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    • 71. 发明专利
    • 形成半導體元件之精細圖案的方法 METHOD FOR FORMING FINE PATTERN OF SEMICONDUCTOR DEVICE
    • 形成半导体组件之精细图案的方法 METHOD FOR FORMING FINE PATTERN OF SEMICONDUCTOR DEVICE
    • TWI373790B
    • 2012-10-01
    • TW097100535
    • 2008-01-07
    • 海力士半導體股份有限公司
    • 潘槿道卜喆圭
    • H01L
    • H01L21/0337H01L21/0338Y10S438/952
    • 形成半導體元件之精細圖案的方法,其包含於具有底層的基板上形成沉積膜。沉積膜包含第一、第二、第三遮罩膜。此方法亦包含於第三遮罩膜上形成光阻圖案,將第三遮罩膜做出圖案以形成沉積圖案,以及在沉積圖案的側壁上形成非晶質碳圖案。此方法進一步包含於沉積圖案和非晶質碳圖案上填充旋塗碳層,拋光旋塗碳層、非晶質碳圖案、光阻圖案以暴露第三遮罩圖案,以及以非晶質碳圖案做為蝕刻遮罩來進行蝕刻過程,以暴露第一遮罩膜。蝕刻過程移除了第三遮罩圖案和暴露的第二遮罩圖案。此方法亦包含移除旋塗碳層和非晶質碳圖案,以及以第二遮罩圖案做為蝕刻遮罩來形成第一遮罩圖案。
    • 形成半导体组件之精细图案的方法,其包含于具有底层的基板上形成沉积膜。沉积膜包含第一、第二、第三遮罩膜。此方法亦包含于第三遮罩膜上形成光阻图案,将第三遮罩膜做出图案以形成沉积图案,以及在沉积图案的侧壁上形成非晶质碳图案。此方法进一步包含于沉积图案和非晶质碳图案上填充旋涂碳层,抛光旋涂碳层、非晶质碳图案、光阻图案以暴露第三遮罩图案,以及以非晶质碳图案做为蚀刻遮罩来进行蚀刻过程,以暴露第一遮罩膜。蚀刻过程移除了第三遮罩图案和暴露的第二遮罩图案。此方法亦包含移除旋涂碳层和非晶质碳图案,以及以第二遮罩图案做为蚀刻遮罩来形成第一遮罩图案。
    • 74. 发明专利
    • 積體電路 INTEGRATED CIRCUIT
    • 集成电路 INTEGRATED CIRCUIT
    • TW201236019A
    • 2012-09-01
    • TW100116365
    • 2011-05-10
    • 海力士半導體股份有限公司
    • 文真永
    • G11C
    • G06F13/4243G06F13/4291G06F2213/0038
    • 一種積體電路包括:複數條資料線,該複數條資料線上面載入有藉由複數個脈衝信號對準之資料;複數條傳送線;一資料傳送單元,該資料傳送單元經組態以回應於一相關信號而將該複數條資料線之該資料傳送至該複數條傳送線;一資料輸出單元,該資料輸出單元經組態以輸出對應於在複數個傳輸信號中被啟動之一傳輸信號的該傳送線之該資料;一相關信號產生單元,該相關信號產生單元經組態以在將一命令輸入至該相關信號產生單元時使用一延時值及該複數個傳輸信號中之一者之一邏輯值來產生該相關信號;及一脈衝信號產生單元,該脈衝信號產生單元經組態以在輸入該命令時順序地啟動該複數個脈衝信號。
    • 一种集成电路包括:复数条数据线,该复数条数据在线面加载有借由复数个脉冲信号对准之数据;复数条发送线;一数据发送单元,该数据发送单元经组态以回应于一相关信号而将该复数条数据线之该数据发送至该复数条发送线;一数据输出单元,该数据输出单元经组态以输出对应于在复数个传输信号中被启动之一传输信号的该发送线之该数据;一相关信号产生单元,该相关信号产生单元经组态以在将一命令输入至该相关信号产生单元时使用一延时值及该复数个传输信号中之一者之一逻辑值来产生该相关信号;及一脉冲信号产生单元,该脉冲信号产生单元经组态以在输入该命令时顺序地启动该复数个脉冲信号。
    • 76. 发明专利
    • 分享一寫入自動預充電信號產生單元之自動預充電電路 AUTO PRECHARGE CIRCUIT SHARING A WRITE AUTO PRECHARGE SIGNAL GENERATING UNIT
    • 分享一写入自动预充电信号产生单元之自动预充电电路 AUTO PRECHARGE CIRCUIT SHARING A WRITE AUTO PRECHARGE SIGNAL GENERATING UNIT
    • TWI368917B
    • 2012-07-21
    • TW097121074
    • 2008-06-06
    • 海力士半導體股份有限公司
    • 高漢碩
    • G11C
    • G11C8/18G11C7/22
    • 在自動預充電電路下,一多數讀取自動預充電訊號產生單元,以及多數自動預充電訊號輸出單元可共享一單一寫入自動預充電訊號產生單元。每個讀取自動預充電訊號產生單元可邏輯性地結合一內部CAS指令訊號,一內部位址訊號和預自動預充電訊號,來產生一自動預充電檢測訊號,以及一讀取自動預充電訊號。寫入自動預充電訊號產生單元可延遲讀取自動預充電訊號一預定時間,來產生一寫入自動預充電訊號。每個自動預充電訊號輸出單元可邏輯性地結合內部CAS指令訊號,一內部位址訊號,一讀取自動預充電訊號,以及一寫入自動預充電訊號來輸出自動預充電訊號。
    • 在自动预充电电路下,一多数读取自动预充电信号产生单元,以及多数自动预充电信号输出单元可共享一单一写入自动预充电信号产生单元。每个读取自动预充电信号产生单元可逻辑性地结合一内部CAS指令信号,一内部位址信号和预自动预充电信号,来产生一自动预充电检测信号,以及一读取自动预充电信号。写入自动预充电信号产生单元可延迟读取自动预充电信号一预定时间,来产生一写入自动预充电信号。每个自动预充电信号输出单元可逻辑性地结合内部CAS指令信号,一内部位址信号,一读取自动预充电信号,以及一写入自动预充电信号来输出自动预充电信号。