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1. 发明专利

TW200605965A 基板塗敷裝置审中-公开
简体标题：基板涂敷设备
公开(公告)号：TW200605965A
公开(公告)日：2006-02-16
申请号：TW094122172
申请日：2005-06-30
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人： 本英二郎 SAKAMOTO, EIJIROU , 岩森大和 IWAMORI, YAMATO , 松成信一 MATSUNARI, SHINICHI
IPC分类号： B05C
CPC分类号： B05C13/02
摘要：本發明揭示出一種基板塗敷裝置，能夠安定地保持在塗敷實行區域中的基板的高度，並對基板均勻地塗敷塗敷液。本發明係針對一邊搬送基板一邊塗敷塗敷液之形態的基板塗敷裝置，其特徵為：具備：搬送前述基板之搬送手段；在為了對前述基板塗敷前述塗敷液之塗敷實行區域，用來保持前述基板之基板支持手段；在前述塗敷實行區域，對前述基板給予推進力之推進驅動手段；及在前述塗敷實行區域，為了對前述基板塗敷前述塗敷液之塗敷頭；前述基板支持手段，包含：自前述基板下方向，來進行氣體的噴出及吸引之浮起台。
简体摘要：本发明揭示出一种基板涂敷设备，能够安定地保持在涂敷实行区域中的基板的高度，并对基板均匀地涂敷涂敷液。本发明系针对一边搬送基板一边涂敷涂敷液之形态的基板涂敷设备，其特征为：具备：搬送前述基板之搬送手段；在为了对前述基板涂敷前述涂敷液之涂敷实行区域，用来保持前述基板之基板支持手段；在前述涂敷实行区域，对前述基板给予推进力之推进驱动手段；及在前述涂敷实行区域，为了对前述基板涂敷前述涂敷液之涂敷头；前述基板支持手段，包含：自前述基板下方向，来进行气体的喷出及吸引之浮起台。

2. 发明专利

TW200801786A 氣流輸送裝置 AIR STREAM CONVEYING DEVICE 审中-公开
简体标题：气流输送设备 AIR STREAM CONVEYING DEVICE
公开(公告)号：TW200801786A
公开(公告)日：2008-01-01
申请号：TW096103742
申请日：2007-02-01
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：川原昭彥 KAWAHARA, AKIHIKO , 中村真二 NAKAMURA, SHINJI , 田口英一 TAGUCHI, EIICHI , 松成信一 MATSUNARI, SHINICHI
IPC分类号： G03C
CPC分类号： B65G49/065 , H01L21/67787
摘要：本發明提供一種以低壓或少量氣流使板狀物充分漂浮,且使其姿態穩定之氣流輸送裝置及用於該氣流輸送裝置之噴嘴板。本發明之氣流輸送裝置,其係藉由自複數傾斜噴射孔噴射之氣體使板狀物漂浮,而一面保持於非接觸狀態,一面向特定方向輸送者,其特徵為:用於該裝置之噴嘴板具備前述複數傾斜噴射孔及前述板狀物所接近之平坦部。另一方面,在與該平坦部同等高度之位置具備上面之面板,與前述平坦部一起構成該氣流輸送裝置之輸送面。該輸送面之噴嘴板在該板狀物之輸送方向隔開第一間隔。在與該輸送方向實質地正交之方向隔開第二間隔。
简体摘要：本发明提供一种以低压或少量气流使板状物充分漂浮,且使其姿态稳定之气流输送设备及用于该气流输送设备之喷嘴板。本发明之气流输送设备,其系借由自复数倾斜喷射孔喷射之气体使板状物漂浮,而一面保持于非接触状态,一面向特定方向输送者,其特征为:用于该设备之喷嘴板具备前述复数倾斜喷射孔及前述板状物所接近之平坦部。另一方面,在与该平坦部同等高度之位置具备上面之皮肤,与前述平坦部一起构成该气流输送设备之输送面。该输送面之喷嘴板在该板状物之输送方向隔开第一间隔。在与该输送方向实质地正交之方向隔开第二间隔。

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