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    • 11. 发明专利
    • 浮動閘極式駐極體電容麥克風及其製造方法
    • 浮动闸极式驻极体电容麦克风及其制造方法
    • TW200608817A
    • 2006-03-01
    • TW093124797
    • 2004-08-18
    • 國立中興大學 NATIONAL CHUNGHSING UNIVERSITY
    • 林泓均 LIN, HONG CHIN洪瑞華張昭智
    • H04R
    • 本發明提供一種浮動閘極式駐極體電容麥克風及其製造方法。該浮動閘極式駐極體電容麥克風包含一可電性連結於一電路板上的基座,及一封裝於該基座中的電容式麥克風晶片,該電容式麥克風晶片是利用二相間隔的導體層及一形成在此二導體層間的浮動閘極式駐極體形成電容,使當聲能作用時電容對應變化,而可轉換成電子訊號傳輸。該製造方法是利用半導體製程與微機電製程在矽基材上形成浮動閘極式駐極體電容的電容式麥克風晶片,再將此電容式麥克風晶片封裝入一可電性連結於電子產品之電路板的基座中,完成浮動閘極式駐極體電容麥克風的製備。
    • 本发明提供一种浮动闸极式驻极体电容麦克风及其制造方法。该浮动闸极式驻极体电容麦克风包含一可电性链接于一电路板上的基座,及一封装于该基座中的电容式麦克风芯片,该电容式麦克风芯片是利用二相间隔的导体层及一形成在此二导体层间的浮动闸极式驻极体形成电容,使当声能作用时电容对应变化,而可转换成电子信号传输。该制造方法是利用半导体制程与微机电制程在硅基材上形成浮动闸极式驻极体电容的电容式麦克风芯片,再将此电容式麦克风芯片封装入一可电性链接于电子产品之电路板的基座中,完成浮动闸极式驻极体电容麦克风的制备。
    • 13. 发明专利
    • 發光二極體及其製作方法
    • 发光二极管及其制作方法
    • TW201719933A
    • 2017-06-01
    • TW104138554
    • 2015-11-20
    • 國立中興大學NATIONAL CHUNGHSING UNIVERSITY
    • 洪瑞華
    • H01L33/22H01L33/00
    • 本發明提供一種發光二極體,包含一基板與依序形成的一發光單元、一視窗層、一增亮單元,及一與該發光單元形成電連接的電極單元;該視窗層具有一粗糙表面,且該增亮單元包括多個形成於該粗糙表面上的凸部。此外,本發明還提供一種發光二極體的製作方法,包含以下步驟:準備一包括一基板、一發光單元、一視窗層,及一電極單元的發光元件;於該視窗層的表面形成多數個奈米球,並以該等奈米球為遮罩對該視窗層的表面進行蝕刻,使該視窗層形成一粗糙表面;改變該等奈米球的形態,使其轉變為具有弧狀表面的凸部而形成一位於該視窗層上的增亮單元。
    • 本发明提供一种发光二极管,包含一基板与依序形成的一发光单元、一窗口层、一增亮单元,及一与该发光单元形成电连接的电极单元;该窗口层具有一粗糙表面,且该增亮单元包括多个形成于该粗糙表面上的凸部。此外,本发明还提供一种发光二极管的制作方法,包含以下步骤:准备一包括一基板、一发光单元、一窗口层,及一电极单元的发光组件;于该窗口层的表面形成多数个奈米球,并以该等奈米球为遮罩对该窗口层的表面进行蚀刻,使该窗口层形成一粗糙表面;改变该等奈米球的形态,使其转变为具有弧状表面的凸部而形成一位于该窗口层上的增亮单元。
    • 17. 发明专利
    • 具雙面粗化垂直導通式發光二極體之製造方法及其產品
    • 具双面粗化垂直导通式发光二极管之制造方法及其产品
    • TW200935619A
    • 2009-08-16
    • TW097104206
    • 2008-02-04
    • 國立中興大學 NATIONAL CHUNGHSING UNIVERSITY
    • 洪瑞華武東星
    • H01L
    • 本發明提供具雙面粗化垂直導通式發光二極體之製造方法及其產品,用在晶圓貼合製程溫度下呈液態的接著劑及晶圓貼合技術,將可作為電極的第二基板與雙面粗化的氮化鎵系列材料磊晶成的磊晶膜單元相連接,並在移除原本用於磊晶或連接磊晶膜單元的第一基板、設置電極後,製作得到具雙面粗化垂直導通式發光二極體,本發明除了同時藉由接著劑與晶圓貼合技術,而使第二基板與磊晶膜單元更穩固的連接之外,由於整個製程都是在不大於晶圓貼合製程溫度範圍下進行,所以可以克服高溫製程導致反射鏡發生質變的問題,使元件具有更高的發光效率。
    • 本发明提供具双面粗化垂直导通式发光二极管之制造方法及其产品,用在晶圆贴合制程温度下呈液态的接着剂及晶圆贴合技术,将可作为电极的第二基板与双面粗化的氮化镓系列材料磊晶成的磊晶膜单元相连接,并在移除原本用于磊晶或连接磊晶膜单元的第一基板、设置电极后,制作得到具双面粗化垂直导通式发光二极管,本发明除了同时借由接着剂与晶圆贴合技术,而使第二基板与磊晶膜单元更稳固的连接之外,由于整个制程都是在不大于晶圆贴合制程温度范围下进行,所以可以克服高温制程导致反射镜发生质变的问题,使组件具有更高的发光效率。
    • 19. 发明专利
    • 具有金屬散熱柱之雷射二極體及其製造方法
    • 具有金属散热柱之激光二极管及其制造方法
    • TW200744279A
    • 2007-12-01
    • TW095118156
    • 2006-05-22
    • 國立中興大學 NATIONAL CHUNGHSING UNIVERSITY
    • 洪瑞華武東星
    • H01SH01L
    • 本發明提出一種具有金屬散熱柱之雷射二極體,其磊晶層由下而上依序包括第一型批覆層、發光層及第二型批覆層,二布拉格反射鏡分別形成於二批覆層之上下表面中央或其他適當位置。保留下批覆層底部的部份磊晶用基板,而將其餘部份去除以鍍設一布拉格反射鏡,使金屬散熱柱電鍍於該布拉格反射鏡的底部。藉由保留磊晶用基板及電鍍金屬散熱柱,可使雷射二極體結構更加穩定並提升散熱效果。此外,本發明製程中,高溫退火程序係於鏡面及電鍍程序前完成,因此不會對結構造成破壞,可有效提高鏡面反射率及增加雷射二極體的製程良率。
    • 本发明提出一种具有金属散热柱之激光二极管,其磊晶层由下而上依序包括第一型批复层、发光层及第二型批复层,二布拉格反射镜分别形成于二批复层之上下表面中央或其他适当位置。保留下批复层底部的部份磊晶用基板,而将其余部份去除以镀设一布拉格反射镜,使金属散热柱电镀于该布拉格反射镜的底部。借由保留磊晶用基板及电镀金属散热柱,可使激光二极管结构更加稳定并提升散热效果。此外,本发明制程中,高温退火进程系于镜面及电镀进程前完成,因此不会对结构造成破坏,可有效提高镜面反射率及增加激光二极管的制程良率。