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21. 发明专利

TWI666797B 壓電元件驅動式閥及流量控制裝置有权
简体标题：压电组件驱动式阀及流量控制设备
公开(公告)号：TWI666797B
公开(公告)日：2019-07-21
申请号：TW106145497
申请日：2017-12-25
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 川田幸司 , KAWADA, KOJI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： H01L41/08 , G05D7/06

22. 发明专利

TWI649510B 節流孔內置閥及壓力式流量控制裝置有权
简体标题：节流孔内置阀及压力式流量控制设备
公开(公告)号：TWI649510B
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：TW106125227
申请日：2017-07-27
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： F16K47/08 , F16K7/16

23. 发明专利

TW201830742A 壓電元件驅動式閥及流量控制裝置审中-公开
简体标题：压电组件驱动式阀及流量控制设备
公开(公告)号：TW201830742A
公开(公告)日：2018-08-16
申请号：TW106145497
申请日：2017-12-25
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 川田幸司 , KAWADA, KOJI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： H01L41/08 , G05D7/06
摘要：其解決手段，壓電元件驅動式閥是構成為具備：被設在流路上的閥座及接離於閥座的閥體，以及壓電元件，藉由壓電元件的伸長來移動閥體，具備檢測出壓電元件的伸長量的檢測機構，檢測機構是包含應變感測器(strain sensor)，可從應變感測器的輸出檢測出閥體的移動量。
简体摘要：其解决手段，压电组件驱动式阀是构成为具备：被设在流路上的阀座及接离于阀座的阀体，以及压电组件，借由压电组件的伸长来移动阀体，具备检测出压电组件的伸长量的检测机构，检测机构是包含应变传感器(strain sensor)，可从应变传感器的输出检测出阀体的移动量。

24. 发明专利

TWI624744B 壓力式流量控制裝置及其異常檢測方法有权
简体标题：压力式流量控制设备及其异常检测方法
公开(公告)号：TWI624744B
公开(公告)日：2018-05-21
申请号：TW105130660
申请日：2016-09-22
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 滝本昌彦 , TAKIMOTO, MASAHIKO , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G05D7/06 , G06G5/00 , F15C1/04

25. 发明专利

TW201802438A 能夠測定流量的氣體供給裝置、流量計、以及流量測定方法审中-公开
简体标题：能够测定流量的气体供给设备、流量计、以及流量测定方法
公开(公告)号：TW201802438A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：TW106101245
申请日：2017-01-13
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI
IPC分类号： G01F17/00 , G01F25/00
CPC分类号： G01F17/00 , G01F25/00
摘要：一種能夠測定流量的氣體供給裝置，係具備：流量控制器，係控制所流通的氣體流量；第1遮斷閥，係設置在前述流量控制器的下游；第2遮斷閥，係設置在連通於前述第1遮斷閥的下游側的第1流路；第2流路，係從前述第1流路分歧；第3遮斷閥，係設置在前述第2流路；壓力檢測器，係檢測受到前述第1、第2、以及第3遮斷閥所包圍的流路內的壓力；溫度檢測器，係檢測受到前述第1、第2、以及第3遮斷閥所包圍的流路內的溫度；體積測定用槽，係連接於前述第3遮斷閥的下游並具有已知體積；以及運算控制裝置，係將受到前述第1、第2、以及第3遮斷閥所包圍的流路體積，藉由在前述第3遮斷閥的開狀態及閉狀態運用波以耳定律(Boyle's law)作求取，並且使用前述流路體積、前述壓力檢測器、以及前述溫度檢測器的檢測值運算前述流量控制器的流量。
简体摘要：一种能够测定流量的气体供给设备，系具备：流量控制器，系控制所流通的气体流量；第1遮断阀，系设置在前述流量控制器的下游；第2遮断阀，系设置在连通于前述第1遮断阀的下游侧的第1流路；第2流路，系从前述第1流路分歧；第3遮断阀，系设置在前述第2流路；压力检测器，系检测受到前述第1、第2、以及第3遮断阀所包围的流路内的压力；温度检测器，系检测受到前述第1、第2、以及第3遮断阀所包围的流路内的温度；体积测定用槽，系连接于前述第3遮断阀的下游并具有已知体积；以及运算控制设备，系将受到前述第1、第2、以及第3遮断阀所包围的流路体积，借由在前述第3遮断阀的开状态及闭状态运用波以耳定律(Boyle's law)作求取，并且使用前述流路体积、前述压力检测器、以及前述温度检测器的检测值运算前述流量控制器的流量。

26. 发明专利

TWI601899B 壓電式線型致動器、壓電驅動閥、及流量控制裝置有权
简体标题：压电式线型致动器、压电驱动阀、及流量控制设备
公开(公告)号：TWI601899B
公开(公告)日：2017-10-11
申请号：TW104105668
申请日：2015-02-17
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：安本直史 , YASUMOTO, NAOFUMI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 執行耕平 , SHIGYOU, KOHEI
IPC分类号： F16K31/02 , G05D7/06 , H01L41/08
CPC分类号： F16K31/004 , F16K7/14 , F16K7/16 , F16K27/041 , F16K27/048 , F16K31/007 , F16K31/008 , G05D7/0635 , H01L41/053 , H01L41/083 , H01L41/23 , H01L41/25 , Y10T137/7761

27. 发明专利

TWI598527B 壓電元件驅動式閥及具備壓電元件驅動式閥的流量控制裝置有权
简体标题：压电组件驱动式阀及具备压电组件驱动式阀的流量控制设备
公开(公告)号：TWI598527B
公开(公告)日：2017-09-11
申请号：TW104128142
申请日：2015-08-27
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：平田薰 , HIRATA, KAORU , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： F16K31/02 , H01L41/08 , G05D7/06
CPC分类号： F16K31/004 , F16K7/14 , F16K7/16 , F16K31/007 , G05D7/0635 , H01L41/053 , H01L41/083 , H01L41/09

28. 发明专利

TW201730526A 流量控制裝置及使用流量控制裝置之異常檢測方法审中-公开
简体标题：流量控制设备及使用流量控制设备之异常检测方法
公开(公告)号：TW201730526A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：TW105142755
申请日：2016-12-22
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G01F1/34 , G01F1/26
CPC分类号： G01F1/42 , G05B23/02 , G05D7/06
摘要：利用具備節流部(12)、上游側的控制閥(18)、上游側的第1壓力感測器(14)、下游側的第2壓力感測器(24)的流量控制裝置(10)與下游閥(24)而進行的異常檢測方法，包含使控制閥及下游閥從開狀態變化為閉狀態的步驟、將控制閥及下游閥維持為閉狀態下測定上游壓力及下游壓力的步驟、和(a)抽出上游壓力與下游壓力的差到達既定值的時間點之上游壓力作為上游收束壓力，抽出下游壓力作為下游收束壓力的步驟及(b)抽出使控制閥及下游閥變化為閉狀態的時間點至上游壓力與下游壓力的差到達既定值的時間點為止的時間作為收束時間的步驟之中的至少一方，其中基於在步驟(a)或(b)中任一步驟所獲得的資料與成為基準的值的比較而判斷異常的有無。
简体摘要：利用具备节流部(12)、上游侧的控制阀(18)、上游侧的第1压力传感器(14)、下游侧的第2压力传感器(24)的流量控制设备(10)与下游阀(24)而进行的异常检测方法，包含使控制阀及下游阀从开状态变化为闭状态的步骤、将控制阀及下游阀维持为闭状态下测定上游压力及下游压力的步骤、和(a)抽出上游压力与下游压力的差到达既定值的时间点之上游压力作为上游收束压力，抽出下游压力作为下游收束压力的步骤及(b)抽出使控制阀及下游阀变化为闭状态的时间点至上游压力与下游压力的差到达既定值的时间点为止的时间作为收束时间的步骤之中的至少一方，其中基于在步骤(a)或(b)中任一步骤所获得的数据与成为基准的值的比较而判断异常的有无。

29. 发明专利

TWI588452B 液面偵測電路、液面計、具備其之容器、及使用該容器的汽化器有权
简体标题：液面侦测电路、液面计、具备其之容器、及使用该容器的汽化器
公开(公告)号：TWI588452B
公开(公告)日：2017-06-21
申请号：TW104140166
申请日：2015-12-01
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：平田薰 , HIRATA, KAORU , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 日高敦志 , HIDAKA, ATSUSHI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G01F23/22
CPC分类号： G01F23/246 , G01F23/241 , G01F23/243

30. 发明专利

TW201619728A 壓力式流量控制裝置审中-公开
简体标题：压力式流量控制设备
公开(公告)号：TW201619728A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：TW104123257
申请日：2015-07-17
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G05D7/03
CPC分类号： G05D7/0635
摘要：提供一種壓力式流量控制裝置，其在流體流量控制中，會達成縮短切換流量時的降落響應時間，而能夠提高降落響應特性。具備：本體(4)，設置有用以連通流體入口(1)與流體出口(2)之間的流體通路(3)；壓力控制用控制閥(5)，以水平姿態固定在本體(4)用以開關流體通路(3)；開關閥(6)，以垂直姿態固定在本體(4)用以開關壓力控制用控制閥(5)的下游側之流體通路(3)；孔口(7)，設置在開關閥(6)的上游側之流體通路(3)；以及壓力感測器(8)，固定在本體(4)用以檢測壓力控制用控制閥(5)與孔口(7)之間的流體通路(3)之內壓，前述流體通路(3)係具備：與壓力控制用控制閥(5)連接的水平姿態的第1通路部(3a)、連接第1通路部(3a)與孔口(7)的垂直姿態的第2通路部(3b)、以及連接第2通路部(3b)與壓力感測器(8)之水平姿態的第3通路部(3c)。
简体摘要：提供一种压力式流量控制设备，其在流体流量控制中，会达成缩短切换流量时的降落响应时间，而能够提高降落响应特性。具备：本体(4)，设置有用以连通流体入口(1)与流体出口(2)之间的流体通路(3)；压力控制用控制阀(5)，以水平姿态固定在本体(4)用以开关流体通路(3)；开关阀(6)，以垂直姿态固定在本体(4)用以开关压力控制用控制阀(5)的下游侧之流体通路(3)；孔口(7)，设置在开关阀(6)的上游侧之流体通路(3)；以及压力传感器(8)，固定在本体(4)用以检测压力控制用控制阀(5)与孔口(7)之间的流体通路(3)之内压，前述流体通路(3)系具备：与压力控制用控制阀(5)连接的水平姿态的第1通路部(3a)、连接第1通路部(3a)与孔口(7)的垂直姿态的第2通路部(3b)、以及连接第2通路部(3b)与压力传感器(8)之水平姿态的第3通路部(3c)。

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