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热词
    • 2. 发明专利
    • 局部熱調整之環諧振器
    • 局部热调整之环谐振器
    • TW508461B
    • 2002-11-01
    • TW089124827
    • 2000-11-22
    • 那諾維遜科技股份有限公司
    • 卡德黑阿漢買力克里斯多佛T 尤特西
    • G02BG02F
    • G02B6/29343G02B6/12007G02B6/29395G02F1/011G02F1/0147G02F1/3133G02F2203/055G02F2203/15
    • 一種可進行熱調整之諧振器,其包含一諧振器主體,該諧振器主體具有一諧振波長,且該諧振波長係以溫度之函數加以變化;一溝槽,其形成於該諧振器主體之內部;以及一盤狀物,其形成於該溝槽之內部,且該盤狀物係由半導體膜層所構成,該等膜層被摻雜而形成一正向偏壓接面。第一電極係位於該盤狀物之頂部,並與該正向偏壓接面作電性接觸,該第一電極並未覆蓋該諧振器主體;第二電極係位於該正向偏壓接面之下方,並與該正向偏壓接面作電性接觸。當電流通過該等電極時,會產生熱而改變該諧振器主體的諧振波長。另一種可進行熱調整之諧振器具有一諧振器主體及一加熱器,其中兩接觸墊係與該諧振器主體之上方的電阻器作電性接觸。當電流通過該電阻器時,會產生熱而改變該諧振器主體的諧振波長。一溫度感應器可用於感應該諧振器主體的溫度。
    • 一种可进行热调整之谐振器,其包含一谐振器主体,该谐振器主体具有一谐振波长,且该谐振波长系以温度之函数加以变化;一沟槽,其形成于该谐振器主体之内部;以及一盘状物,其形成于该沟槽之内部,且该盘状物系由半导体膜层所构成,该等膜层被掺杂而形成一正向偏压接面。第一电极系位于该盘状物之顶部,并与该正向偏压接面作电性接触,该第一电极并未覆盖该谐振器主体;第二电极系位于该正向偏压接面之下方,并与该正向偏压接面作电性接触。当电流通过该等电极时,会产生热而改变该谐振器主体的谐振波长。另一种可进行热调整之谐振器具有一谐振器主体及一加热器,其中两接触垫系与该谐振器主体之上方的电阻器作电性接触。当电流通过该电阻器时,会产生热而改变该谐振器主体的谐振波长。一温度感应器可用于感应该谐振器主体的温度。
    • 5. 发明专利
    • 具一可移動調諧元件之可調法布里-珀羅濾波器
    • 具一可移动调谐组件之可调法布里-珀罗滤波器
    • TW455702B
    • 2001-09-21
    • TW089124829
    • 2000-11-22
    • 那諾維遜科技股份有限公司
    • 卡德黑阿漢買力羅登D 鍾斯
    • G02B
    • G02B6/29395G01J3/26G02B6/12007G02B6/122G02B6/29358G02B6/3512G02B6/3552G02B6/3582G02B6/3596G02B2006/12109
    • 一種光學濾波器,其過濾一通過其間的光學訊號,該光學濾波器包含一第一波導器及一第二波導器,該第一波導器具有一核心及部分反射的第一面,且該核心界定一通過該第一波導器的光學路徑,而該第二波導器具有一核心及部分反射的第二面,且該核心界定一通過該第二波導器的光學路徑,其中通過該第一波導器的光學路徑係與通過該第二波導器的光學路徑同軸,該第一及第二波導器係藉由一界定於兩者之間的溝槽而被分開,該第一及第二面在兩者之間界定一法布里-珀羅空腔。一調諧元件配置於該第一及第二波導器之間的溝槽中,並可選擇性地在第一位置與第二位置之間移動而改變該法布里-珀羅空腔的光學長度。
    • 一种光学滤波器,其过滤一通过其间的光学信号,该光学滤波器包含一第一波导器及一第二波导器,该第一波导器具有一内核及部分反射的第一面,且该内核界定一通过该第一波导器的光学路径,而该第二波导器具有一内核及部分反射的第二面,且该内核界定一通过该第二波导器的光学路径,其中通过该第一波导器的光学路径系与通过该第二波导器的光学路径同轴,该第一及第二波导器系借由一界定于两者之间的沟槽而被分开,该第一及第二面在两者之间界定一法布里-珀罗空腔。一调谐组件配置于该第一及第二波导器之间的沟槽中,并可选择性地在第一位置与第二位置之间移动而改变该法布里-珀罗空腔的光学长度。
    • 6. 发明专利
    • 在磷化銦半導體上形成平坦結構的方法
    • 在磷化铟半导体上形成平坦结构的方法
    • TW484186B
    • 2002-04-21
    • TW089120139
    • 2000-09-28
    • 那諾維遜科技股份有限公司
    • 湯瑪斯E 皮爾森克里斯多佛T 尤特西
    • H01L
    • H01L21/30621
    • 本發明是一半導體乾式蝕刻技術,提供磷化鋼材料一深入、平坦(均方根粗糙度小於5nm)且垂直的蝕刻製程,即使用一氯化氣體電漿加上氫氣的ICPRIE系統。其中還包含鈍氣如氮氣或氫氣或兩者都有。為了在平坦表面上生成較高的非等向性,加入氫氣的氣體體積流率最好超過氯化氣體的體積流率(單位:sccm),其比例應大於1:1。本發明提供一改善的磷化銅半導體乾式蝕刻製程,由改良的平坦表面及高蝕刻速率產生深刻且垂直的蝕刻側面。
    • 本发明是一半导体干式蚀刻技术,提供磷化钢材料一深入、平坦(均方根粗糙度小于5nm)且垂直的蚀刻制程,即使用一氯化气体等离子加上氢气的ICPRIE系统。其中还包含钝气如氮气或氢气或两者都有。为了在平坦表面上生成较高的非等向性,加入氢气的气体体积流率最好超过氯化气体的体积流率(单位:sccm),其比例应大于1:1。本发明提供一改善的磷化铜半导体干式蚀刻制程,由改良的平坦表面及高蚀刻速率产生深刻且垂直的蚀刻侧面。
    • 9. 发明专利
    • 具一平面波導及一擋板致動器的光切換器
    • 具一平面波导及一挡板致动器的光切换器
    • TW503329B
    • 2002-09-21
    • TW089124833
    • 2000-11-22
    • 那諾維遜科技股份有限公司
    • 卡德黑阿漢買力羅登D 鍾斯
    • G02B
    • G02B6/3596G02B6/3512G02B6/3514G02B6/3546G02B6/355
    • 一種光切換器,其具有一輸入波導及兩輸出波導,並由一溝槽加以分開,且配置於該溝槽周圍。輸入波導與第一輸出波導分別具有由各自的核心所界定的光學路徑;該等光學路徑(及核心)大致彼此同軸。彼等波導亦由一溝槽加以分開,在該溝槽當中具有介質,且該介質之折射率不同於該等波導之折射率。即使當光學訊號從輸入波導傳遞到第一或第二輸出波導時將經歷不同的折射率,由於輸入波導、第一輸出波導及第二輸出波導分開的距離,因此不會影響光學訊號從輸入波導傳遞到第一或第二輸出波導的傳輸特性。輸入波導及第二輸出波導大致排列在溝槽的同一側,以使得從輸入波導通過第二輸出波導的光學訊號不會完全穿過該溝槽。因此,即使從輸入波導通過任一輸出波導的光學訊號必須完全穿過溝槽,該光學訊號在波導之間必須行經的距離仍然足夠小,而不會影響該訊號的光學傳輸特性。
    • 一种光切换器,其具有一输入波导及两输出波导,并由一沟槽加以分开,且配置于该沟槽周围。输入波导与第一输出波导分别具有由各自的内核所界定的光学路径;该等光学路径(及内核)大致彼此同轴。彼等波导亦由一沟槽加以分开,在该沟槽当中具有介质,且该介质之折射率不同于该等波导之折射率。即使当光学信号从输入波导传递到第一或第二输出波导时将经历不同的折射率,由于输入波导、第一输出波导及第二输出波导分开的距离,因此不会影响光学信号从输入波导传递到第一或第二输出波导的传输特性。输入波导及第二输出波导大致排列在沟槽的同一侧,以使得从输入波导通过第二输出波导的光学信号不会完全穿过该沟槽。因此,即使从输入波导通过任一输出波导的光学信号必须完全穿过沟槽,该光学信号在波导之间必须行经的距离仍然足够小,而不会影响该信号的光学传输特性。