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31. 发明专利

TW201600223A 工具檢查方法及工具檢查裝置审中-公开
简体标题：工具检查方法及工具检查设备
公开(公告)号：TW201600223A
公开(公告)日：2016-01-01
申请号：TW104109168
申请日：2015-03-23
申请人： TAKAKO股份有限公司 , TAKAKO INDUSTRIES, INC.
发明人：石崎義公 , ISHIZAKI, YOSHITOMO , 宮本優 , MIYAMOTO, MASARU , 服部智仁 , HATTORI, TOMOHITO , 陳延偉 , CHEN, YANWEI , 王汀 , WANG, TING
IPC分类号： B23Q17/22 , B23Q17/24 , G01B11/00 , G01B11/30 , G01N21/88
CPC分类号： G01N21/8851 , B23Q17/249 , G01N2021/8887
摘要：本發明具備如下步驟：灰度影像生成步驟，其係對作為檢查對象之對象工具進行拍攝，生成灰度影像；分布圖生成步驟，其係針對灰度影像，生成表示與輝度值對應之像素數之分布的分布圖；及判定步驟，其係根據分布圖來判定對象工具之狀態。
简体摘要：本发明具备如下步骤：灰度影像生成步骤，其系对作为检查对象之对象工具进行拍摄，生成灰度影像；分布图生成步骤，其系针对灰度影像，生成表示与辉度值对应之像素数之分布的分布图；及判定步骤，其系根据分布图来判定对象工具之状态。

32. 发明专利

TWI471551B 用以高速偵測電子零件中微小反射率變化之方法及設備有权
简体标题：用以高速侦测电子零件中微小反射率变化之方法及设备
公开(公告)号：TWI471551B
公开(公告)日：2015-02-01
申请号：TW099135983
申请日：2010-10-21
申请人：貝爾電子股份有限公司 , BELTRONICS INC.
发明人：畢夏普羅伯特 , BISHOP, ROBERT
IPC分类号： G01N21/88
CPC分类号： G01N21/8851 , G01N21/95684 , G01N2021/8887

33. 发明专利

TW201435298A 圖案評估裝置及具備圖案評估裝置之外觀檢查裝置审中-公开
简体标题：图案评估设备及具备图案评估设备之外观检查设备
公开(公告)号：TW201435298A
公开(公告)日：2014-09-16
申请号：TW103101439
申请日：2014-01-15
申请人：日立全球先端科技股份有限公司 , HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
发明人：牛場郭介 , USHIBA, HIROYUKI , 皆川剛 , MINAKAWA, TSUYOSHI
IPC分类号： G01B11/24 , G01B15/04 , G01N21/956 , G01N23/225
CPC分类号： G06T7/001 , G01N21/8851 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N21/95607 , G01N2021/8887 , G06K9/00 , G06T2207/30148 , H01L21/0337 , H01L22/12
摘要： [問題]本發明之目的係提供一種圖案評估技術，僅求出起因於電路圖案的布局設計之變化而進行電路圖案之評估。[解決手段]本發明之圖案評估裝置具備：從檢查影像推定起因於製造手法之模型之模型推定部；使用所推定之模型而推定前述檢查影像之變化量的變化量推定部；使用所推定之變化量而將前述基準資料變化之基準資料變化部；以及比較藉基準資料變化部而變化之基準資料與檢查影像而實行評估處理之評估部。
简体摘要： [问题]本发明之目的系提供一种图案评估技术，仅求出起因于电路图案的布局设计之变化而进行电路图案之评估。[解决手段]本发明之图案评估设备具备：从检查影像推定起因于制造手法之模型之模型推定部；使用所推定之模型而推定前述检查影像之变化量的变化量推定部；使用所推定之变化量而将前述基准数据变化之基准数据变化部；以及比较藉基准数据变化部而变化之基准数据与检查影像而实行评估处理之评估部。

34. 发明专利

TW201401231A 在半導體製造中用於檢測之雜訊中所內嵌之缺陷之偵測审中-公开
简体标题：在半导体制造中用于检测之噪声中所内嵌之缺陷之侦测
公开(公告)号：TW201401231A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：TW102117611
申请日：2013-05-17
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：林傑森Z , LIN, JASON Z.
IPC分类号： G06T7/00 , G01N21/88
CPC分类号： G06T7/001 , G01N21/8851 , G01N21/95607 , G01N2021/8887 , G01N2021/95615 , G06T2207/20076 , G06T2207/20081 , G06T2207/30148
摘要：一實施例係關於一種用於在一製造基板上偵測缺陷之裝置。該裝置包含經配置以自該製造基板獲得影像圖框之一成像工具。該裝置進一步包含一資料處理系統，該資料處理系統包含經組態以針對一影像圖框中之像素計算特徵且將該影像圖框中之該等像素劃分為像素之特徵界定群組之電腦可讀程式碼。該電腦可讀程式碼進一步經組態以選擇一特徵界定群組，且針對該所選特徵界定群組產生一多維特徵分佈。另一實施例係關於一種自一測試影像圖框及多個參考影像圖框偵測缺陷之方法。亦揭示其他實施例、態樣及特徵。
简体摘要：一实施例系关于一种用于在一制造基板上侦测缺陷之设备。该设备包含经配置以自该制造基板获得影像图框之一成像工具。该设备进一步包含一数据处理系统，该数据处理系统包含经组态以针对一影像图框中之像素计算特征且将该影像图框中之该等像素划分为像素之特征界定群组之电脑可读代码。该电脑可读代码进一步经组态以选择一特征界定群组，且针对该所选特征界定群组产生一多维特征分布。另一实施例系关于一种自一测试影像图框及多个参考影像图框侦测缺陷之方法。亦揭示其他实施例、态样及特征。

35. 发明专利

TW201333421A 輪胎形狀檢測方法及輪胎形狀檢測裝置审中-公开
简体标题：轮胎形状检测方法及轮胎形状检测设备
公开(公告)号：TW201333421A
公开(公告)日：2013-08-16
申请号：TW101138082
申请日：2012-10-16
申请人：神戶製鋼所股份有限公司 , KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.)
发明人：高橋英二 , TAKAHASHI, EIJI , 辻敏之 , TSUJI, TOSHIYUKI , 甘中将人 , KANNAKA, MASATO
IPC分类号： G01B11/24 , G01B21/20
CPC分类号： G01M17/02 , B60C13/003 , G01B11/245 , G01B11/25 , G01B11/2522 , G01M17/027 , G01N21/9515 , G01N2021/8887 , G06T7/001 , G06T2207/30108
摘要：以重疊於凹凸標記上之方式，存在凹凸缺陷的情形，只減去凹凸標記的高度部分來計算、取得單單凹凸缺陷的高度。於利用具有形成有凹凸標記之側壁面的樣品輪胎的影像，來檢測檢測輪胎的側壁面的形狀缺陷之輪胎形狀檢測方法中，執行以下之工程。首先，作為教導作業工程，於樣品輪胎之樣品原始影像中，檢測凹凸標記之邊界線，產生顯示邊界線的遮罩影像，從樣品原始影像，去除對應顯示於遮罩影像之邊界線的區域，產生使用1或複數的偏移值來表示剩餘區域的高度偏移影像。接著，作為檢測作業工程，從檢測輪胎的檢測影像，減去高度偏移影像，同時去除遮罩影像所表示之邊界區域，依據所獲得的凹凸去除影像，檢測檢測輪胎的側壁面之形狀缺陷。
简体摘要：以重叠于凹凸标记上之方式，存在凹凸缺陷的情形，只减去凹凸标记的高度部分来计算、取得单单凹凸缺陷的高度。于利用具有形成有凹凸标记之侧壁面的样品轮胎的影像，来检测检测轮胎的侧壁面的形状缺陷之轮胎形状检测方法中，运行以下之工程。首先，作为教导作业工程，于样品轮胎之样品原始影像中，检测凹凸标记之边界线，产生显示边界线的遮罩影像，从样品原始影像，去除对应显示于遮罩影像之边界线的区域，产生使用1或复数的偏移值来表示剩余区域的高度偏移影像。接着，作为检测作业工程，从检测轮胎的检测影像，减去高度偏移影像，同时去除遮罩影像所表示之边界区域，依据所获得的凹凸去除影像，检测检测轮胎的侧壁面之形状缺陷。

36. 发明专利

TW201310985A 被拍攝物體之影像定位系統及方法审中-公开
简体标题：被拍摄物体之影像定位系统及方法
公开(公告)号：TW201310985A
公开(公告)日：2013-03-01
申请号：TW100131849
申请日：2011-09-05
申请人：鴻海精密工業股份有限公司 , HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.
发明人：王光建 , WANG, GUANG-JIAN , 付小軍 , FU, XIAO-JUN , 劉夢洲 , LIU, MENG-ZHOU , 吳文伍 , WU, WEN-WU
IPC分类号： H04N5/262 , G06T3/00
CPC分类号： G06T7/74 , G01N2021/8887 , G01N2021/95638 , G06T2207/10024 , G06T2207/30141
摘要：一種被拍攝物體之影像定位系統及方法，該系統運行於攝影裝置中，該攝影裝置包括攝影單元、顯示單元及儲存單元。該系統包括：影像獲取模組，利用攝影單元拍攝一張被拍攝物體之全景影像；邊角識別模組，用於獲取物體影像之複數邊角位置；亞圖元轉換模組，用於計算每一個邊角位置之亞圖元座標，從被拍攝物體之設計圖紙中獲取物體邊角之標準座標；影像定位模組，用於計算物體影像中每一個圖元點之影像定位座標，及根據每一個影像定位座標將每一個圖元影射到物體影像上產生一幅被拍攝物體之亞圖元定位影像。
简体摘要：一种被拍摄物体之影像定位系统及方法，该系统运行于摄影设备中，该摄影设备包括摄影单元、显示单元及存储单元。该系统包括：影像获取模块，利用摄影单元拍摄一张被拍摄物体之全景影像；边角识别模块，用于获取物体影像之复数边角位置；亚图元转换模块，用于计算每一个边角位置之亚图元座标，从被拍摄物体之设计图纸中获取物体边角之标准座标；影像定位模块，用于计算物体影像中每一个图元点之影像定位座标，及根据每一个影像定位座标将每一个图元影射到物体影像上产生一幅被拍摄物体之亚图元定位影像。

37. 发明专利

TWI298097B 用於同步二維及地形檢測之方法及裝置 METHOD AND APPARATUS FOR SIMULTANEOUS 2-D AND TOPOGRAPHICAL INSPECTION 失效
简体标题：用于同步二维及地形检测之方法及设备 METHOD AND APPARATUS FOR SIMULTANEOUS 2-D AND TOPOGRAPHICAL INSPECTION
公开(公告)号：TWI298097B
公开(公告)日：2008-06-21
申请号：TW093100562
申请日：2004-01-09
申请人：奧寶科技有限公司 ORBOTECH LTD.
发明人：葛洛瑞托克 TOKER, GREGORY , 安德雷布朗菲德 BRUNFELD, ANDREI , 伊利亞露斯克 LUTSKER, ILIA
IPC分类号： G01B , G01N
CPC分类号： G01N21/8806 , G01N21/95684 , G01N2021/1772 , G01N2021/1785 , G01N2021/8887 , G01N2201/06113
摘要：本發明提供一種用於感測關於一表面之資訊的裝置,其
包括:經配置以獲取關於一表面之二維資訊的複數個第一
光學元件;經配置便獲取關於該表面的地形資訊的複數個
第二光學元件,其中配置該等複數個第一光學元件及複數
個第二光學元件,以同時提供二維資訊及地形資訊至一單
感應器陣列之至少部分非重疊部分。
简体摘要：本发明提供一种用于传感关于一表面之信息的设备,其包括:经配置以获取关于一表面之二维信息的复数个第一光学组件;经配置便获取关于该表面的地形信息的复数个第二光学组件,其中配置该等复数个第一光学组件及复数个第二光学组件,以同时提供二维信息及地形信息至一单感应器数组之至少部分非重叠部分。

38. 发明专利

TW200506317A 用於同步二維及地形檢測之方法及裝置 METHOD AND APPARATUS FOR SIMULTANEOUS 2-D AND TOPOGRAPHICAL INSPECTION 失效
简体标题：用于同步二维及地形检测之方法及设备 METHOD AND APPARATUS FOR SIMULTANEOUS 2-D AND TOPOGRAPHICAL INSPECTION
公开(公告)号：TW200506317A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：TW093100562
申请日：2004-01-09
申请人：奧寶科技有限公司 ORBOTECH LTD.
发明人：葛洛瑞托克 TOKER, GREGORY , 安德雷布朗菲德 BRUNFELD, ANDREI , 伊利亞露斯克 LUTSKER, ILIA
IPC分类号： G01B , G01N
CPC分类号： G01N21/8806 , G01N21/95684 , G01N2021/1772 , G01N2021/1785 , G01N2021/8887 , G01N2201/06113
摘要：本發明提供一種用於感測關於一表面之資訊的裝置，其包括：經配置以獲取關於一表面之二維資訊的複數個第一光學元件；經配置便獲取關於該表面的地形資訊的複數個第二光學元件，其中配置該等複數個第一光學元件及複數個第二光學元件，以同時提供二維資訊及地形資訊至一單感應器陣列之至少部分非重疊部分。
简体摘要：本发明提供一种用于传感关于一表面之信息的设备，其包括：经配置以获取关于一表面之二维信息的复数个第一光学组件；经配置便获取关于该表面的地形信息的复数个第二光学组件，其中配置该等复数个第一光学组件及复数个第二光学组件，以同时提供二维信息及地形信息至一单感应器数组之至少部分非重叠部分。

39. 发明专利

TW516146B 藉由光譜訊號分析以連續監視內含製程及光學檢視基材之方法失效
简体标题：借由光谱信号分析以连续监视内含制程及光学视图基材之方法
公开(公告)号：TW516146B
公开(公告)日：2003-01-01
申请号：TW090124774
申请日：2001-10-05
申请人：應用材料股份有限公司
发明人：瑞吉納德杭特 , 艾都瓦鬥瑪昆斯
IPC分类号： H01L
CPC分类号： G01N21/94 , G01N21/8851 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/8887
摘要：本發明係關於提供一種檢視一製程系統中一基材之設備及方法。本發明一態樣中，一光源與一光學接收裝置(如：一光譜儀)連結，以照明及檢視一基材之各種光學訊號。將一檢視過程中所收集之資料加以處理，以決定基材之拓樸資料。一實施例中，該資料用以產生代表訊號強度及/或顏色之平均值。一提供光譜分析之態樣中，其中一試驗基材條狀圖結果減去中一參考條狀圖。而後，進行該平均值與該等參考值之比對，以決定基材拓樸型態。本發明之優點為可使用一數據處理系統以收集該數據、執行該光譜訊號分析、及判定所形成的處理狀態。
简体摘要：本发明系关于提供一种视图一制程系统中一基材之设备及方法。本发明一态样中，一光源与一光学接收设备(如：一光谱仪)链接，以照明及视图一基材之各种光学信号。将一视图过程中所收集之数据加以处理，以决定基材之拓朴数据。一实施例中，该数据用以产生代表信号强度及/或颜色之平均值。一提供光谱分析之态样中，其中一试验基材条状图结果减去中一参考条状图。而后，进行该平均值与该等参考值之比对，以决定基材拓朴型态。本发明之优点为可使用一数据处理系统以收集该数据、运行该光谱信号分析、及判定所形成的处理状态。

40. 发明专利

TW287262B 檢驗大體圓形物件外觀的方法與裝備失效
简体标题：检验大体圆形对象外观的方法与装备
公开(公告)号：TW287262B
公开(公告)日：1996-10-01
申请号：TW084110403
申请日：1995-10-04
申请人：菲利浦莫里斯製品股份有限公司
发明人： H.卡瑞隆加斯特 , 詹姆斯L.里屈
IPC分类号： G06K
CPC分类号： G06T7/0006 , A24C5/3412 , G01N21/952 , G01N2021/8887 , G01N2201/102 , G06T2207/30108
摘要：諸如香煙濾嘴尾端之大體圓形物件是具有可接受之外觀的檢驗，其運用了斑塊分析，此分析含了對周邊區域作影像攝影，以提供沿著圓形物件邊緣的檢驗分析。
简体摘要：诸如香烟滤嘴尾端之大体圆形对象是具有可接受之外观的检验，其运用了斑块分析，此分析含了对周边区域作影像摄影，以提供沿着圆形对象边缘的检验分析。

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