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    • 10. 发明专利
    • 形成薄膜用合金、金屬燒結體及其用途
    • 形成薄膜用合金、金属烧结体及其用途
    • TW573017B
    • 2004-01-21
    • TW089127010
    • 2000-12-16
    • 吉奧馬科技股份有限公司 GEOMATEC CO., LTD.東曹股份有限公司 TOSOH CORPORATION
    • 本松徹鈴木光悦黑澤聰滿俊宏
    • C22CG02BC03C
    • [課題]在於提供具有與Cr/Cr化合物同等以上光學特性及耐久性(圖型性、蝕刻特性、耐熱性及耐濕性)之遮光膜的基板、或具有遮光層和吸收層所構成之低反射膜的基板。
      [解決手段]使用實質上由Ni及V所構成,含有原子比26~52%V之形成薄膜用合金或金屬燒結體所構成之濺鍍標的物,形成Ni和V之氧化物、氮化物或氧氮化物之任何一種薄膜所構成之附有遮光膜的基板、或、將 Ni和V之氧化物、氮化物或氧氮化物薄膜之任一者疊層一層以上之吸收層、與Ni和V之合金、或Ni和V之氧化物、氮化物或氧氮化物薄膜之任一者疊層一層之遮光層,以此順序疊層,作成附有低反射膜之基板。
      [選擇圖]無選擇圖
    • [课题]在于提供具有与Cr/Cr化合物同等以上光学特性及耐久性(图型性、蚀刻特性、耐热性及耐湿性)之遮光膜的基板、或具有遮光层和吸收层所构成之低反射膜的基板。 [解决手段]使用实质上由Ni及V所构成,含有原子比26~52%V之形成薄膜用合金或金属烧结体所构成之溅镀标的物,形成Ni和V之氧化物、氮化物或氧氮化物之任何一种薄膜所构成之附有遮光膜的基板、或、将 Ni和V之氧化物、氮化物或氧氮化物薄膜之任一者叠层一层以上之吸收层、与Ni和V之合金、或Ni和V之氧化物、氮化物或氧氮化物薄膜之任一者叠层一层之遮光层,以此顺序叠层,作成附有低反射膜之基板。 [选择图]无选择图