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    • 3. 发明专利
    • 氧化矽濃度測定方法及氧化矽濃度測定裝置 MEASURING METHOD OF CONCENTRATION OF SILICA AND MEASURING DEVICE OF CONCENTRATION OF SILICA
    • 氧化硅浓度测定方法及氧化硅浓度测定设备 MEASURING METHOD OF CONCENTRATION OF SILICA AND MEASURING DEVICE OF CONCENTRATION OF SILICA
    • TW201140028A
    • 2011-11-16
    • TW099135457
    • 2010-10-18
    • 堀場先進技術股份有限公司
    • 內村幸治俣野芳朗宮垣瞬井上健太郎
    • G01N
    • 本發明的氧化矽濃度測定裝置無需使用鉬酸離子等的試藥,藉由簡單的裝置構成來實時、連續且高精度地測定氧化矽濃度。此裝置包括:光照射部2,對溶液照射檢查光;第1光檢測部3,包含第1光檢測元件,該第1光檢測元件在螢光檢測波長區域及散射光檢測波長區域具有檢測靈敏度,螢光檢測波長區域為藉由檢查光的照射而產生的螢光的波長區域的至少一部分,散射光檢測波長區域為藉由上述檢查光的照射而產生的散射光的波長區域的至少一部分;第2光檢測部4,包含在散射光檢測波長區域具有檢測靈敏度的第2光檢測元件;以及氧化矽濃度計算部53,將第1光檢測部3的光强度信號値及第2光檢測部4的光强度信號値作為參數來計算氧化矽濃度。
    • 本发明的氧化硅浓度测定设备无需使用钼酸离子等的试药,借由简单的设备构成来实时、连续且高精度地测定氧化硅浓度。此设备包括:光照射部2,对溶液照射检查光;第1光检测部3,包含第1光检测组件,该第1光检测组件在萤光检测波长区域及散射光检测波长区域具有检测灵敏度,萤光检测波长区域为借由检查光的照射而产生的萤光的波长区域的至少一部分,散射光检测波长区域为借由上述检查光的照射而产生的散射光的波长区域的至少一部分;第2光检测部4,包含在散射光检测波长区域具有检测灵敏度的第2光检测组件;以及氧化硅浓度计算部53,将第1光检测部3的光强度信号値及第2光检测部4的光强度信号値作为参数来计算氧化硅浓度。
    • 5. 发明专利
    • 處理液用流量計 FLOWMETER FOR TREATMENT SOLUTION
    • 处理液用流量计 FLOWMETER FOR TREATMENT SOLUTION
    • TW201245672A
    • 2012-11-16
    • TW101107796
    • 2012-03-08
    • 東京威力科創股份有限公司堀場先進技術股份有限公司
    • 佐藤尊三安藤了至內村幸治
    • G01FG01NB05C
    • G01F1/66G01F1/667G01F1/74
    • 一種處理液用流量計,對在供給配管200中流動的處理液的流速進行測定,且包括:一對超音波振動器2、3,在上述供給配管200的流動方向上,隔開固定距離地配置;流速計算部4,基於第1到達時間T1及第2到達時間T2,對上述處理液的流速進行計算,上述第1到達時間T1是自一個超音波振動器2發出的超音波到達另一個超音波振動器3的時間,上述第2到達時間T2是自上述另一個超音波振動器3發出的超音波到達上述一個超音波振動器2的時間;以及氣泡混入判斷部5,基於計算出的上述處理液的流速的時間變化量,判斷上述處理液中是否混入有氣泡。
    • 一种处理液用流量计,对在供给配管200中流动的处理液的流速进行测定,且包括:一对超音波振动器2、3,在上述供给配管200的流动方向上,隔开固定距离地配置;流速计算部4,基于第1到达时间T1及第2到达时间T2,对上述处理液的流速进行计算,上述第1到达时间T1是自一个超音波振动器2发出的超音波到达另一个超音波振动器3的时间,上述第2到达时间T2是自上述另一个超音波振动器3发出的超音波到达上述一个超音波振动器2的时间;以及气泡混入判断部5,基于计算出的上述处理液的流速的时间变化量,判断上述处理液中是否混入有气泡。