之周圍且接近外殼35之內壁，設成螺旋狀之螺旋葉片36b；供給含有固體粒子的液體之流入口及排出之排出口；與自外殼排出固體粒子之固體粒子排出管；其中，固體粒子排出管係設於流入口及流出口之上方側，外殼35係具有指定的角度而配置，藉由馬達37使螺旋葉片36b旋轉，而將液體中的固體粒子自外殼35內的液體中運送至固體粒子排出管並排出。
简体摘要：本发明之课题在于提供省空间且可缩短处理时间之固体粒子回收去除设备、具备此设备之液体管理设备及蚀刻液管理设备。本发明之解决手段为一种固体粒子回收去除设备，其系具备：形成筒状之外壳35；设于外壳35内之中心轴36a；于中心轴36a之周围且接近外壳35之内壁，设成螺旋状之螺旋叶片36b；供给含有固体粒子的液体之流入口及排出之排出口；与自外壳排出固体粒子之固体粒子排出管；其中，固体粒子排出管系设于流入口及流出口之上方侧，外壳35系具有指定的角度而配置，借由马达37使螺旋叶片36b旋转，而将液体中的固体粒子自外壳35内的液体中运送至固体粒子排出管并排出。

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