专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

21. 发明专利

TW200419674A 大型基板用多段式加熱裝置 MULTI STAGE TYPE HEATING APPARATUS FOR LARGE SIZE SUBSTRATES 失效
简体标题：大型基板用多段式加热设备 MULTI STAGE TYPE HEATING APPARATUS FOR LARGE SIZE SUBSTRATES
公开(公告)号：TW200419674A
公开(公告)日：2004-10-01
申请号：TW093101510
申请日：2004-01-20
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：藤吉誠 HUJIYOSHI, MAKOTO
IPC分类号： H01L , F26B
CPC分类号： F26B9/066
摘要：本發明，係提供一種大型基板用多段式加熱裝置，其發熱部之維修容易，能將被加熱體以複數根支撐銷同樣地支撐並均勻地加熱而獲得良好的乾燥品質，且構造簡單，能降低製作成本。本發明之大型基板用多段式加熱裝置1，係用來將複數片作為被乾燥物之矩形大型基板6配置成多段狀並乾燥；且將內部具有發熱體之複數片兩面加熱式矩形平板加熱器(panelheater)4–1、4–2…4–n以上下方向相隔既定間隔之方式配置成多段，將上下相鄰之平板加熱器間的空間部當作用以加熱乾燥該大型基板之乾燥室7–1、7–2…7–(n–1)，將大型基板6藉由複數根支撐銷9分別對板面之複數個適當處的支撐來保持於乾燥室內之既定高度位置，在平板加熱器之上面將熱傳導性佳之材料所構成之矩形副板8–1、8–2…8–n載置成能取出放入自如，將支撐銷9植設於該副板。
简体摘要：本发明，系提供一种大型基板用多段式加热设备，其发热部之维修容易，能将被加热体以复数根支撑销同样地支撑并均匀地加热而获得良好的干燥品质，且构造简单，能降低制作成本。本发明之大型基板用多段式加热设备1，系用来将复数片作为被干燥物之矩形大型基板6配置成多段状并干燥；且将内部具有发热体之复数片两面加热式矩形平板加热器(panelheater)4–1、4–2…4–n以上下方向相隔既定间隔之方式配置成多段，将上下相邻之平板加热器间的空间部当作用以加热干燥该大型基板之干燥室7–1、7–2…7–(n–1)，将大型基板6借由复数根支撑销9分别对板面之复数个适当处的支撑来保持于干燥室内之既定高度位置，在平板加热器之上面将热传导性佳之材料所构成之矩形副板8–1、8–2…8–n载置成能取出放入自如，将支撑销9植设于该副板。

22. 发明专利

TW200932377A 塗布頭之組裝裝置及組裝方法审中-公开
简体标题：涂布头之组装设备及组装方法
公开(公告)号：TW200932377A
公开(公告)日：2009-08-01
申请号：TW097146715
申请日：2008-12-02
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：德永英樹 TOKUNAGA, HIDEKI
IPC分类号： B05C
摘要：提供能容易且迅速將塗布頭之零件移載至組裝台等,且可將組裝後之塗布頭容易且迅速裝設於液體塗布裝置。塗布頭之組裝裝置,具備塗布頭等之吊高用起重機2、載置一方之塗布頭片之組裝台70、載置另一方之塗布頭片之載置台54,組裝台70可於載置前述一方之塗布頭片時之第1位置、對前述液體塗布裝置搬出前述塗布頭時之第2位置之間旋動,在塗布頭組裝後,使組裝台70往前述第2位置旋動後,組裝台70上之塗布頭朝向適於對液體塗布裝置之裝設之方向,可在該狀態下以起重機2吊高並裝設之塗布頭之組裝裝置。
简体摘要：提供能容易且迅速将涂布头之零件移载至组装台等,且可将组装后之涂布头容易且迅速装设于液体涂布设备。涂布头之组装设备,具备涂布头等之吊高用起重机2、载置一方之涂布头片之组装台70、载置另一方之涂布头片之载置台54,组装台70可于载置前述一方之涂布头片时之第1位置、对前述液体涂布设备搬出前述涂布头时之第2位置之间旋动,在涂布头组装后,使组装台70往前述第2位置旋动后,组装台70上之涂布头朝向适于对液体涂布设备之装设之方向,可在该状态下以起重机2吊高并装设之涂布头之组装设备。

23. 发明专利

TW200914349A 零件移送裝置及方法 APPARATUS AND METHOD FOR TRANSFERRING PARTS 审中-公开
简体标题：零件移送设备及方法 APPARATUS AND METHOD FOR TRANSFERRING PARTS
公开(公告)号：TW200914349A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：TW097128075
申请日：2008-07-24
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：橘勝義 TACHIBANA, KATSUYOSHI , 篠崎洋二 SHINOZAKI, YOJI , 野宗一 TATENO, SOICHI
IPC分类号： B65G , H01L
CPC分类号： H01L21/67778 , H01L21/6732 , H01L21/6734 , H01L21/67766
摘要：本發明的零件移送裝置及方法係具有含有下列構件以對能夠將零件沿上下方向排列收納的收納架(R)進行零件的取出或回收:載置構件(30),能夠載置收納架的下側框(R2),並且受升降驅動;上側推壓構件(50),配置為從上方相對向於載置構件,且受升降驅動以能夠從上側推壓收納架的上側框(R1);以及支承手(70),能夠在從下方相對向於上側推壓構件之沒入位置與從上側推壓構件朝水平方向突出之突出位置之間來回移動,並且在突出位置伸入上側框之下側而支承收納架而予以懸吊且在沒入位置受升降驅動以將收納架卸下至載置構件上。依據本發明,能夠順暢地將收納架搬入或搬出,而能夠順暢地進行零件的供給及回收,而使運轉效率及生產生提升。
简体摘要：本发明的零件移送设备及方法系具有含有下列构件以对能够将零件沿上下方向排列收纳的收纳架(R)进行零件的取出或回收:载置构件(30),能够载置收纳架的下侧框(R2),并且受升降驱动;上侧推压构件(50),配置为从上方相对向于载置构件,且受升降驱动以能够从上侧推压收纳架的上侧框(R1);以及支承手(70),能够在从下方相对向于上侧推压构件之没入位置与从上侧推压构件朝水平方向突出之突出位置之间来回移动,并且在突出位置伸入上侧框之下侧而支承收纳架而予以悬吊且在没入位置受升降驱动以将收纳架卸下至载置构件上。依据本发明,能够顺畅地将收纳架搬入或搬出,而能够顺畅地进行零件的供给及回收,而使运转效率及生产生提升。

24. 发明专利

TW200911660A 零件移送裝置及方法 APPARATUS AND METHOD FOR TRANSFERRING PARTS 审中-公开
简体标题：零件移送设备及方法 APPARATUS AND METHOD FOR TRANSFERRING PARTS
公开(公告)号：TW200911660A
公开(公告)日：2009-03-16
申请号：TW097126600
申请日：2008-07-14
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：橘勝義 TACHIBANA, KATSUYOSHI , 野宗一 TATENO, SOICHI , 關壽仁 SEKI, TOSHIHITO
IPC分类号： B65G , H05K
CPC分类号： B65G35/06 , B65G1/0435 , B65G49/061 , B65G49/064 , B65G49/068 , B65G2249/02 , H01L21/67742 , H01L21/67748
摘要：本發明的零件移送裝置係包含有:保持機構(20),係將零件定位至預定高度的搬運面(S)並予以保持;以及拉出單元(40),係將藉由保持機構而保持於預定高度的搬運面的零件朝水平方向拉出。拉出單元係包含有:把持構件(43、44),能以可從上下方向脫離之方式把持零件;凸輪構件(42),係對把持構件產生凸輪作用,藉此使其以預定的時序進行零件的把持動作以及零件的解除動作;以及驅動機構(41、46、47),係驅動凸輪構件及把持構件。藉此,由於拉出單元係藉由凸輪構件的凸輪作用使把持構件進行零件的把持動作及解除動作,因此能達成構造的簡潔化,並能以期望的時序確實地把持零件並予以拉出而順暢地移送至預定的供給區域,以提升運轉效率及生產性。
简体摘要：本发明的零件移送设备系包含有:保持机构(20),系将零件定位至预定高度的搬运面(S)并予以保持;以及拉出单元(40),系将借由保持机构而保持于预定高度的搬运面的零件朝水平方向拉出。拉出单元系包含有:把持构件(43、44),能以可从上下方向脱离之方式把持零件;凸轮构件(42),系对把持构件产生凸轮作用,借此使其以预定的时序进行零件的把持动作以及零件的解除动作;以及驱动机构(41、46、47),系驱动凸轮构件及把持构件。借此,由于拉出单元系借由凸轮构件的凸轮作用使把持构件进行零件的把持动作及解除动作,因此能达成构造的简洁化,并能以期望的时序确实地把持零件并予以拉出而顺畅地移送至预定的供给区域,以提升运转效率及生产性。

25. 发明专利

TW200605965A 基板塗敷裝置审中-公开
简体标题：基板涂敷设备
公开(公告)号：TW200605965A
公开(公告)日：2006-02-16
申请号：TW094122172
申请日：2005-06-30
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人： 本英二郎 SAKAMOTO, EIJIROU , 岩森大和 IWAMORI, YAMATO , 松成信一 MATSUNARI, SHINICHI
IPC分类号： B05C
CPC分类号： B05C13/02
摘要：本發明揭示出一種基板塗敷裝置，能夠安定地保持在塗敷實行區域中的基板的高度，並對基板均勻地塗敷塗敷液。本發明係針對一邊搬送基板一邊塗敷塗敷液之形態的基板塗敷裝置，其特徵為：具備：搬送前述基板之搬送手段；在為了對前述基板塗敷前述塗敷液之塗敷實行區域，用來保持前述基板之基板支持手段；在前述塗敷實行區域，對前述基板給予推進力之推進驅動手段；及在前述塗敷實行區域，為了對前述基板塗敷前述塗敷液之塗敷頭；前述基板支持手段，包含：自前述基板下方向，來進行氣體的噴出及吸引之浮起台。
简体摘要：本发明揭示出一种基板涂敷设备，能够安定地保持在涂敷实行区域中的基板的高度，并对基板均匀地涂敷涂敷液。本发明系针对一边搬送基板一边涂敷涂敷液之形态的基板涂敷设备，其特征为：具备：搬送前述基板之搬送手段；在为了对前述基板涂敷前述涂敷液之涂敷实行区域，用来保持前述基板之基板支持手段；在前述涂敷实行区域，对前述基板给予推进力之推进驱动手段；及在前述涂敷实行区域，为了对前述基板涂敷前述涂敷液之涂敷头；前述基板支持手段，包含：自前述基板下方向，来进行气体的喷出及吸引之浮起台。

26. 发明专利

TW200521055A 基板搬送系統审中-公开
简体标题：基板搬送系统
公开(公告)号：TW200521055A
公开(公告)日：2005-07-01
申请号：TW093108397
申请日：2004-03-26
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：內藤靖 NAITO, YASUSHI
IPC分类号： B65G , H01L
CPC分类号： H01L21/67778 , H01L21/67294 , H01L21/67742 , H01L21/67766 , H01L21/67769
摘要：目的為提供一種可縮小的系統規模的基板搬送系統。移載裝置903，是在主搬送路901、及副搬送路902或是副搬送路902b之間將基板或調製盤移載的同時，將基板或是調製盤或是基板收容卡匣貯藏用的裝置。如此藉由將基板S1枚1枚地保管，或藉由將基板收容卡匣一個一個地保管，就可調整副搬送路及主搬送路所搬送的基板或調製盤或是基板收容卡匣的數量，可作為處理負荷變大的情況的緩衝器功能。
简体摘要：目的为提供一种可缩小的系统规模的基板搬送系统。移载设备903，是在主搬送路901、及副搬送路902或是副搬送路902b之间将基板或调制盘移载的同时，将基板或是调制盘或是基板收容卡匣贮藏用的设备。如此借由将基板S1枚1枚地保管，或借由将基板收容卡匣一个一个地保管，就可调整副搬送路及主搬送路所搬送的基板或调制盘或是基板收容卡匣的数量，可作为处理负荷变大的情况的缓冲器功能。

27. 发明专利

TW200501201A 基板處理方法及基板處理裝置审中-公开
简体标题：基板处理方法及基板处理设备
公开(公告)号：TW200501201A
公开(公告)日：2005-01-01
申请号：TW093100922
申请日：2004-01-14
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：月田博史 TSUKIDA, HIROSHI
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/6715 , B08B7/0035 , B08B7/04 , C03C17/32 , C03C23/006 , C03C23/0075 , C03C2218/31 , H01L21/67051
摘要：本發明是關於對著基板的表面吐出液體的處理，提供一得到更適當結果的基板處理技術。本發明是在屬於包括：對著基板的表面吐出洗淨液、光阻液、顯影液等的液體的液體吐出工程(S2、S5、S9)、和作為液體吐出工程的前處理而進行基板的表面處理的表面處理工程(S1、S4、S8)的基板處理方法中，以在表面處理工程(S1、S4、S8)，對著基板的表面來照射大氣壓電漿為其特徵。
简体摘要：本发明是关于对着基板的表面吐出液体的处理，提供一得到更适当结果的基板处理技术。本发明是在属于包括：对着基板的表面吐出洗净液、光阻液、显影液等的液体的液体吐出工程(S2、S5、S9)、和作为液体吐出工程的前处理而进行基板的表面处理的表面处理工程(S1、S4、S8)的基板处理方法中，以在表面处理工程(S1、S4、S8)，对着基板的表面来照射大气压等离子为其特征。

28. 发明专利

TW200421488A 大型基板用多段式加熱裝置 MULTI STAGE TYPE HEATING APPARATUS FOR LARGE SIZE SUBSTRATES 失效
简体标题：大型基板用多段式加热设备 MULTI STAGE TYPE HEATING APPARATUS FOR LARGE SIZE SUBSTRATES
公开(公告)号：TW200421488A
公开(公告)日：2004-10-16
申请号：TW093101512
申请日：2004-01-20
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：藤吉誠 HUJIYOSHI, MAKOTO
IPC分类号： H01L , F26B
CPC分类号： F26B9/066
摘要：本發明，係提供一種大型基板用多段式加熱裝置，其能保持大型基板之良好的乾燥品質、構造簡單、能降低製作成本、運轉成本等成本。本發明之大型基板用多段式加熱裝置1，係用來將複數片作為被乾燥物之矩形大型基板6配置成多段狀並乾燥；且將內部具有發熱體之複數片兩面加熱式矩形平板加熱器4–1、4–2…4–n以上下方向相隔既定間隔之方式配置成多段；將上下相鄰之平板加熱器間的空間部當作用以加熱乾燥大型基板6之乾燥室7–1、7–2…7–(n–1)；在沿上下方向形成多段之複數個乾燥室之周圍設置有氣流通路形成機構23–1、23–2…23–n、24，用以形成上升熱氣流所產生之空氣幕。
简体摘要：本发明，系提供一种大型基板用多段式加热设备，其能保持大型基板之良好的干燥品质、构造简单、能降低制作成本、运转成本等成本。本发明之大型基板用多段式加热设备1，系用来将复数片作为被干燥物之矩形大型基板6配置成多段状并干燥；且将内部具有发热体之复数片两面加热式矩形平板加热器4–1、4–2…4–n以上下方向相隔既定间隔之方式配置成多段；将上下相邻之平板加热器间的空间部当作用以加热干燥大型基板6之干燥室7–1、7–2…7–(n–1)；在沿上下方向形成多段之复数个干燥室之周围设置有气流通路形成机构23–1、23–2…23–n、24，用以形成上升热气流所产生之空气幕。

29. 发明专利

TWI312855B 大型基板用多段式加熱裝置 MULTI STAGE TYPE HEATING APPARATUS FOR LARGE SIZE SUBSTRATES 失效
简体标题：大型基板用多段式加热设备 MULTI STAGE TYPE HEATING APPARATUS FOR LARGE SIZE SUBSTRATES
公开(公告)号：TWI312855B
公开(公告)日：2009-08-01
申请号：TW093101510
申请日：2004-01-20
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：藤吉誠 HUJIYOSHI, MAKOTO
IPC分类号： H01L , F26B
CPC分类号： F26B9/066
摘要：本發明,係提供一種大型基板用多段式加熱裝置,其發熱部之維修容易,能將被加熱體以複數根支撐銷同樣地支撐並均勻地加熱而獲得良好的乾燥品質,且構造簡單,能降低製作成本。
本發明之大型基板用多段式加熱裝置1,係用來將複數片作為被乾燥物之矩形大型基板6配置成多段狀並乾燥;且將內部具有發熱體之複數片兩面加熱式矩形平板加熱器(panel heater)4-1、4-2…4-n以上下方向相隔既定間隔之方式配置成多段,將上下相鄰之平板加熱器間的空間部當作用以加熱乾燥該大型基板之乾燥室7-1、7-2…7-(n-1),將大型基板6藉由複數根支撐銷9分別對板面之複數個適當處的支撐來保持於乾燥室內之既定高度位置,在平板加熱器之上面將熱傳導性佳之材料所構成之矩形副板8-1、8-2…8-n載置成能取出放入自如,將支撐銷9植設於該副板。
简体摘要：本发明,系提供一种大型基板用多段式加热设备,其发热部之维修容易,能将被加热体以复数根支撑销同样地支撑并均匀地加热而获得良好的干燥品质,且构造简单,能降低制作成本。本发明之大型基板用多段式加热设备1,系用来将复数片作为被干燥物之矩形大型基板6配置成多段状并干燥;且将内部具有发热体之复数片两面加热式矩形平板加热器(panel heater)4-1、4-2…4-n以上下方向相隔既定间隔之方式配置成多段,将上下相邻之平板加热器间的空间部当作用以加热干燥该大型基板之干燥室7-1、7-2…7-(n-1),将大型基板6借由复数根支撑销9分别对板面之复数个适当处的支撑来保持于干燥室内之既定高度位置,在平板加热器之上面将热传导性佳之材料所构成之矩形副板8-1、8-2…8-n载置成能取出放入自如,将支撑销9植设于该副板。

30. 发明专利

TW200918426A 基板搬運系統审中-公开
简体标题：基板搬运系统
公开(公告)号：TW200918426A
公开(公告)日：2009-05-01
申请号：TW097135561
申请日：2008-09-17
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：田中敏治 TANAKA, TOSHIHARU , 堀健彥 HORI, TAKEHIKO
IPC分类号： B65G
CPC分类号： H01L21/67745 , H01L21/67742 , H01L21/67766
摘要：本發明提供一種基板搬運系統,是被:收納基板的第1及第2收納卡匣、及於與前述第1及第2收納卡匣的配置方向垂直的方向將前述第1及第2收納卡匣分離配置並處理前述基板的處理裝置之間搬運基板。此基板搬運系統,是具備:可同時搬運複數枚基板的同時搬運輸送帶、及在前述第1及第2收納卡匣之間移動前述同時搬運輸送帶的輸送帶移動手段、及可個別搬運前述複數枚基板的個別搬運輸送帶、及進行前述個別搬運輸送帶上的前述基板、及前述處理裝置的定位的定位手段。
简体摘要：本发明提供一种基板搬运系统,是被:收纳基板的第1及第2收纳卡匣、及于与前述第1及第2收纳卡匣的配置方向垂直的方向将前述第1及第2收纳卡匣分离配置并处理前述基板的处理设备之间搬运基板。此基板搬运系统,是具备:可同时搬运复数枚基板的同时搬运输送带、及在前述第1及第2收纳卡匣之间移动前述同时搬运输送带的输送带移动手段、及可个别搬运前述复数枚基板的个别搬运输送带、及进行前述个别搬运输送带上的前述基板、及前述处理设备的定位的定位手段。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式