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51. 发明专利

TW201833467A 分流閥审中-公开
简体标题：分流阀
公开(公告)号：TW201833467A
公开(公告)日：2018-09-16
申请号：TW107103167
申请日：2018-01-30
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：谷川毅 , TANIKAWA, TSUYOSHI , 石橋圭介 , ISHIBASHI, KEISUKE , 藥師神忠幸 , YAKUSHIJIN, TADAYUKI , 山路道雄 , YAMAJI, MICHIO , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 下村嘉德 , SHIMOMURA, YOSHINORI , 船越高志 , FUNAKOSHI, TAKASHI
IPC分类号： F16K31/00
摘要：主通路11具有二個大徑部11a、11b及位於大徑部11a、11b之間的小徑部11c。入口通路12係連通於小徑部11c；各出口通路13、14則連通於各大徑部11a、11b。閥體移動機構3具備：第1閥桿22，開閉一方大徑部11a與小徑部11c之間的第1閥體21係固定於一端部；第2閥桿24，開閉另一方大徑部11b與小徑部11c之間的第2閥體23係固定於一端部；第1波紋管28，一端部固定於第1波紋管法蘭29，另一端部則固定於第1閥體21；第2波紋管32，一端部固定於第2波紋管法蘭33，另一端部則固定於第2閥體23；筐體25，設於主通路11外部，且與第1閥桿22及第2閥桿24連接；及致動器26，使筐體25移動於第1閥體21及第2閥體23的開閉方向。
简体摘要：主通路11具有二个大径部11a、11b及位于大径部11a、11b之间的小径部11c。入口通路12系连通于小径部11c；各出口通路13、14则连通于各大径部11a、11b。阀体移动机构3具备：第1阀杆22，开闭一方大径部11a与小径部11c之间的第1阀体21系固定于一端部；第2阀杆24，开闭另一方大径部11b与小径部11c之间的第2阀体23系固定于一端部；第1波纹管28，一端部固定于第1波纹管法兰29，另一端部则固定于第1阀体21；第2波纹管32，一端部固定于第2波纹管法兰33，另一端部则固定于第2阀体23；筐体25，设于主通路11外部，且与第1阀杆22及第2阀杆24连接；及致动器26，使筐体25移动于第1阀体21及第2阀体23的开闭方向。

52. 发明专利

TWI576678B 壓力式流量控制裝置有权
简体标题：压力式流量控制设备
公开(公告)号：TWI576678B
公开(公告)日：2017-04-01
申请号：TW104123257
申请日：2015-07-17
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G05D7/03
CPC分类号： G05D7/0635

53. 外观设计

TWD181804S 流體控制閥單元有权
简体标题：流体控制阀单元
公开(公告)号：TWD181804S
公开(公告)日：2017-03-11
申请号：TW105302287
申请日：2016-04-28
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
设计人：執行耕平 , SHIGYOU, KOHEI , 廣瀨隆 , HIROSE, TAKASHI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 安本直史 , YASUMOTO, NAOFUMI

54. 发明专利

TWI548826B 自動閥用開度檢測裝置有权
简体标题：自动阀用开度检测设备
公开(公告)号：TWI548826B
公开(公告)日：2016-09-11
申请号：TW100143044
申请日：2011-11-24
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 富田厚男 , TOMITA, ATSUO , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： F16K37/00
CPC分类号： F16K37/0041 , F16K31/1221 , F16K37/00 , F16K37/0083 , Y10T137/8158 , Y10T137/8242

55. 发明专利

TWI534577B 壓力式流量控制裝置有权
简体标题：压力式流量控制设备
公开(公告)号：TWI534577B
公开(公告)日：2016-05-21
申请号：TW103136633
申请日：2014-10-23
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：平田薰 , HIRATA, KAORU , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , F16K7/14 , F16K31/004

56. 发明专利

TWI505386B 半導體製造裝置之氣體分流供給裝置有权
简体标题：半导体制造设备之气体分流供给设备
公开(公告)号：TWI505386B
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：TW101140130
申请日：2012-10-30
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 森崎和之 , MORISAKI, KAZUYUKI
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： G05D7/0641 , G05D7/0664 , Y10T137/2544

57. 发明专利

TW201537146A 流路密封構造审中-公开
简体标题：流路密封构造
公开(公告)号：TW201537146A
公开(公告)日：2015-10-01
申请号：TW103145512
申请日：2014-12-25
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 安本直史 , YASUMOTO, NAOFUMI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G01F1/40 , G05D7/06
CPC分类号： F16L15/008 , F16L55/027 , G01F1/42 , G01F15/005 , G05D7/0635
摘要：可省略將孔口板或過濾板利用熔接、填隙來固定在作為母材之孔口座或過濾器座的步驟，而能謀求更加小型化。本發明的流路密封構造，係具備：本體塊(1)，形成有本體流路(1a、1b)；凹部(12，13)，形成於本體塊(1)的側面，且在內周面形成有雌螺紋；薄板(6，8)，抵接於前述凹部之深處且形成有通孔；墊圈(16，17)，抵接於薄板(6，8)；按壓配管(20，21)，具有可與本體流路1a，1b連通之內部流路及擴徑部，且抵接於前述墊圈；以及緊固螺絲(22)，外插於前述按壓配管且旋入於前述雌螺紋，抵接於前述擴徑部而將前述按壓配管緊壓。
简体摘要：可省略将孔口板或过滤板利用熔接、填隙来固定在作为母材之孔口座或过滤器座的步骤，而能谋求更加小型化。本发明的流路密封构造，系具备：本体块(1)，形成有本体流路(1a、1b)；凹部(12，13)，形成于本体块(1)的侧面，且在内周面形成有雌螺纹；薄板(6，8)，抵接于前述凹部之深处且形成有通孔；垫圈(16，17)，抵接于薄板(6，8)；按压配管(20，21)，具有可与本体流路1a，1b连通之内部流路及扩径部，且抵接于前述垫圈；以及紧固螺丝(22)，外插于前述按压配管且旋入于前述雌螺纹，抵接于前述扩径部而将前述按压配管紧压。

58. 发明专利

TWI497248B 氣體分流供給裝置及使用其之氣體分流供給方法有权
简体标题：气体分流供给设备及使用其之气体分流供给方法
公开(公告)号：TWI497248B
公开(公告)日：2015-08-21
申请号：TW102102889
申请日：2013-01-25
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 西野功二 , NISHINO, KOUJI
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0641 , G05D7/0664 , Y10T137/0368 , Y10T137/776

59. 发明专利

TW201531668A 流量計及具備該流量計的流量控制裝置审中-公开
简体标题：流量计及具备该流量计的流量控制设备
公开(公告)号：TW201531668A
公开(公告)日：2015-08-16
申请号：TW103137005
申请日：2014-10-27
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 日高敦志 , HIDAKA, ATSUSHI , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI
IPC分类号： G01F1/34 , G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0647 , F16K31/004 , F16K31/06 , G01F1/34 , G01F1/363 , G01F1/42 , G01F1/6847 , G01F15/002 , G01F15/005 , G01F15/04
摘要：本發明提供一種：有效地利用壓力式流量控制部所具備的高耐壓力變動特性，藉由將衰減式流量監測部組合於壓力式流量控制部的上游側，執行趨近於即時(real time)的流量監測，並藉由可對應於流量區域來切換監測流量，而能擴大監測流量範圍與提升監測精確度和流量控制之精確度之具有流量範圍切換型流量監測器的壓力式流量控制裝置。本發明，是由「設於上游側的衰減式流量監測部BDM」、和「設於其下游側的壓力式流量控制部FCS」、和「連結衰減式流量監測部BDM與壓力式流量控制部FCS，將衰減式流量監測部BDM的監測流量Q朝壓力式流量控制部FCS傳送的訊號傳送迴路CT」、及「設於壓力式流量控制部FCS，根據來自於前述衰減式流量監測部BDM的監測流量Q，調整壓力式流量控制部FCS之設定流量Qs的流量設定值調整機構QSR」所構成之具有衰減式流量監測器的壓力式流量控制裝置，前述衰減式流量監測部BDM的監測流量演算控制部CPb形成：當大流量時，使前述出口側開閉切換閥PV2保持開放狀態，並將入口側開閉切換閥PV1的出口側與流量控制部FCS的控制閥CV之間的氣體通路內容積，作為衰減容積而演算大監測流量Q1，此外，當小流量時，使入口側開閉切換閥PV1保持開放狀態，並將出口側開閉切換閥PV2的出口側與流量控制部FCS的控制閥CV之間的氣體通路內容積而演算小監測流量Q2的構造。
简体摘要：本发明提供一种：有效地利用压力式流量控制部所具备的高耐压力变动特性，借由将衰减式流量监测部组合于压力式流量控制部的上游侧，运行趋近于实时(real time)的流量监测，并借由可对应于流量区域来切换监测流量，而能扩大监测流量范围与提升监测精确度和流量控制之精确度之具有流量范围切换型流量监测器的压力式流量控制设备。本发明，是由“设于上游侧的衰减式流量监测部BDM”、和“设于其下游侧的压力式流量控制部FCS”、和“链接衰减式流量监测部BDM与压力式流量控制部FCS，将衰减式流量监测部BDM的监测流量Q朝压力式流量控制部FCS发送的信号发送回路CT”、及“设于压力式流量控制部FCS，根据来自于前述衰减式流量监测部BDM的监测流量Q，调整压力式流量控制部FCS之设置流量Qs的流量设置值调整机构QSR”所构成之具有衰减式流量监测器的压力式流量控制设备，前述衰减式流量监测部BDM的监测流量演算控制部CPb形成：当大流量时，使前述出口侧开闭切换阀PV2保持开放状态，并将入口侧开闭切换阀PV1的出口侧与流量控制部FCS的控制阀CV之间的气体通路内容积，作为衰减容积而演算大监测流量Q1，此外，当小流量时，使入口侧开闭切换阀PV1保持开放状态，并将出口侧开闭切换阀PV2的出口侧与流量控制部FCS的控制阀CV之间的气体通路内容积而演算小监测流量Q2的构造。

60. 发明专利

TW201530279A 氣體分流供應裝置以及氣體分流供應方法审中-公开
简体标题：气体分流供应设备以及气体分流供应方法
公开(公告)号：TW201530279A
公开(公告)日：2015-08-01
申请号：TW103128436
申请日：2014-08-19
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED , 東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：髙橋栄治 , TAKAHASHI, EIJI , 佐佐木則和 , SASAKI, NORIKAZU , 澤地淳 , SAWACHI, ATSUSHI , 澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 西野功二 , NISHINO, KOUJI
IPC分类号： G05D7/06 , C23C16/455
CPC分类号： G05D7/0664 , G05D11/132 , Y10T137/0363 , Y10T137/2529 , Y10T137/2562 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要：在使來自壓力式流量控制裝置的氣流通過複數個分流路進行分流供應的氣體分流供應裝置中，防止氣體導入時分流路中的氣體產生過衝，並且提升分流量控制的應答性、穩定性及控制精度。本發明之氣體分流供應裝置，具備：流量控制裝置，係控制來自氣體供應源的氣體之流量；複數個分流路(L1~Ln)，係並列連接而使來自流量控制裝置的氣體分流到氣體使用部位；熱式流量感測器，係介設在各分流路(L1~Ln)；電動閥28a~28n，係設置在熱式流量感測器(29a~29n)的下游側；控制器(16a~16n)，係控制各電動閥(28a~28n)的開閉；以及流量比設定運算器(RSC)，係從外部輸入流量比指令值並且依據各熱式流量感測器(29a~29n)的流量來運算總流量，且根據該運算後的總流量和前述流量比指令值來運算各分流路(L1~Ln)的流量值，將該運算流量值作為設定流量而輸入到各控制器(16a~16n)；首先，將從前述流量比設定運算器 (RSC)輸入的設定流量值成為最大的任一分流路(L1~Ln)之開啟度保持於一定值而作為非控制狀態，並且將其他分流路的開啟度控制在設定開啟度，然後，藉由各控制器(16a~16n)反饋控制各分流路(L1~Ln)的分流量。
简体摘要：在使来自压力式流量控制设备的气流通过复数个分流路进行分流供应的气体分流供应设备中，防止气体导入时分流路中的气体产生过冲，并且提升分流量控制的应答性、稳定性及控制精度。本发明之气体分流供应设备，具备：流量控制设备，系控制来自气体供应源的气体之流量；复数个分流路(L1~Ln)，系并列连接而使来自流量控制设备的气体分流到气体使用部位；热式流量传感器，系介设在各分流路(L1~Ln)；电动阀28a~28n，系设置在热式流量传感器(29a~29n)的下游侧；控制器(16a~16n)，系控制各电动阀(28a~28n)的开闭；以及流量比设置运算器(RSC)，系从外部输入流量比指令值并且依据各热式流量传感器(29a~29n)的流量来运算总流量，且根据该运算后的总流量和前述流量比指令值来运算各分流路(L1~Ln)的流量值，将该运算流量值作为设置流量而输入到各控制器(16a~16n)；首先，将从前述流量比设置运算器 (RSC)输入的设置流量值成为最大的任一分流路(L1~Ln)之打开度保持于一定值而作为非控制状态，并且将其他分流路的打开度控制在设置打开度，然后，借由各控制器(16a~16n)反馈控制各分流路(L1~Ln)的分流量。

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