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    • 75. 发明专利
    • 氧化鋅系透明導電膜
    • 氧化锌系透明导电膜
    • TW201435105A
    • 2014-09-16
    • TW102146659
    • 2013-12-17
    • 住友化學股份有限公司SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED
    • 中田邦彥NAKATA, KUNIHIKO堀田翔平HOTTA, SHOHEI
    • C23C14/08C04B35/453C04B35/64H01B1/08H01B13/00H01B5/14H01L31/0224H01L31/18H01L31/042
    • C23C14/08C23C14/086C23C14/3414G06F3/041G06F2203/04103H01L31/022483H01L31/1884Y02E10/50
    • 本發明之氧化鋅系透明導電膜,其係包含鋅原子、氧原子與下述所定義的M之氧化鋅系透明導電膜,鋅原子數、氧原子數、鈦原子數、鎵原子數與鋁原子數之合計之相對於構成該膜之全原子數為99%以上,鈦原子數、鎵原子數及鋁原子數之合計原子數之相對於該膜中所包含的鋅原子數、鈦原子數、鎵原子數及鋁原子數之合計原子數之比例((鈦原子數+鎵原子數+鋁原子數)/(鋅原子數+鈦原子數+鎵原子數+鋁原子數)×100)為1.3%以上且2.0%以下,鈦原子數之相對於該膜中所包含的鈦原子數、鎵原子數及鋁原子數之合計原子數,至少為50%,載體電子濃度為3.60×1020cm-3以下,移動度為43.0cm2/Vs以上,及比電阻為5.00×10-4Ω.cm以下,M:鈦原子;鈦原子及鎵原子;鈦原子及鋁原子;或鈦原子、鎵原子及鋁原子。
    • 本发明之氧化锌系透明导电膜,其系包含锌原子、氧原子与下述所定义的M之氧化锌系透明导电膜,锌原子数、氧原子数、钛原子数、镓原子数与铝原子数之合计之相对于构成该膜之全原子数为99%以上,钛原子数、镓原子数及铝原子数之合计原子数之相对于该膜中所包含的锌原子数、钛原子数、镓原子数及铝原子数之合计原子数之比例((钛原子数+镓原子数+铝原子数)/(锌原子数+钛原子数+镓原子数+铝原子数)×100)为1.3%以上且2.0%以下,钛原子数之相对于该膜中所包含的钛原子数、镓原子数及铝原子数之合计原子数,至少为50%,载体电子浓度为3.60×1020cm-3以下,移动度为43.0cm2/Vs以上,及比电阻为5.00×10-4Ω.cm以下,M:钛原子;钛原子及镓原子;钛原子及铝原子;或钛原子、镓原子及铝原子。
    • 80. 发明专利
    • 奈米氧化銦鎵鋅粉末的製作方法
    • 奈米氧化铟镓锌粉末的制作方法
    • TW201329016A
    • 2013-07-16
    • TW101101491
    • 2012-01-13
    • 巨眾光電科技有限公司GIGATRON TECHNOLOGY ENTERPRISE LIMITED
    • 呂昆達
    • C04B35/453C04B35/622C23C14/34H01L29/786
    • 本發明係揭示一種奈米氧化銦鎵鋅粉末的製作方法,主要包括:利用溶劑溶解銦、鎵、鋅金屬或化合物,形成前驅金屬離子溶液;在沉澱溫度下進行多階段低溫共沉澱處理,以產生沉澱溶液;過濾以產生初級濾餅;進行清洗處理,降低陰離子,以產生最終濾餅;乾燥以產生共沉澱複合物粉末;以及進行煆燒處理,以產生奈米氧化銦鎵鋅粉末。低溫共沉澱處理可包括加入沉澱劑、調整酸鹼值以及進行陳化,而清洗處理可包括水洗、攪拌分散及過濾。本發明具有處理簡單及成本低廉的優點,且所製作的奈米氧化銦鎵鋅粉末非常適合製作濺鍍用的氧化銦鎵鋅靶材。
    • 本发明系揭示一种奈米氧化铟镓锌粉末的制作方法,主要包括:利用溶剂溶解铟、镓、锌金属或化合物,形成前驱金属离子溶液;在沉淀温度下进行多阶段低温共沉淀处理,以产生沉淀溶液;过滤以产生初级滤饼;进行清洗处理,降低阴离子,以产生最终滤饼;干燥以产生共沉淀复合物粉末;以及进行煅烧处理,以产生奈米氧化铟镓锌粉末。低温共沉淀处理可包括加入沉淀剂、调整酸碱值以及进行陈化,而清洗处理可包括水洗、搅拌分散及过滤。本发明具有处理简单及成本低廉的优点,且所制作的奈米氧化铟镓锌粉末非常适合制作溅镀用的氧化铟镓锌靶材。