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    • 2. 发明专利
    • 產生微結構的裝置與方法 DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING MICROSTRUCTURES
    • 产生微结构的设备与方法 DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING MICROSTRUCTURES
    • TW200534949A
    • 2005-11-01
    • TW094111430
    • 2005-04-12
    • 岫特股份公司 SCHOTT AG
    • 海利希 歐斯登達普 OSTENDARP, HEINRICH
    • B23Q
    • B23Q1/34B23Q5/32
    • 本發明提出以一主軸產生微結構之裝置及方法,該主軸被設計成適於驅動供繞著其縱向軸心旋轉,且該主軸設有一用於夾住工件之固定裝置,該產生微結構之裝置具有一致動器(30),該致動器設有一快速驅動器(36)、特別是一壓電驅動器,該驅動器被設計成適於在大體上垂直於該工件表面之一方向中產生一刀具(32)之快速移動,該致動器(30)可藉著一附加驅動器(24)之輔助沿著一待加工之工件表面定位,該附加驅動器被設計成適於在一第一方向中產生一線性進給運動,該快速驅動器(36)係經由導引板機構(38)與該刀具(32)耦接,該導引板機構允許該刀具(32)於該快速驅動器(36)的軸向方向中之進給,而頂靠著一回復力之作用,且該導引板機構在垂直於該方向之一平面中係極堅硬的。利用該系統之動態性質(圖2),所使用之控制技術允許精確地及可再現地產生微結構。
    • 本发明提出以一主轴产生微结构之设备及方法,该主轴被设计成适于驱动供绕着其纵向轴心旋转,且该主轴设有一用于夹住工件之固定设备,该产生微结构之设备具有一致动器(30),该致动器设有一快速驱动器(36)、特别是一压电驱动器,该驱动器被设计成适于在大体上垂直于该工件表面之一方向中产生一刀具(32)之快速移动,该致动器(30)可借着一附加驱动器(24)之辅助沿着一待加工之工件表面定位,该附加驱动器被设计成适于在一第一方向中产生一线性进给运动,该快速驱动器(36)系经由导引板机构(38)与该刀具(32)耦接,该导引板机构允许该刀具(32)于该快速驱动器(36)的轴向方向中之进给,而顶靠着一回复力之作用,且该导引板机构在垂直于该方向之一平面中系极坚硬的。利用该系统之动态性质(图2),所使用之控制技术允许精确地及可再现地产生微结构。