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    • 85. 发明专利
    • 壓力式流量控制裝置、其流量算出方法及流量控制方法
    • 压力式流量控制设备、其流量算出方法及流量控制方法
    • TW201809942A
    • 2018-03-16
    • TW106128767
    • 2017-08-24
    • 日商富士金股份有限公司FUJIKIN INCORPORATED
    • 永瀬正明NAGASE, MASAAKI平田薰HIRATA, KAORU西野功二NISHINO, KOUJI池田信一IKEDA, NOBUKAZU
    • G05D16/20G01F15/04
    • G01F1/50G05D7/06
    • [課題]提供一種精度佳地算出混合氣體的流量,且使用該算出值,將混合氣體的流量控制成所希望的值的壓力式流量控制裝置。   [解決手段]壓力式流量控制裝置(1)係在將孔口(5)的上游側壓力P1保持在下游側壓力P2的約2倍以上的狀態下,構成混合氣體的2種氣體的混合比為X:(1-X),使用將2種類氣體的密度、比熱比及氣體常數以混合比率進行加權所算出的混合氣體的平均密度ρ、平均比熱比κ及平均氣體常數R,將混合氣體的流量係數FF藉由FF=(k/ρ){2/(κ+1)}1/(κ-1)[κ/{(κ+1)R}]1/2進行算出,且將通過孔口的混合氣體的流量Q,將孔口剖面積設為S、孔口的上游側的混合氣體的壓力設為P1、溫度設為T1,藉由Q=FF・S・P1(1/T1)1/2進行算出。
    • [课题]提供一种精度佳地算出混合气体的流量,且使用该算出值,将混合气体的流量控制成所希望的值的压力式流量控制设备。   [解决手段]压力式流量控制设备(1)系在将孔口(5)的上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的约2倍以上的状态下,构成混合气体的2种气体的混合比为X:(1-X),使用将2种类气体的密度、比热比及气体常数以混合比率进行加权所算出的混合气体的平均密度ρ、平均比热比κ及平均气体常数R,将混合气体的流量系数FF借由FF=(k/ρ){2/(κ+1)}1/(κ-1)[κ/{(κ+1)R}]1/2进行算出,且将通过孔口的混合气体的流量Q,将孔口剖面积设为S、孔口的上游侧的混合气体的压力设为P1、温度设为T1,借由Q=FF・S・P1(1/T1)1/2进行算出。