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    • 51. 发明专利
    • 結合臭氧吸入裝置與監控裝置之水處理系統 Water Treatment System Combining Ozone Injection Apparatus and Monitoring Apparatus
    • 结合臭氧吸入设备与监控设备之水处理系统 Water Treatment System Combining Ozone Injection Apparatus and Monitoring Apparatus
    • TW200407265A
    • 2004-05-16
    • TW091133459
    • 2002-11-14
    • 翰信科技股份有限公司 SENNO TECHNOLOGY INC.
    • 張世易 CHANG, STEVEN SHIH-YI
    • C02F
    • C02F9/005C02F1/001C02F1/008C02F1/283C02F1/325C02F1/78C02F2201/3223C02F2201/326C02F2201/782C02F2201/784C02F2209/03C02F2209/40C02F2301/026C02F2303/04C02F2303/14
    • 一種包含一過濾裝置100和一能產生臭氧且具有水銀紫外線燈管210之殺菌裝置200之水處理系統包括一臭氧吸入裝置300和一監控裝置400;該臭氧吸入裝置300包含一主水管302、一文特利管316和一止回閥308,其中該主水管302具有一進水口304和一出水口306;該臭氧吸入裝置300係用來將來自該過濾裝置100之經過濾後之水流經該主水管302之該進水口304而流入文特利管316使產生低壓以將來自該殺菌裝置200中之一臭氧輸氣管216之臭氧流經由該止回閥308後被吸入,但阻止水逆向由該主水管302經該臭氧輸氣管216流出;而流經該主水管302內之水經吸入臭氧後由該出水口306流出而藉水壓之推擠與衝擊使水和臭氧充分均勻混合而注入該殺菌裝置200;而該監控裝置400包含一特殊設計用來量測流速和總流量以計算濾材壽命之流量計402和一用來產生輸出信號406以監控該水銀紫外線燈管210之開關之壓力感測器404。
    • 一种包含一过滤设备100和一能产生臭氧且具有水银紫外线灯管210之杀菌设备200之水处理系统包括一臭氧吸入设备300和一监控设备400;该臭氧吸入设备300包含一主水管302、一文特利管316和一止回阀308,其中该主水管302具有一进水口304和一出水口306;该臭氧吸入设备300系用来将来自该过滤设备100之经过滤后之水流经该主水管302之该进水口304而流入文特利管316使产生低压以将来自该杀菌设备200中之一臭氧输气管216之臭氧流经由该止回阀308后被吸入,但阻止水逆向由该主水管302经该臭氧输气管216流出;而流经该主水管302内之水经吸入臭氧后由该出水口306流出而藉水压之推挤与冲击使水和臭氧充分均匀混合而注入该杀菌设备200;而该监控设备400包含一特殊设计用来量测流速和总流量以计算滤材寿命之流量计402和一用来产生输出信号406以监控该水银紫外线灯管210之开关之压力传感器404。
    • 52. 发明专利
    • 供冷卻水系統控制用之控制陣列的使用
    • 供冷却水系统控制用之控制数组的使用
    • TW482885B
    • 2002-04-11
    • TW090109653
    • 2001-04-23
    • 安戴歐尼可公司
    • 約翰E 虎茲保羅R 楊格大衛P 渥克曼
    • F28C
    • G05D21/02C02F1/008C02F5/08C02F2101/20C02F2103/023C02F2303/08C02F2303/20
    • 所說明與申請專利者係控制冷卻水系統之一種方法,其中該項控制係基於來自適用於該冷卻水系統的特定操作參數之一控制陣列之資訊,其包括:
      (i)提供一適宜的螢光流量計、充分的分析裝置及一適宜的控制器;
      (ii)使用來自用於冷卻水系統之一控制陣列的計畫資訊而編寫該適宜的螢光流量計與控制器之程式,該冷卻水系統係經由選自下列群中的處理方案加以處理:
      (a)穩定型磷酸鹽,
      (b)鋅,及
      (c)全有機物;
      (iii)使用該螢光流量計與充分的分析裝置,以測定系統因子之狀態;
      (iv)測定第(iii)步驟的讀數隨著時間之變化模式;
      (v)比較第(iii)步驟與第(iv)步驟中之讀數變化,以該控制陣列所列的資訊判定應建議何種更正動作;及
      (vi)使用該控制器,以自動實施該更正動作。
    • 所说明与申请专利者系控制冷却水系统之一种方法,其中该项控制系基于来自适用于该冷却水系统的特定操作参数之一控制数组之信息,其包括: (i)提供一适宜的萤光流量计、充分的分析设备及一适宜的控制器; (ii)使用来自用于冷却水系统之一控制数组的计划信息而编写该适宜的萤光流量计与控制器之进程,该冷却水系统系经由选自下列群中的处理方案加以处理: (a)稳定型磷酸盐, (b)锌,及 (c)全有机物; (iii)使用该萤光流量计与充分的分析设备,以测定系统因子之状态; (iv)测定第(iii)步骤的读数随着时间之变化模式; (v)比较第(iii)步骤与第(iv)步骤中之读数变化,以该控制数组所列的信息判定应建议何种更正动作;及 (vi)使用该控制器,以自动实施该更正动作。
    • 54. 发明专利
    • 晶圓清洗系統中廢水分級回收裝置
    • 晶圆清洗系统中废水分级回收设备
    • TW422713B
    • 2001-02-21
    • TW088107237
    • 1999-05-04
    • 信越半導體股份有限公司
    • 青木正治
    • B01D
    • C02F1/008Y10S134/902
    • 一種單槽型單一晶圓清洗裝置,其中晶圓係逐一噴灑連續使用之化學液體及沖洗水,不僅可回收廢水而將其分級成化學液體廢水及沖洗廢水,亦可回收沖洗廢水而將其分級成混濁之沖洗廢水及澄清之沖洗廢水。廢水分級裝置包括:連接於處理槽l之化學液體廢水管線15、16及沖洗廢水管線17;個別位於管線上之化學液體/沖洗液選擇性分配器自動閥10、ll、12;濃度計量感測器18,用以偵測位於該分配器自動閥l2下游之沖洗廢水管線17之沖洗廢水濃度;混濁沖洗廢水管線17a及澄清沖洗廢水管線17b,自沖洗廢水管線17分支,而位於濃度計量感測器18之下游;及混濁/澄清沖洗液分配器閥13,14,個別位於廢水管線17a,17b上;其中位於混濁沖洗廢水管線17a上之分配器自動閥13或位於澄清沖洗廢水管線17b上之分配器自動閥14係根據該濃度計量感測器18之偵測信號而開啟,以個別排放混濁沖洗廢水或澄清沖洗廢水。
    • 一种单槽型单一晶圆清洗设备,其中晶圆系逐一喷洒连续使用之化学液体及冲洗水,不仅可回收废水而将其分级成化学液体废水及冲洗废水,亦可回收冲洗废水而将其分级成混浊之冲洗废水及澄清之冲洗废水。废水分级设备包括:连接于处理槽l之化学液体废水管线15、16及冲洗废水管线17;个别位于管在线之化学液体/冲洗液选择性分配器自动阀10、ll、12;浓度计量传感器18,用以侦测位于该分配器自动阀l2下游之冲洗废水管线17之冲洗废水浓度;混浊冲洗废水管线17a及澄清冲洗废水管线17b,自冲洗废水管线17分支,而位于浓度计量传感器18之下游;及混浊/澄清冲洗液分配器阀13,14,个别位于废水管线17a,17b上;其中位于混浊冲洗废水管线17a上之分配器自动阀13或位于澄清冲洗废水管线17b上之分配器自动阀14系根据该浓度计量传感器18之侦测信号而打开,以个别排放混浊冲洗废水或澄清冲洗废水。