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11. 发明专利

TW202015496A 等離子體處理裝置审中-公开
简体标题：等离子体处理设备
公开(公告)号：TW202015496A
公开(公告)日：2020-04-16
申请号：TW108145871
申请日：2018-03-29
申请人：日商芝浦機械電子裝置股份有限公司 , SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION
发明人：川又由雄 , KAWAMATA, YOSHIO , 神戸優 , KAMBE, YU
IPC分类号： H05H7/14 , C23C14/56 , H01L21/67
摘要：等離子體處理裝置包括：搬送部，在真空容器中具有旋轉體，通過旋轉體而以圓周的搬送路徑循環搬送工件；筒部，在朝向真空容器的內部的搬送路徑的方向上延伸存在；窗構件，將導入有工藝氣體的氣體空間與外部之間加以劃分；以及天線，通過施加電力而在氣體空間的工藝氣體中產生電感耦合等離子體；並且筒部具有設置有開口且朝向旋轉體的對向部，在對向部與旋轉體之間具有隔離壁，所述隔離壁相對於對向部及旋轉體而非接觸且相對於真空容器而以固定不動的方式介隔存在，在隔離壁形成有與開口對向且調節等離子體處理的範圍的調節孔。
简体摘要：等离子体处理设备包括：搬送部，在真空容器中具有旋转体，通过旋转体而以圆周的搬送路径循环搬送工件；筒部，在朝向真空容器的内部的搬送路径的方向上延伸存在；窗构件，将导入有工艺气体的气体空间与外部之间加以划分；以及天线，通过施加电力而在气体空间的工艺气体中产生电感耦合等离子体；并且筒部具有设置有开口且朝向旋转体的对向部，在对向部与旋转体之间具有隔离壁，所述隔离壁相对于对向部及旋转体而非接触且相对于真空容器而以固定不动的方式介隔存在，在隔离壁形成有与开口对向且调节等离子体处理的范围的调节孔。

12. 发明专利

TW201708598A 具有旋轉反應器管之電漿增強型原子層沈積系統审中-公开
简体标题：具有旋转反应器管之等离子增强型原子层沉积系统
公开(公告)号：TW201708598A
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：TW105127323
申请日：2016-08-25
申请人：精微超科技公司 , ULTRATECH, INC.
发明人：賽菲羅普羅亞瑟 , ZAFIROPOULO, ARTHUR W. , 漢瑞魯克安德魯 , HAWRYLUK, ANDREW M.
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/442 , C23C16/455 , C23C16/505 , B01J19/08 , B01J19/28 , B01J8/10 , H05H1/46 , H05H7/14
CPC分类号： H01J37/32733 , C23C16/4417 , C23C16/45538 , C23C16/45555 , H01J37/32247 , H01J37/32458 , H01J37/32467 , H01J37/3266 , H01J37/32678 , H01J37/32825 , H01J37/32853 , H01J2237/20214
摘要：本發明揭示用於使用PE-ALD及旋轉反應器管塗佈粒子之系統及方法。該反應器管為一反應器管總成之部分，該反應器管總成可旋轉及軸向移動使得其相對於一電漿產生裝置可操作地安置。該電漿產生裝置具有自一前驅氣體產生一電漿之一作用中狀態及傳送該前驅氣體而不形成一電漿之一非作用中狀態。該反應器管駐留在一腔室中，該腔室具有用於接取該反應器管之一開放位置及支撐一真空之一關閉位置。該電漿產生裝置之一輸出端緊鄰該反應器管之一輸入區段或在該反應器管之一輸入區段內駐留。此組態避免對於該電漿產生裝置之鄰近該反應器管之一外表面駐留的一作用中部分之需求。
简体摘要：本发明揭示用于使用PE-ALD及旋转反应器管涂布粒子之系统及方法。该反应器管为一反应器管总成之部分，该反应器管总成可旋转及轴向移动使得其相对于一等离子产生设备可操作地安置。该等离子产生设备具有自一前驱气体产生一等离子之一作用中状态及发送该前驱气体而不形成一等离子之一非作用中状态。该反应器管驻留在一腔室中，该腔室具有用于接取该反应器管之一开放位置及支撑一真空之一关闭位置。该等离子产生设备之一输出端紧邻该反应器管之一输入区段或在该反应器管之一输入区段内驻留。此组态避免对于该等离子产生设备之邻近该反应器管之一外表面驻留的一作用中部分之需求。

13. 发明专利

TWI526123B 用以冷卻射頻加熱式腔室元件的系統有权
简体标题：用以冷却射频加热式腔室组件的系统
公开(公告)号：TWI526123B
公开(公告)日：2016-03-11
申请号：TW101136958
申请日：2012-10-05
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：麥可卻斯尼瓊 , MCCHESNEY, JON , 斯里拉曼沙拉維納布里恩 , SRIRAMAN, SARAVANAPRIYAN , 馬須理齊 , MARSH, RICKY , 派特森艾立克斯 , PATERSON, ALEX , 霍藍德約翰 , HOLLAND, JOHN
IPC分类号： H05H7/14
CPC分类号： H01J37/32522 , H01J37/32082 , H01J37/32119 , H01J37/32238

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