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    • 4. 发明专利
    • 絕緣鍵合絲
    • 绝缘键合丝
    • TW201806038A
    • 2018-02-16
    • TW105125984
    • 2016-08-15
    • 矽格瑪科技有限公司
    • 黃崧哲廖藝澤
    • H01L21/48H01B7/02H01B13/06
    • 本發明係提供一種絕緣鍵合絲,包含:一中心母線;以及一第一絕緣膜,其係包覆該中心母線的表面,且其主要成分係為二氧化矽。其中可藉由磁控式濺鍍,使二氧化矽包覆該中心母線的表面,以形成該第一絕緣膜。或藉由溶膠凝膠法,使奈米二氧化矽粒子包覆該第一絕緣膜的表面,以形成該第二絕緣膜。本發明之絕緣鍵合絲適合應用於高密度、小尺寸的封裝技術領域。
    • 本发明系提供一种绝缘键合丝,包含:一中心母线;以及一第一绝缘膜,其系包覆该中心母线的表面,且其主要成分系为二氧化硅。其中可借由磁控式溅镀,使二氧化硅包覆该中心母线的表面,以形成该第一绝缘膜。或借由溶胶凝胶法,使奈米二氧化硅粒子包覆该第一绝缘膜的表面,以形成该第二绝缘膜。本发明之绝缘键合丝适合应用于高密度、小尺寸的封装技术领域。