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    • 53. 发明专利
    • 收納容器內之環境氣體管理方法
    • 收纳容器内之环境气体管理方法
    • TW201507941A
    • 2015-03-01
    • TW103113406
    • 2014-04-11
    • 東京威力科創股份有限公司TOKYO ELECTRON LIMITED
    • 小山勝彥OYAMA, KATSUHIKO竹內靖TAKEUCHI, YASUSHI淺利伸二ASARI, SHINJI
    • B65D81/20C23C16/455
    • H01L21/67389H01L21/67379H01L21/67769H01L21/67772
    • 本發明提供一種收納容器內之環境氣體管理方法,為具有藉由具備以開閉門5開閉之搬運口20的分隔壁2分隔之基板搬運區域S1與容器搬運區域S2,且具備如下元件之處理裝置1、10中的該收納容器內之環境氣體管理方法: 容器保管架18,設置於該容器搬運區域,暫時載置藉由蓋體的開閉而可密閉收納複數片基板W之收納容器C而使其待機; 蓋體開閉機構6,設置於該開閉門,將與該搬運口之口緣部密接的該收納容器之該蓋體卸下並可將該收納容器內以惰性氣體置換; 該收納容器內之環境氣體管理方法包含如下步驟: 使用該蓋體開閉機構,將收納有未處理之該基板的該收納容器內,以該惰性氣體置換之步驟; 將內部經該惰性氣體置換之該收納容器,搬運至該容器保管架而加以載置之步驟;以及 使該收納容器於該容器保管架待機之步驟。
    • 本发明提供一种收纳容器内之环境气体管理方法,为具有借由具备以开闭门5开闭之搬运口20的分隔壁2分隔之基板搬运区域S1与容器搬运区域S2,且具备如下组件之处理设备1、10中的该收纳容器内之环境气体管理方法: 容器保管架18,设置于该容器搬运区域,暂时载置借由盖体的开闭而可密闭收纳复数片基板W之收纳容器C而使其待机; 盖体开闭机构6,设置于该开闭门,将与该搬运口之口缘部密接的该收纳容器之该盖体卸下并可将该收纳容器内以惰性气体置换; 该收纳容器内之环境气体管理方法包含如下步骤: 使用该盖体开闭机构,将收纳有未处理之该基板的该收纳容器内,以该惰性气体置换之步骤; 将内部经该惰性气体置换之该收纳容器,搬运至该容器保管架而加以载置之步骤;以及 使该收纳容器于该容器保管架待机之步骤。