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1. 发明专利

TW200806955A 端部檢查裝置之校正方法审中-公开
简体标题：端部检查设备之校正方法
公开(公告)号：TW200806955A
公开(公告)日：2008-02-01
申请号：TW096121106
申请日：2007-06-12
申请人：瑞德科技股份有限公司 RAYTEX CORPORATION
发明人：平本和之 HIRAMOTO, KAZUYUKI , 岩崎剛 IWASAKI, TSUYOSHI
IPC分类号： G01B , G01N
CPC分类号： G01N21/9503 , G01B11/306 , G01N21/274 , G01N21/4788
摘要：本發明提供一種端部檢查裝置之校正方法,係具備:對被檢查基板之端部照射檢查光的發光部;以及用以檢測在前述被檢查基板之前述端部反射之反射光之光學特性的檢測部,而且根據由前述檢測部所檢測出之前述反射光的前述光學特性,進行檢測在前述被檢查基板之前述端部所產生之缺陷的端部檢查裝置之校正方法,其特徵為具備:擬似缺陷形成步驟,在成為基準之校正用基板的端部,以周方向形成以使厚度方向之位置、形狀、尺寸之中之至少1個分別彼此相異的方式設定的複數個擬似缺陷;檢測步驟,對前述各擬似缺陷之各個照射前述檢查光,且藉由前述檢測部檢測前述反射光之前述光學特性;以及調整步驟,根據由前述各擬似缺陷之各個所檢測出的前述反射光之前述光學特性,進行前述端部檢查裝置的校正。
简体摘要：本发明提供一种端部检查设备之校正方法,系具备:对被检查基板之端部照射检查光的发光部;以及用以检测在前述被检查基板之前述端部反射之反射光之光学特性的检测部,而且根据由前述检测部所检测出之前述反射光的前述光学特性,进行检测在前述被检查基板之前述端部所产生之缺陷的端部检查设备之校正方法,其特征为具备:拟似缺陷形成步骤,在成为基准之校正用基板的端部,以周方向形成以使厚度方向之位置、形状、尺寸之中之至少1个分别彼此相异的方式设置的复数个拟似缺陷;检测步骤,对前述各拟似缺陷之各个照射前述检查光,且借由前述检测部检测前述反射光之前述光学特性;以及调整步骤,根据由前述各拟似缺陷之各个所检测出的前述反射光之前述光学特性,进行前述端部检查设备的校正。

2. 实用新型

TW296130U 連接器結構改良失效
简体标题：连接器结构改良
公开(公告)号：TW296130U
公开(公告)日：1997-01-11
申请号：TW084217969
申请日：1995-12-14
申请人：沛元企業有限公司 , 瑞德科技股份有限公司
发明人：王允鄉 , 薛鳴芝
IPC分类号： H01R
摘要：本創作係有關於一種連接器結構改良，尤指於公接頭之兩件塑膠體間加入一兩件式之間隔固定件，該間隔固定件設有複數個隔板，該隔板之間距係相對於上下塑膠體所設之接腳插接孔間距，藉以保持接腳尺寸安定，預防連接器公接頭過錫爐或表面黏著技術（SMT)製程時，因受高熱使塑膠體產生尺寸變化、扭曲或移位之現象；並於一層塑膠體之底部兩側定位柱間，以一定距離設置有複數個略低於兩側定位柱之支撐柱，能加強公接頭於電路板上之平衡度、精確高度尺寸，及確保公、母接頭結合時訊號傳遞之穩定與壽命延長。
简体摘要：本创作系有关于一种连接器结构改良，尤指于公接头之两件塑胶体间加入一两件式之间隔固定件，该间隔固定件设有复数个隔板，该隔板之间距系相对于上下塑胶体所设之接脚插接孔间距，借以保持接脚尺寸安定，预防连接器公接头过锡炉或表面黏着技术（SMT)制程时，因受高热使塑胶体产生尺寸变化、扭曲或移位之现象；并于一层塑胶体之底部两侧定位柱间，以一定距离设置有复数个略低于两侧定位柱之支撑柱，能加强公接头于电路板上之平衡度、精确高度尺寸，及确保公、母接头结合时信号传递之稳定与寿命延长。

3. 发明专利

TWI282853B 端部傷檢查裝置 EDGE DEFECT INSPECTION APPARATUS 有权
简体标题：端部伤检查设备 EDGE DEFECT INSPECTION APPARATUS
公开(公告)号：TWI282853B
公开(公告)日：2007-06-21
申请号：TW094127087
申请日：2005-08-10
申请人：瑞德科技股份有限公司 RAYTEX CORPORATION
发明人：野原直行 NOHARA, NAOYUKI , 井秀男 SAKAI, HIDEO
IPC分类号： G01N
摘要：本發明為一種端部傷檢查裝置，係具備：於內側具有鏡面，且形成有可將被檢查物插入於頂點部之缺口之橢圓鏡；對配置於橢圓鏡的第1焦點位置附近之被檢查物的端部，照射同調光之發光部；配置於橢圓鏡的第2焦點位置之光檢測部；及將正向反射之低次元繞射光加以遮蔽之遮光手段。發光部可照射不同波長之同調光。
简体摘要：本发明为一种端部伤检查设备，系具备：于内侧具有镜面，且形成有可将被检查物插入于顶点部之缺口之椭圆镜；对配置于椭圆镜的第1焦点位置附近之被检查物的端部，照射同调光之发光部；配置于椭圆镜的第2焦点位置之光检测部；及将正向反射之低次元绕射光加以屏蔽之遮光手段。发光部可照射不同波长之同调光。

4. 发明专利

TW200845266A 圓板保持裝置及缺陷異物檢測裝置 CIRCULAR DISC HOLDING DEVICE, AND DEFECT AND CONTAMINATION INSPECTION DEVICE 审中-公开
简体标题：圆板保持设备及缺陷异物检测设备 CIRCULAR DISC HOLDING DEVICE, AND DEFECT AND CONTAMINATION INSPECTION DEVICE
公开(公告)号：TW200845266A
公开(公告)日：2008-11-16
申请号：TW096148096
申请日：2007-12-14
申请人：凱思捷股份有限公司 IS TECHNOLOGY JAPAN, INC. , 瑞德科技股份有限公司 RAYTEX CORPORATION
发明人：宗像光良 MUNAKATA, TERUYOSHI
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/681 , H01L21/68728
摘要：本發明的圓板保持裝置具備有複數個把持用可動爪3,該複數個把持用可動爪3則是在內端側具有抵接於具有缺口1A之晶圓1的外周部之把持部3a,朝向晶圓1的周方向配置。令位於各把持用可動爪3的內端側之各把持部3a抵接於晶圓1的外周側來把持晶圓1,故用由光源及受光部所組成的感測器來檢測出缺口時,即使任何一個把持部3a以有缺口的部位來抵接於晶圓1的外周部,來自光源的光不會被把持部3a所遮蔽,仍可以通過缺口射入至受光部。即使以有缺口的部位來把持晶圓1的情況,仍不必經過重新把持晶圓1的動作,縮短處理步驟的時間,生產量則會提高。
简体摘要：本发明的圆板保持设备具备有复数个把持用可动爪3,该复数个把持用可动爪3则是在内端侧具有抵接于具有缺口1A之晶圆1的外周部之把持部3a,朝向晶圆1的周方向配置。令位于各把持用可动爪3的内端侧之各把持部3a抵接于晶圆1的外周侧来把持晶圆1,故用由光源及受光部所组成的传感器来检测出缺口时,即使任何一个把持部3a以有缺口的部位来抵接于晶圆1的外周部,来自光源的光不会被把持部3a所屏蔽,仍可以通过缺口射入至受光部。即使以有缺口的部位来把持晶圆1的情况,仍不必经过重新把持晶圆1的动作,缩短处理步骤的时间,生产量则会提高。

5. 发明专利

TWI275774B 端部傷檢查裝置 EDGE DEFECT INSPECTION APPARATUS 失效
简体标题：端部伤检查设备 EDGE DEFECT INSPECTION APPARATUS
公开(公告)号：TWI275774B
公开(公告)日：2007-03-11
申请号：TW094127086
申请日：2005-08-10
申请人：瑞德科技股份有限公司 RAYTEX CORPORATION
发明人：野原直行 NOHARA, NAOYUKI , 井秀男 SAKAI, HIDEO
IPC分类号： G01B
摘要：本發明為一種端部傷檢查裝置，係具備，於內側具有鏡面，且形成有可將被檢查物插入於頂點部之缺口之橢圓鏡；對配置於橢圓鏡的第1焦點位置附近之被檢查物的端部照射同調光之發光部；配置於橢圓鏡的第2焦點位置之光檢測部；及將正向反射之低階繞射光加以遮光之遮光手段。發光部可藉由移動手段在被檢查物的厚度方向移動，並照射於被檢查物的端部之厚度方向的不同之照射範圍。
简体摘要：本发明为一种端部伤检查设备，系具备，于内侧具有镜面，且形成有可将被检查物插入于顶点部之缺口之椭圆镜；对配置于椭圆镜的第1焦点位置附近之被检查物的端部照射同调光之发光部；配置于椭圆镜的第2焦点位置之光检测部；及将正向反射之低级绕射光加以遮光之遮光手段。发光部可借由移动手段在被检查物的厚度方向移动，并照射于被检查物的端部之厚度方向的不同之照射范围。

6. 发明专利

TW200706854A 端部傷檢查裝置 EDGE DEFECT INSPECTION APPARATUS 审中-公开
简体标题：端部伤检查设备 EDGE DEFECT INSPECTION APPARATUS
公开(公告)号：TW200706854A
公开(公告)日：2007-02-16
申请号：TW094127087
申请日：2005-08-10
申请人：瑞德科技股份有限公司 RAYTEX CORPORATION
发明人：野原直行 NOHARA, NAOYUKI , 井秀男 SAKAI, HIDEO
IPC分类号： G01N
摘要：本發明為一種端部傷檢查裝置,係具備:於內側具有鏡面,且形成有可將被檢查物插入於頂點部之缺口之橢圓鏡;對配置於橢圓鏡的第1焦點位置附近之被檢查物的端部,照射同調光之發光部;配置於橢圓鏡的第2焦點位置之光檢測部;及將正向反射之低次元繞射光加以遮蔽之遮光手段。發光部可照射不同波長之同調光。
简体摘要：本发明为一种端部伤检查设备,系具备:于内侧具有镜面,且形成有可将被检查物插入于顶点部之缺口之椭圆镜;对配置于椭圆镜的第1焦点位置附近之被检查物的端部,照射同调光之发光部;配置于椭圆镜的第2焦点位置之光检测部;及将正向反射之低次元绕射光加以屏蔽之遮光手段。发光部可照射不同波长之同调光。

7. 发明专利

TWI332076B 端部檢查裝置之校正方法 CALIBRATION METHOD FOR WAFER EDGE INSPECTION SYSTEM 有权
简体标题：端部检查设备之校正方法 CALIBRATION METHOD FOR WAFER EDGE INSPECTION SYSTEM
公开(公告)号：TWI332076B
公开(公告)日：2010-10-21
申请号：TW096121106
申请日：2007-06-12
申请人：瑞德科技股份有限公司
发明人：平本和之 , 岩崎剛
IPC分类号： G01B , G01N
CPC分类号： G01N21/9503 , G01B11/306 , G01N21/274 , G01N21/4788
摘要：本發明提供一種端部檢查裝置之校正方法，係具備：對被檢查基板之端部照射檢查光的發光部；以及用以檢測在前述被檢查基板之前述端部反射之反射光之光學特性的檢測部，而且根據由前述檢測部所檢測出之前述反射光的前述光學特性，進行檢測在前述被檢查基板之前述端部所產生之缺陷的端部檢查裝置之校正方法，其特徵為具備：擬似缺陷形成步驟，在成為基準之校正用基板的端部，以周方向形成以使厚度方向之位置、形狀、尺寸之中之至少1個分別彼此相異的方式設定的複數個擬似缺陷；檢測步驟，對前述各擬似缺陷之各個照射前述檢查光，且藉由前述檢測部檢測前述反射光之前述光學特性；以及調整步驟，根據由前述各擬似缺陷之各個所檢測出的前述反射光之前述光學特性，進行前述端部檢查裝置的校正。
简体摘要：本发明提供一种端部检查设备之校正方法，系具备：对被检查基板之端部照射检查光的发光部；以及用以检测在前述被检查基板之前述端部反射之反射光之光学特性的检测部，而且根据由前述检测部所检测出之前述反射光的前述光学特性，进行检测在前述被检查基板之前述端部所产生之缺陷的端部检查设备之校正方法，其特征为具备：拟似缺陷形成步骤，在成为基准之校正用基板的端部，以周方向形成以使厚度方向之位置、形状、尺寸之中之至少1个分别彼此相异的方式设置的复数个拟似缺陷；检测步骤，对前述各拟似缺陷之各个照射前述检查光，且借由前述检测部检测前述反射光之前述光学特性；以及调整步骤，根据由前述各拟似缺陷之各个所检测出的前述反射光之前述光学特性，进行前述端部检查设备的校正。

8. 发明专利

TWI407518B 圓板保持裝置及缺陷異物檢測裝置有权
简体标题：圆板保持设备及缺陷异物检测设备
公开(公告)号：TWI407518B
公开(公告)日：2013-09-01
申请号：TW096148096
申请日：2007-12-14
申请人：凱思捷股份有限公司 , IS TECHNOLOGY JAPAN, INC. , 瑞德科技股份有限公司 , RAYTEX CORPORATION
发明人：宗像光良 , MUNAKATA, TERUYOSHI
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/66
CPC分类号： H01L21/681 , H01L21/68728

9. 发明专利

TW200706828A 端部傷檢查裝置 EDGE DEFECT INSPECTION APPARATUS 失效
简体标题：端部伤检查设备 EDGE DEFECT INSPECTION APPARATUS
公开(公告)号：TW200706828A
公开(公告)日：2007-02-16
申请号：TW094127086
申请日：2005-08-10
申请人：瑞德科技股份有限公司 RAYTEX CORPORATION
发明人：野原直行 NOHARA, NAOYUKI , 井秀男 SAKAI, HIDEO
IPC分类号： G01B
摘要：本發明為一種端部傷檢查裝置,係具備,於內側具有鏡面,且形成有可將被檢查物插入於頂點部之缺口之橢圓鏡;對配置於橢圓鏡的第1焦點位置附近之被檢查物的端部照射同調光之發光部;配置於橢圓鏡的第2焦點位置之光檢測部;及將正向反射之低階繞射光加以遮光之遮光手段。發光部可藉由移動手段在被檢查物的厚度方向移動,並照射於被檢查物的端部之厚度方向的不同之照射範圍。
简体摘要：本发明为一种端部伤检查设备,系具备,于内侧具有镜面,且形成有可将被检查物插入于顶点部之缺口之椭圆镜;对配置于椭圆镜的第1焦点位置附近之被检查物的端部照射同调光之发光部;配置于椭圆镜的第2焦点位置之光检测部;及将正向反射之低级绕射光加以遮光之遮光手段。发光部可借由移动手段在被检查物的厚度方向移动,并照射于被检查物的端部之厚度方向的不同之照射范围。

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