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61. 发明专利

TW354769B 選擇減少反應性氣體及回收過氟化合物氣體的方法和裝置失效
简体标题：选择减少反应性气体及回收过氟化合物气体的方法和设备
公开(公告)号：TW354769B
公开(公告)日：1999-03-21
申请号：TW085111188
申请日：1996-09-13
申请人：液態空氣.喬治斯.克勞帝方法研究開發股份有限公司
发明人：艾瑞克L.杜查多
IPC分类号： B01D
CPC分类号： B01D53/228
摘要：提供一種從氣體混合物回收至少一種過氟化合物氣體的方法和裝置。在本發明方法的一具體實施例中，其特徵在於包括以下步驟：（ａ）提供一種氣體混合物，該混合物包括至少一過氟化合物氣體和至少一載體氣體，該氣體混合物處於預設壓力下；（ｂ）提供至少一玻璃態聚合物薄膜，其具備入料側和滲透側；（ｃ）使至少一薄膜的入料側與該氣體混合物接觸；（ｄ）從薄膜的入料側抽出為非滲透流形式的主要包括至少一過氟化合物氣體的濃縮氣體混合物，其壓力大致上與預設壓力相等；和（ｅ）從薄膜滲透側抽取滲透流形式的主要包括至少一載體氣體的耗盡氣體混合物。
简体摘要：提供一种从气体混合物回收至少一种过氟化合物气体的方法和设备。在本发明方法的一具体实施例中，其特征在于包括以下步骤：（ａ）提供一种气体混合物，该混合物包括至少一过氟化合物气体和至少一载体气体，该气体混合物处于默认压力下；（ｂ）提供至少一玻璃态聚合物薄膜，其具备入料侧和渗透侧；（ｃ）使至少一薄膜的入料侧与该气体混合物接触；（ｄ）从薄膜的入料侧抽出为非渗透流形式的主要包括至少一过氟化合物气体的浓缩气体混合物，其压力大致上与默认压力相等；和（ｅ）从薄膜渗透侧抽取渗透流形式的主要包括至少一载体气体的耗尽气体混合物。

62. 发明专利

TW351762B 以諧波偵測光譜學於真空中靈敏偵測出分子形式的方法及系統失效
简体标题：以谐波侦测光谱学于真空中灵敏侦测出分子形式的方法及系统
公开(公告)号：TW351762B
公开(公告)日：1999-02-01
申请号：TW085111926
申请日：1996-10-01
申请人：液態空氣.喬治斯.克勞帝方法研究開發股份有限公司
发明人：諾南S.英曼
IPC分类号： G01N
摘要：本發明係提供一種關於諧波偵測光譜學之新方法與系統。該方法包括提供一具有一樣品區之一室，此樣品區係由至少一壁所環繞。該室具有至少一光入／出埠，在每一入／出埠中包含一光透射窗係具有一表面係面向該樣品區並且係如此被設置以便能夠沿著圓周方向封住該室。一樣品氣體係沿著平行一室中心軸的方向流過該樣品區，並且該室係在大氣壓力之下運作。一頻率及／或振幅調變之光源係被設置用以直射一穿過至少一光透射窗而進入該室的光束。該光源之調變振幅係被設定成一數值，此數值使該樣品區內部被偵測的氣態分子形式所產生一諧波信號在吸收特性之中心達到接近最大值，並且該光源之中心頻率係被調整以致鎖定該吸收特性之中心或涵蓋該吸收特性之頻率波段重複掃描。一光譜係於隨後被產生，此光譜能個別地被記錄或被平均。一偵測器係被設置用以測量穿過至少一光透射窗離開該室之光束。該光源與偵測器係被裝在一容室內，此容室係在該室外面並且和該樣品區隔離，該容室與該樣品區被設置成可經由至少一光透射窗而互相以光連通。該容室的內部壓力係被控制至一數值，此數值相對於大氣壓力係為正值。該方法可被用來偵測一樣品中之氣態分子形式。特別應用性係被發現於半導體製程設備中。
简体摘要：本发明系提供一种关于谐波侦测光谱学之新方法与系统。该方法包括提供一具有一样品区之一室，此样品区系由至少一壁所环绕。该室具有至少一光入／出端口，在每一入／出端口中包含一光透射窗系具有一表面系面向该样品区并且系如此被设置以便能够沿着圆周方向封住该室。一样品气体系沿着平行一室中心轴的方向流过该样品区，并且该室系在大气压力之下运作。一频率及／或振幅调制之光源系被设置用以直射一穿过至少一光透射窗而进入该室的光束。该光源之调制振幅系被设置成一数值，此数值使该样品区内部被侦测的气态分子形式所产生一谐波信号在吸收特性之中心达到接近最大值，并且该光源之中心频率系被调整以致锁定该吸收特性之中心或涵盖该吸收特性之频率波段重复扫描。一光谱系于随后被产生，此光谱能个别地被记录或被平均。一侦测器系被设置用以测量穿过至少一光透射窗离开该室之光束。该光源与侦测器系被装在一容室内，此容室系在该室外面并且和该样品区隔离，该容室与该样品区被设置成可经由至少一光透射窗而互相以光连通。该容室的内部压力系被控制至一数值，此数值相对于大气压力系为正值。该方法可被用来侦测一样品中之气态分子形式。特别应用性系被发现于半导体制程设备中。

63. 发明专利

TW349031B 分離和回收過氟化化合物氣體的改良方法和系統失效
简体标题：分离和回收过氟化化合物气体的改良方法和系统
公开(公告)号：TW349031B
公开(公告)日：1999-01-01
申请号：TW087100414
申请日：1998-01-14
申请人：液態空氣.喬治斯.克勞帝方法研究開發股份有限公司
发明人：葛雷戈來K.佛列朗
IPC分类号： B01D
CPC分类号： B01D53/228 , B01D53/22 , B01D53/225 , B01D53/226 , B01D53/229 , B01D2257/204 , B01D2257/2066 , C07C17/38 , Y02C20/30 , Y02P20/154 , Y02P20/155 , C07C19/08
摘要：本發明提供自一氣體混合物中回收至少一過氟化化合物氣體的方法和系統。在一實施例中，該具發明性方法包括之步驟為，提供一包含至少一過氟化化合物氣體及至少一載氣之氣體混合物，該氣體混合物處於一預定之壓力下；提供至少一尺寸選擇膜，其具有一進給側與一滲透側；使該至少一膜之進給側與該氣體混合物接觸；於一基本上等於該預定壓力之壓力下，將一本質上僅包含該至少一過氟化化合物氣體之濃縮氣體混合物從該膜之進給側取出，成為一非滲透流；以及將一本質上僅包含該至少一載氣之空乏氣體混合物從該膜之滲透側取出，成為一滲透流。
简体摘要：本发明提供自一气体混合物中回收至少一过氟化化合物气体的方法和系统。在一实施例中，该具发明性方法包括之步骤为，提供一包含至少一过氟化化合物气体及至少一载气之气体混合物，该气体混合物处于一预定之压力下；提供至少一尺寸选择膜，其具有一进给侧与一渗透侧；使该至少一膜之进给侧与该气体混合物接触；于一基本上等于该预定压力之压力下，将一本质上仅包含该至少一过氟化化合物气体之浓缩气体混合物从该膜之进给侧取出，成为一非渗透流；以及将一本质上仅包含该至少一载气之空乏气体混合物从该膜之渗透侧取出，成为一渗透流。

64. 发明专利

TW338791B 冷卻系統及使用冷卻系統冷卻晶座的方法失效
简体标题：冷却系统及使用冷却系统冷却晶座的方法
公开(公告)号：TW338791B
公开(公告)日：1998-08-21
申请号：TW085109986
申请日：1996-08-16
申请人：液態空氣.喬治斯.克勞帝方法研究開發股份有限公司
发明人：喬瑟夫E.巴尚席
IPC分类号： F28D
CPC分类号： H01L21/67103 , F28D2021/0019 , Y02P70/605
摘要：依照本發明的冷卻系統包括一真空護套壓力管，包含了噴灑熱交換器及管殼式熱交換器兩者。噴灑熱交換器包括一個或多個噴嘴以引導第一個冷凍劑在運送第二個冷凍劑的熱交換器元件中。第一個冷凍劑從噴嘴中噴灑細密薄霧到運送第二個冷凍劑的熱交換器元件上。第一個冷凍劑接著蒸發且冷卻了在熱交換器元件內的第二個冷凍劑。管殼式熱交換器為逆流熱交換器並包括了內部管路以運送第二個冷凍劑到噴灑熱交換器，及環繞內部管路的外部管路以運送從真空護套壓力管的內部到壓力管外部所收集的第一個冷凍劑。噴灑熱交換器收集了第一個冷凍劑的蒸發熱，而管殼式熱交換器收集殘留在蒸發的第一個冷凍劑中的焓。
简体摘要：依照本发明的冷却系统包括一真空护套压力管，包含了喷洒热交换器及管壳式热交换器两者。喷洒热交换器包括一个或多个喷嘴以引导第一个冷冻剂在运送第二个冷冻剂的热交换器组件中。第一个冷冻剂从喷嘴中喷洒细密薄雾到运送第二个冷冻剂的热交换器组件上。第一个冷冻剂接着蒸发且冷却了在热交换器组件内的第二个冷冻剂。管壳式热交换器为逆流热交换器并包括了内部管路以运送第二个冷冻剂到喷洒热交换器，及环绕内部管路的外部管路以运送从真空护套压力管的内部到压力管外部所收集的第一个冷冻剂。喷洒热交换器收集了第一个冷冻剂的蒸发热，而管壳式热交换器收集残留在蒸发的第一个冷冻剂中的焓。

65. 发明专利

TW338103B 多邊平面多通室及包括其之系統與裝置以及使用方法失效
简体标题：多边平面多通室及包括其之系统与设备以及使用方法
公开(公告)号：TW338103B
公开(公告)日：1998-08-11
申请号：TW085111927
申请日：1996-10-01
申请人：液態空氣.喬治斯.克勞帝方法研究開發股份有限公司
发明人：傑姆士.麥考安得魯 , 諾南S.英曼
IPC分类号： G01N
摘要：被提供的係一新的多邊平面多通室和使用吸收光譜學之方法。該多通室包含一由多數壁環繞之樣本區。每一壁有一光反射面面向該樣本區，並且每一壁係被連接到至少另外一壁，以便於橫截面實質上形成一多邊形。該多邊形內部至少一邊具有一光入／出埠，並且該入／出埠包含一光傳輸窗其有一表面面向該樣本區。該光係被設置以便於周邊方向封住該多通室。該多通室有一中心軸係平行於該等壁之光反射面和光傳輸窗之表面其係面向該樣本區。該多通室可被使用於一樣本中以測量分子氣體雜質。特別適用範圍係見於半導體處理中。
简体摘要：被提供的系一新的多边平面多通室和使用吸收光谱学之方法。该多通室包含一由多数壁环绕之样本区。每一壁有一光反射面面向该样本区，并且每一壁系被连接到至少另外一壁，以便于横截面实质上形成一多边形。该多边形内部至少一边具有一光入／出端口，并且该入／出端口包含一光传输窗其有一表面面向该样本区。该光系被设置以便于周边方向封住该多通室。该多通室有一中心轴系平行于该等壁之光反射面和光传输窗之表面其系面向该样本区。该多通室可被使用于一样本中以测量分子气体杂质。特别适用范围系见于半导体处理中。

66. 发明专利

TW336985B 燃料和氧化劑流分別噴射進入的燃燒方法和裝置失效
简体标题：燃料和氧化剂流分别喷射进入的燃烧方法和设备
公开(公告)号：TW336985B
公开(公告)日：1998-07-21
申请号：TW086117179
申请日：1997-11-18
申请人：液態空氣.喬治斯.克勞帝方法研究開發股份有限公司
发明人：路易C.菲力普
IPC分类号： F23C , F27B
CPC分类号： F23D14/32 , F23C5/14 , F23C6/045 , F23C7/02 , F23D14/22 , F23D14/58 , F23D2900/00013 , F23L7/007 , Y02E20/344
摘要：本發明提出一種具有改良的火焰長度和形狀之燃燒器組合體，其於示範實施例中包括至少一燃料流體入口和至少一氧化劑流體入口﹔將燃料流體從燃料入口輸送到眾多燃料出口之工具，該燃料流體離開該燃料出口而以燃料流形式噴射到燃料室內﹔將氧化劑流體從氧化劑入口輸送到至少一氧化劑出口之工具，讓氧化劑流體從氧化劑出口離開而以氧化劑流體形式注射到燃燒室內﹔其中燃料出口與氧化劑出口係物理地隔開的，且經整齊有系統地排列以期賦與該燃料流體流和氧化劑流體流角度和速度可讓燃料流體與氧化劑以穩定，寬廣且光亮的火焰燃燒。另外可以單獨地使用噴射器或與耐火塊組配合使用以噴射氧化劑和燃料氣體。該燃燒器組合體可提供在火焰尺寸和形狀上經改良的控制且可視需要予以調整以與特別的爐子配合使用。
简体摘要：本发明提出一种具有改良的火焰长度和形状之燃烧器组合体，其于示范实施例中包括至少一燃料流体入口和至少一氧化剂流体入口﹔将燃料流体从燃料入口输送到众多燃料出口之工具，该燃料流体离开该燃料出口而以燃料流形式喷射到燃料室内﹔将氧化剂流体从氧化剂入口输送到至少一氧化剂出口之工具，让氧化剂流体从氧化剂出口离开而以氧化剂流体形式注射到燃烧室内﹔其中燃料出口与氧化剂出口系物理地隔开的，且经整齐有系统地排列以期赋与该燃料流体流和氧化剂流体流角度和速度可让燃料流体与氧化剂以稳定，宽广且光亮的火焰燃烧。另外可以单独地使用喷射器或与耐火块组配合使用以喷射氧化剂和燃料气体。该燃烧器组合体可提供在火焰尺寸和形状上经改良的控制且可视需要予以调整以与特别的炉子配合使用。

67. 发明专利

TW319946B 於一溫度受到控制的非氧化環境中波動焊接在一印刷電路板上的元件之方法失效
简体标题：于一温度受到控制的非氧化环境中波动焊接在一印刷电路板上的组件之方法
公开(公告)号：TW319946B
公开(公告)日：1997-11-11
申请号：TW084103888
申请日：1995-04-20
申请人：液態空氣.喬治斯.克勞帝方法研究開發股份有限公司 , 液體空氣美國公司
发明人：佛雷德瑞克 , 凱文P.麥考肯恩 , 勞柏W.康諾斯
IPC分类号： H05K
CPC分类号： H05K3/3468 , B23K1/085 , B23K2201/36 , H05K2203/086 , H05K2203/111
摘要：本發明係有關於波動焊接處理程序，其中一惰性氣體環境被注入此波動焊接機器內，該惰性氣體環境具有一可控制之溫度。特別是，此環境氣壓於注入前可被以相同或不同溫度加熱，例如於機器此預熱區中。此環境亦可被冷卻（或以周圍溫度注入），例如於冷卻區中。不同環境可被使用（每一區相同或彼此不同）。由此環境至印刷電路板間熱傳送之熱效率因此大為增加，此意即更少焊接缺點，更高元件密度及減少能源消耗及惰性氣體流率。
简体摘要：本发明系有关于波动焊接处理进程，其中一惰性气体环境被注入此波动焊接机器内，该惰性气体环境具有一可控制之温度。特别是，此环境气压于注入前可被以相同或不同温度加热，例如于机器此预热区中。此环境亦可被冷却（或以周围温度注入），例如于冷却区中。不同环境可被使用（每一区相同或彼此不同）。由此环境至印刷电路板间热发送之热效率因此大为增加，此意即更少焊接缺点，更高组件密度及减少能源消耗及惰性气体流率。

68. 发明专利

TW305790B 在控制下的氣層中測量沾濕性的設備和方法失效
简体标题：在控制下的气层中测量沾湿性的设备和方法
公开(公告)号：TW305790B
公开(公告)日：1997-05-21
申请号：TW084108089
申请日：1995-08-03
申请人：液態空氣.喬治斯.克勞帝方法研究開發股份有限公司
发明人：尼古拉.波帝埃 , 馬克.賴圖爾密
IPC分类号： B23K
CPC分类号： G01N13/02 , B23K31/12
摘要：於受控制氣層下，一套能測量沾濕性的設備，包括一台如圖2所示的儀器(5)，用以測量樣品對於液態金屬焊料在其至少一個表面部份的沾濕性。至少有部份儀器納入封閉箱(6)之內，此封閉箱有一個瓦斯噴射器。此噴射器由至少一組的導管(10)組成。導管可以縱向排列或者平行排列，亦可混合排列。至少有部份導管具有噴氣小孔，由至少一支連向主連結節的瓦斯供應管供氣。這個組合的尺寸遵循下列之關係：圖２
Σωi/Σψi≧１，最好是≧1.5；
此處Σωi代表為向該組導管供氣的瓦斯供應管的內截面的面積總和。Σψi代表在該組導管上所有瓦斯噴氣小孔的截面積總和。
简体摘要：于受控制气层下，一套能测量沾湿性的设备，包括一台如图2所示的仪器(5)，用以测量样品对于液态金属焊料在其至少一个表面部份的沾湿性。至少有部份仪器纳入封闭箱(6)之内，此封闭箱有一个瓦斯喷射器。此喷射器由至少一组的导管(10)组成。导管可以纵向排列或者平行排列，亦可混合排列。至少有部份导管具有喷气小孔，由至少一支连向主链接节的瓦斯供应管供气。这个组合的尺寸遵循下列之关系：图２ Σωi/Σψi≧１，最好是≧1.5；此处Σωi代表为向该组导管供气的瓦斯供应管的内截面的面积总和。Σψi代表在该组导管上所有瓦斯喷气小孔的截面积总和。

69. 发明专利

TW279996B 激發或不穩定氣體分子產生器及其用途失效
简体标题：激发或不稳定气体分子产生器及其用途
公开(公告)号：TW279996B
公开(公告)日：1996-07-01
申请号：TW082107684
申请日：1993-09-20
申请人：液態空氣.喬治斯.克勞帝方法研究開發股份有限公司
发明人：拉羅魁特.克瑞斯臣 , 馬瑞.布龍諾 , 魁倫.丹尼爾
IPC分类号： H01J
摘要：本產生器包括一管狀氣體通道（５），該通道係由一周邊電極（１）與一介電管（３）（該介電管之內部表面與第二電極（４）相接）所形成，氣體於入口（７）及出口（８）（兩者彼此遙遙相對，且其高度不超過通道（５）之徑向厚度（ｅ））間之通道（５）內橫向流過。
本產生器之特別用途是：臭氧之製備及大氣之處理。
简体摘要：本产生器包括一管状气体信道（５），该信道系由一周边电极（１）与一介电管（３）（该介电管之内部表面与第二电极（４）相接）所形成，气体于入口（７）及出口（８）（两者彼此遥遥相对，且其高度不超过信道（５）之径向厚度（ｅ））间之信道（５）内横向流过。本产生器之特别用途是：臭氧之制备及大气之处理。

70. 实用新型

TW176995U 焦耳湯姆孫冷卻器失效
简体标题：焦耳汤姆孙冷却器
公开(公告)号：TW176995U
公开(公告)日：1992-01-11
申请号：TW080209369
申请日：1990-04-18
申请人：液態空氣.喬治斯.克勞帝方法研究開發股份有限公司
发明人：瑞爾利.澤爾熱
IPC分类号： F28D
摘要：一冷卻器之鎖合構件(16)是由一球狀引動器(18)控制的，此引動器界定位於冷卻器冷的部分的輔助氣體體積(24)，並連接至位於冷卻器溫的部分非常大的體積的室(21)。本創作之冷卻器應用於紅外光偵測器的冷卻上。
简体摘要：一冷却器之锁合构件(16)是由一球状引动器(18)控制的，此引动器界定位于冷却器冷的部分的辅助气体体积(24)，并连接至位于冷却器温的部分非常大的体积的室(21)。本创作之冷却器应用于红外光侦测器的冷却上。

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