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热词
    • 22. 实用新型
    • 乾淨室內之輸送系統
    • 干净室内之输送系统
    • TW165461U
    • 1991-08-01
    • TW078210150
    • 1987-02-25
    • 清水建設股份有限公司
    • 石田勉岩槷祥行
    • B65G
    • 在乾淨室內輸送SMIF護殼用之輸送系統,其中,護殼適於容納一個晶圓卡匣。輸送系統包含:至少一對SMIF臂,臂被配置於半導體處理裝置附近,以便將晶圓卡匣內所裝載之晶圓輸送推出該半導體處理裝置;配置於臂附近之輸送管;適於裝載護殼而且適於在輸送管內移動之載體;排氣機構,使輸送管排氣而在輸送管內產生負壓,因而使載體受到負壓而沿輸送管之軸線移動;以及,至少一對運送機構,將載體在輸送管與各臂之間運送。
    • 在干净室内输送SMIF护壳用之输送系统,其中,护壳适于容纳一个晶圆卡匣。输送系统包含:至少一对SMIF臂,臂被配置于半导体处理设备附近,以便将晶圆卡匣内所装载之晶圆输送推出该半导体处理设备;配置于臂附近之输送管;适于装载护壳而且适于在输送管内移动之载体;排气机构,使输送管排气而在输送管内产生负压,因而使载体受到负压而沿输送管之轴线移动;以及,至少一对运送机构,将载体在输送管与各臂之间运送。
    • 30. 实用新型
    • 用於潔淨室之塵密式儲存櫃裝置
    • 用于洁净室之尘密式存储柜设备
    • TW142101U
    • 1990-09-11
    • TW078211750
    • 1987-11-19
    • 神鋼電機股份有限公司清水建設股份有限公司
    • 小林伸太郎石田勉岡本健二岩槷祥行松本剛志原田博司新谷勉
    • H05K
    • 茲揭示有一種用於儲存例如供盛裝半導體晶片用晶片卡匣之工作件之塵密式儲存櫃裝置。儲存櫃裝置包括:一外殼,具有設在其前壁之入口用以經由入口使工作件自外殼進入及退出;一用以供外殼之內部以潔淨空氣之供氣管;一以可轉動方式配置在外殼中用以繞其縱向軸轉動之垂直旋轉軸;及一大致上圓筒狀構造之固定架組件。固定架組件係以同心方式固定於旋轉軸及具有用以在室內儲存工作件之多個室。室係以徑向方式向外敞開且相互隔開以便防止因室中之灰塵之交替污染。
    • 兹揭示有一种用于存储例如供盛装半导体芯片用芯片卡匣之工作件之尘密式存储柜设备。存储柜设备包括:一外壳,具有设在其前壁之入口用以经由入口使工作件自外壳进入及退出;一用以供外壳之内部以洁净空气之供气管;一以可转动方式配置在外壳中用以绕其纵向轴转动之垂直旋转轴;及一大致上圆筒状构造之固定架组件。固定架组件系以同心方式固定于旋转轴及具有用以在室内存储工作件之多个室。室系以径向方式向外敞开且相互隔开以便防止因室中之灰尘之交替污染。