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21. 发明专利

TW201723714A 溫度控制裝置审中-公开
简体标题：温度控制设备
公开(公告)号：TW201723714A
公开(公告)日：2017-07-01
申请号：TW105135555
申请日：2016-11-02
申请人：伸和控制工業股份有限公司 , SHINWA CONTROLS CO., LTD.
发明人：小野茂彦 , ONO, SHIGEHIKO
IPC分类号： G05D23/00 , F16K31/64 , H01L21/3065
CPC分类号： G05D23/1951 , F15B13/0402 , F16K11/22 , F16K51/02 , F28D2021/0077 , F28F13/06 , F28F27/02 , G05D7/0623 , G05D23/00 , G05D23/1858 , G05D23/306 , H01L21/3065 , H01L21/67248
摘要：提供一種溫度控制裝置，在複數流路中，即便在需要藉由閥門進行控制的情況下，也能在抑制裝置全體的煩雜化及大型化的同時，將溫度控制對象區域的溫度迅速地控制到所期望的溫度。由閥門單元(31)來控制：藉由第1調溫單元(10)控制成預定的溫度並流通於第1供應流路(11)的熱媒介的向合流流路(40)的流通及遮斷、以及藉由第2調溫單元(20)控制成與第1供應流路(11)的熱媒介不同溫度的流通於第2供應流路(21)的熱媒介的向合流流路(40)的流通及遮斷。在閥門單元(31)具有第1轉軸閥門(100)及第2轉軸閥門(200)，第1轉軸閥門(100)及第2轉軸閥門(200)係隔著隔熱層(400L)連結。
简体摘要：提供一种温度控制设备，在复数流路中，即便在需要借由阀门进行控制的情况下，也能在抑制设备全体的烦杂化及大型化的同时，将温度控制对象区域的温度迅速地控制到所期望的温度。由阀门单元(31)来控制：借由第1调温单元(10)控制成预定的温度并流通于第1供应流路(11)的热媒介的向合流流路(40)的流通及遮断、以及借由第2调温单元(20)控制成与第1供应流路(11)的热媒介不同温度的流通于第2供应流路(21)的热媒介的向合流流路(40)的流通及遮断。在阀门单元(31)具有第1转轴阀门(100)及第2转轴阀门(200)，第1转轴阀门(100)及第2转轴阀门(200)系隔着隔热层(400L)链接。

22. 发明专利

TWI569323B 雙區共用熱交換器／冷卻器有权
简体标题：双区共享热交换器／冷却器
公开(公告)号：TWI569323B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：TW101138106
申请日：2012-10-16
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：席門瑞費南多 , SILVEIRA, FERNANDO , 梅斯貝德L , MAYS, BRAD L.
IPC分类号： H01L21/3065
CPC分类号： F28F27/02 , F28D2021/0077 , H01J37/32724

23. 发明专利

TWI494162B 利用增加氣體密度的溫度調整方法有权
简体标题：利用增加气体密度的温度调整方法
公开(公告)号：TWI494162B
公开(公告)日：2015-08-01
申请号：TW101149293
申请日：2012-12-22
申请人：晨迅科技有限公司 , MORNINGMOVING TECHNOLOGY CO., LTD.
发明人：洪誌宏 , HORNG, CHIH HORNG
IPC分类号： B01J3/00 , C23C14/54 , C23C16/52
CPC分类号： F28F13/00 , F28D2021/0077

24. 发明专利

TW201436044A 具有對流壓縮機之熱處理室审中-公开
简体标题：具有对流压缩机之热处理室
公开(公告)号：TW201436044A
公开(公告)日：2014-09-16
申请号：TW102115188
申请日：2013-04-29
申请人：浦耳溫土拉公司 , POOLE VENTURA, INC.
发明人：艾立克生馬克R , ERICKSON, MARK R. , 浦耳亨利J , POOLE, HENRY J. , 哲契迪納德 , JAMSHIDI, NADER , 卡士達三世亞瑟W , CUSTER, III, ARTHUR W. , 丁古斯阿倫L , DINGUS, AARON L.
IPC分类号： H01L21/324 , H01L31/042 , F15B11/06
CPC分类号： F27B5/04 , F27B5/14 , F27B5/18 , F27B17/0016 , F27B17/0025 , F27B17/0075 , F27D19/00 , F27D21/00 , F28D1/0477 , F28D2021/0077 , F28F1/32
摘要：揭示一種具有對流壓縮機之熱處理室，其包含：一框架，支撐一容置室，該容置室具有一侷限於容置室內的密封製程腔室；至少一與密封製程腔室的外部流體連通之流體入口結構，流體入口結構包含至少一流量調整結構以控制來自密封製程腔室的外部周圍之流體源的流體流量；以及一與密封製程腔室的內部流體連通之開路流體對流系統，其中該流體對流系統包含一旋轉式壓縮機組合，該組合延伸入密封製程腔室。
简体摘要：揭示一种具有对流压缩机之热处理室，其包含：一框架，支撑一容置室，该容置室具有一局限于容置室内的密封制程腔室；至少一与密封制程腔室的外部流体连通之流体入口结构，流体入口结构包含至少一流量调整结构以控制来自密封制程腔室的外部周围之流体源的流体流量；以及一与密封制程腔室的内部流体连通之开路流体对流系统，其中该流体对流系统包含一旋转式压缩机组合，该组合延伸入密封制程腔室。

25. 发明专利

TWI442492B 載置裝置有权
简体标题：载置设备
公开(公告)号：TWI442492B
公开(公告)日：2014-06-21
申请号：TW096108437
申请日：2007-03-12
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：赤池由多加 , AKAIKE, YUTAKA , 長坂旨俊 , NAGASAKA, MUNETOSHI
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： H01L21/67103 , F28D2021/0077 , F28F13/00 , H01L21/67109

26. 发明专利

TWI404117B 加熱基板之方法及設備失效
简体标题：加热基板之方法及设备
公开(公告)号：TWI404117B
公开(公告)日：2013-08-01
申请号：TW096147725
申请日：2007-12-13
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：拉尼西喬瑟夫M , RANISH, JOSEPH M. , 亞當布魯斯E , ADAMS, BRUCE E. , 漢特亞倫M , HUNTER, AARON M.
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： H01L21/67109 , F28D15/02 , F28D15/06 , F28D2021/0077 , F28F13/14 , F28F13/185

27. 发明专利

TWI328728B 具有外部配管保護功能的恆溫液體循環裝置 CONSTANT TEMPERATURE LIQUID CIRCULATING DEVICE HAVING EXTERNAL PIPING PROTECTING FUNCTION 有权
简体标题：具有外部配管保护功能的恒温液体循环设备 CONSTANT TEMPERATURE LIQUID CIRCULATING DEVICE HAVING EXTERNAL PIPING PROTECTING FUNCTION
公开(公告)号：TWI328728B
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：TW095132753
申请日：2006-09-05
申请人： SMC股份有限公司
发明人：一之瀨健夫 , 佐藤克俊
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D27/02 , F25B2500/07 , F25B2600/13 , F25B2700/19 , F25D17/02 , F28D2021/0077 , F28F27/02 , Y02B30/745
摘要：本發明之課題，是針對於具備藉由泵浦來供給經過調溫的恆溫循環液體之管路，並且連接外部裝置來使用的恆溫液體循環裝置，控制外部裝置的配管中之循環液體壓力，使不超過壓力上限設定值，以保護外部裝置之配管。
本發明之解決手段，是針對於具備藉由泵浦13來供給經過調溫的恆溫循環液體之管路12，且對外部裝置20供給恆溫循環液體的恆溫液體循環裝置10中，使控制該動作的控制器15具有：依據進行外部裝置20中之配管的壓力上升預測點的壓力檢測之任意數目的壓力察覺器18的輸出，來控制該壓力不超過事先設定於該控制器的壓力上限設定值的控制功能。
简体摘要：本发明之课题，是针对于具备借由泵浦来供给经过调温的恒温循环液体之管路，并且连接外部设备来使用的恒温液体循环设备，控制外部设备的配管中之循环液体压力，使不超过压力上限设置值，以保护外部设备之配管。本发明之解决手段，是针对于具备借由泵浦13来供给经过调温的恒温循环液体之管路12，且对外部设备20供给恒温循环液体的恒温液体循环设备10中，使控制该动作的控制器15具有：依据进行外部设备20中之配管的压力上升预测点的压力检测之任意数目的压力察觉器18的输出，来控制该压力不超过事先设置于该控制器的压力上限设置值的控制功能。

28. 发明专利

TW200845107A 加熱基板之方法及設備 METHOD AND APPARATUS FOR HEATING A SUBSTRATE 失效
简体标题：加热基板之方法及设备 METHOD AND APPARATUS FOR HEATING A SUBSTRATE
公开(公告)号：TW200845107A
公开(公告)日：2008-11-16
申请号：TW096147725
申请日：2007-12-13
申请人：應用材料股份有限公司 APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：拉尼西喬瑟夫M RANISH, JOSEPH M. , 亞當布魯斯E ADAMS, BRUCE E. , 漢特亞倫M HUNTER, AARON M.
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/67109 , F28D15/02 , F28D15/06 , F28D2021/0077 , F28F13/14 , F28F13/185
摘要：本發明提供一種用於加熱基板的方法和裝置。在一實施例中,基板加熱器包括一容器、一液體以及一熱源,該容器具有一上部構件,並且該上部構件包括用以支撐基板於其上的頂表面;該液體置於容器中並部分地填充容器;以及該熱源用於為液體提供足夠的熱以使液體沸騰。選用性地,可提供用於調節容器內部壓力的壓力控制器。基板的加熱步驟係先將基板放置在基板加熱器之容器的支撐表面上。隨後使容器中的液體沸騰。當液體沸騰時,會在支撐表面的底側上沈積已加熱之冷凝物的均勻膜層。已加熱的冷凝物會加熱支撐表面,從而加熱基板。
简体摘要：本发明提供一种用于加热基板的方法和设备。在一实施例中,基板加热器包括一容器、一液体以及一热源,该容器具有一上部构件,并且该上部构件包括用以支撑基板于其上的顶表面;该液体置于容器中并部分地填充容器;以及该热源用于为液体提供足够的热以使液体沸腾。选用性地,可提供用于调节容器内部压力的压力控制器。基板的加热步骤系先将基板放置在基板加热器之容器的支撑表面上。随后使容器中的液体沸腾。当液体沸腾时,会在支撑表面的底侧上沉积已加热之冷凝物的均匀膜层。已加热的冷凝物会加热支撑表面,从而加热基板。

29. 发明专利

TW200736562A 水冷式恆溫液循環裝置及該裝置之循環液溫度控制方法 WATER-COOLED CONSTANT TEMPERATURE LIQUID CIRCULATING DEVICE AND METHOD OF CONTROLLING TEMPERATURE OF CIRCULATING LIQUID WITH THE SAME 审中-公开
简体标题：水冷式恒温液循环设备及该设备之循环液温度控制方法 WATER-COOLED CONSTANT TEMPERATURE LIQUID CIRCULATING DEVICE AND METHOD OF CONTROLLING TEMPERATURE OF CIRCULATING LIQUID WITH THE SAME
公开(公告)号：TW200736562A
公开(公告)日：2007-10-01
申请号：TW095132743
申请日：2006-09-05
申请人： SMC股份有限公司 SMC CORPORATION
发明人：一之瀨健夫 ICHINOSE, TAKEO , 佐藤克俊 SATO, KATSUTOSHI
IPC分类号： F25D , G05D
CPC分类号： F25D17/02 , F24H1/185 , F28D2021/0077 , F28F27/02 , G05D27/02
摘要：【發明課題】本發明提供一種將散熱水流量最佳化後就可使循環液溫度穩定性提昇的水冷式恆溫液循環裝置及該裝置之循環液溫度控制方法。【解決手段】將流量控制後的散熱水流動於管中的散熱管11的熱交換部11c附設在循環液的儲液槽10,在可使該儲液槽內的循環液經由外部裝置2循環的管路13途中設有泵浦14,構成由該泵浦將恆溫循環液運送供應至外部裝置配管20的水冷式恆溫液循環裝置1中,散熱管11,設有:電動比例閥24,該電動比例閥24可控制送至其熱交換部的散熱水流量;及電磁閥26,該電磁閥26可使經上述電動比例閥24流量控制後的散熱水透過開閉時間的控制成為最佳流量而送至熱交換部。電動比例閥24是以其所能控制的低流量極限値以上控制成適合與上述熱交換部的循環液進行熱交換的流量或是比該流量還若干大的流量。
简体摘要：【发明课题】本发明提供一种将散热水流量最优化后就可使循环液温度稳定性提升的水冷式恒温液循环设备及该设备之循环液温度控制方法。【解决手段】将流量控制后的散热水流动于管中的散热管11的热交换部11c附设在循环液的储液槽10,在可使该储液槽内的循环液经由外部设备2循环的管路13途中设有泵浦14,构成由该泵浦将恒温循环液运送供应至外部设备配管20的水冷式恒温液循环设备1中,散热管11,设有:电动比例阀24,该电动比例阀24可控制送至其热交换部的散热水流量;及电磁阀26,该电磁阀26可使经上述电动比例阀24流量控制后的散热水透过开闭时间的控制成为最佳流量而送至热交换部。电动比例阀24是以其所能控制的低流量极限値以上控制成适合与上述热交换部的循环液进行热交换的流量或是比该流量还若干大的流量。

30. 发明专利

TW546465B 調節流體溫度之裝置失效
简体标题：调节流体温度之设备
公开(公告)号：TW546465B
公开(公告)日：2003-08-11
申请号：TW091122626
申请日：2002-10-01
申请人：密科理股份有限公司
发明人：艾利希亞布里基斯 , 舒珍華 , 約翰E 皮利恩 , 羅伯特麥克勞林
IPC分类号： F28D
CPC分类号： F28F21/067 , F28D7/08 , F28D7/082 , F28D2021/0077 , F28F21/062 , F28F27/00 , G05D23/1393 , G05D23/1912 , Y10T29/4935
摘要：本發明係關於一種利用熱塑性熱交換裝置調節流體溫度之裝置，其中該熱交換裝置包含多個空心管。該裝置係藉由控制閥的調整控制熱交換器內側之程序流體的溫度，其中該控制閥可調整交換流體之流量。該裝置可用於保持化學槽的溫度，也可製備謹慎分布體積之溫度控制流體。該元件係呈化學惰性並具有可於高溫下及於腐蝕性和氧化性流體中進行操作之能力。
简体摘要：本发明系关于一种利用热塑性热交换设备调节流体温度之设备，其中该热交换设备包含多个空心管。该设备系借由控制阀的调整控制热交换器内侧之进程流体的温度，其中该控制阀可调整交换流体之流量。该设备可用于保持化学槽的温度，也可制备谨慎分布体积之温度控制流体。该组件系呈化学惰性并具有可于高温下及于腐蚀性和氧化性流体中进行操作之能力。

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