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    • 63. 发明专利
    • 探針卡 PROBE CARD
    • 探针卡 PROBE CARD
    • TW200728734A
    • 2007-08-01
    • TW095145092
    • 2006-12-05
    • 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.
    • 中山浩志 NAKAYAMA, HIROSHI長屋光浩 NAGAYA, MITSUHIRO山田佳男 YAMADA, YOSHIO
    • G01RH01L
    • G01R31/2889G01R1/07371
    • 一種探針卡,可確實地進行基板與空間轉換器的電性連接,且可容易以低成本進行維修。本探針卡係具備:複數個探針,係與半導體晶圓接觸以進行電性信號的輸入或輸出;探針頭,係收容保持前述複數個探針;基板,係具有對應於產生檢查用信號之電路構造的配線圖案;補强構件,係裝設於前述基板以補强前述基板;中介件,係具有於軸線方向伸縮自如的複數個連接端子,以及將前述複數個連接端子個別收容的複數個孔部之外罩,且該中介件係層疊於前述基板並接續前述基板的配線;以及空間轉換器,係夾在於前述中介件及前述探針頭之間而被層疊,且將藉由前述中介件所接續之配線的間隔予以變換並顯露於與前述探針頭相對之側的表面。
    • 一种探针卡,可确实地进行基板与空间转换器的电性连接,且可容易以低成本进行维修。本探针卡系具备:复数个探针,系与半导体晶圆接触以进行电性信号的输入或输出;探针头,系收容保持前述复数个探针;基板,系具有对应于产生检查用信号之电路构造的配线图案;补强构件,系装设于前述基板以补强前述基板;中介件,系具有于轴线方向伸缩自如的复数个连接端子,以及将前述复数个连接端子个别收容的复数个孔部之外罩,且该中介件系层叠于前述基板并接续前述基板的配线;以及空间转换器,系夹在于前述中介件及前述探针头之间而被层叠,且将借由前述中介件所接续之配线的间隔予以变换并显露于与前述探针头相对之侧的表面。
    • 66. 发明专利
    • 探針卡 PROBE CARD
    • 探针卡 PROBE CARD
    • TW200710402A
    • 2007-03-16
    • TW095132134
    • 2006-08-31
    • 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.
    • 佐佐木俊輔 SASAKI, SHUNSUKE中山浩志 NAKAYAMA, HIROSHI
    • G01RH01L
    • G01R1/07314G01R1/44
    • 本發明之目的在於提供一種探針卡,具有高頻率之電信號的傳送特性優良,且不花費成本而具有良好的經濟效益。為了達成此目的,本發明之探針卡係具備:與設置在作為檢查對象之半導體晶圓之複數個電極接觸,而進行電信號的輸入或輸出之複數個探針;收納上述複數個探針之探針頭;可接觸於上述探針頭,且於與上述探針頭相對向之表面附近具有與上述複數個探針連接之配線之基板;埋設於上述基板,且由熱膨脹係數較上述基板更小之原材所組成之核心層;及經由上述配線,而將上述複數個探針的至少一部分與外部裝置電性連接之連接手段。
    • 本发明之目的在于提供一种探针卡,具有高频率之电信号的发送特性优良,且不花费成本而具有良好的经济效益。为了达成此目的,本发明之探针卡系具备:与设置在作为检查对象之半导体晶圆之复数个电极接触,而进行电信号的输入或输出之复数个探针;收纳上述复数个探针之探针头;可接触于上述探针头,且于与上述探针头相对向之表面附近具有与上述复数个探针连接之配线之基板;埋设于上述基板,且由热膨胀系数较上述基板更小之原材所组成之内核层;及经由上述配线,而将上述复数个探针的至少一部分与外部设备电性连接之连接手段。