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    • 1. 发明专利
    • 混合研磨料漿
    • 混合研磨料浆
    • TW562845B
    • 2003-11-21
    • TW090106348
    • 2001-03-30
    • 普拉塞爾S T 科技股份有限公司
    • 多莉絲郭詹姆士肯那普
    • C09GC09K
    • C09G1/02
    • 一種拋光基質表面之混合漿料混合物,以重量百分比計,該混合漿料混合物係含有1至30重量%之基本拋光粒子,1至50重量%之分散膠質粒子,1至40重量/之氧化劑和剩餘量之水。基本拋光粒子為選自包括氧化物、氮化物、碳化物和硼化物等一組中之金屬化合物。基本拋光粒子具有約自0.1至2微米平均直徑之粒度。分散之膠質粒子為至少一種選自包括氧化鋁和氧化矽一組中之氧化物。分散之膠質粒子具有約自2至500奈米平均直徑之粒度。
    • 一种抛光基质表面之混合浆料混合物,以重量百分比计,该混合浆料混合物系含有1至30重量%之基本抛光粒子,1至50重量%之分散胶质粒子,1至40重量/之氧化剂和剩余量之水。基本抛光粒子为选自包括氧化物、氮化物、碳化物和硼化物等一组中之金属化合物。基本抛光粒子具有约自0.1至2微米平均直径之粒度。分散之胶质粒子为至少一种选自包括氧化铝和氧化硅一组中之氧化物。分散之胶质粒子具有约自2至500奈米平均直径之粒度。