专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

181. 发明专利

TWI348449B 附有減振閉鎖機構之晶圓容器及門 WAFER CONTAINER AND DOOR WITH VIBRATION DAMPENING LATCHING MECHANISM 有权
简体标题：附有减振闭锁机构之晶圆容器及门 WAFER CONTAINER AND DOOR WITH VIBRATION DAMPENING LATCHING MECHANISM
公开(公告)号：TWI348449B
公开(公告)日：2011-09-11
申请号：TW093133977
申请日：2004-11-08
申请人：安堤格里斯公司
发明人：約翰伯恩斯 , 馬修富勒 , 傑佛里金 , 馬丁福布斯 , 馬克史密斯
IPC分类号： B65G , H01L , B65D
摘要：一種容器，用以固持複數個軸向對齊且大致平行間隔配置的晶圓，該容器包括殼體部分，其具有頂部、底部、一對相對之側邊部、後部及前開口。殼體內至少設有一晶圓支撐器，而在殼體底部依著運動學上的耦合。容器具有可密封關閉前開口的門，其包括底座及底座上可動的閉鎖機構。閉鎖機構包括可選擇性旋轉的凸輪，以在第一支持位置與第二支持位置之間切換閉鎖機構；以及至少一振動阻尼器，其可緩衝閉鎖機構於第一及第二支持位置間切換時所產生的振動。
简体摘要：一种容器，用以固持复数个轴向对齐且大致平行间隔配置的晶圆，该容器包括壳体部分，其具有顶部、底部、一对相对之侧边部、后部及前开口。壳体内至少设有一晶圆支撑器，而在壳体底部依着运动学上的耦合。容器具有可密封关闭前开口的门，其包括底座及底座上可动的闭锁机构。闭锁机构包括可选择性旋转的凸轮，以在第一支持位置与第二支持位置之间切换闭锁机构；以及至少一振动阻尼器，其可缓冲闭锁机构于第一及第二支持位置间切换时所产生的振动。

182. 发明专利

TWI320833B 延伸衝程閥及隔膜 EXTENDED STROKE VALVE AND DIAPHRAGM 有权
简体标题：延伸冲程阀及隔膜 EXTENDED STROKE VALVE AND DIAPHRAGM
公开(公告)号：TWI320833B
公开(公告)日：2010-02-21
申请号：TW093120647
申请日：2004-07-09
申请人：安堤格里斯公司
发明人：約翰雷斯 , 詹姆士林德
IPC分类号： F16K
摘要：一種延伸衝程提動閥，特別適合用以處理腐蝕性流體，且具有可使閥具有延長之服務壽命的特色。閥包含一二部件主要隔膜組件，其具有一由高抗疲乏性含氟聚合物材料製成的濕式隔膜，及一由高強度含氟聚合物材料製成的隔膜支持物，其係被設計以耐受由一延伸之閥衝程所施加之高應力載荷。此二層組合在單一主要隔膜組件中，產生一高耐用性、抗化學腐蝕性，可使用在一長衝程提動閥中且具有相當長服務壽命之隔膜。 An extended stroke poppet valve particularly suited for handling caustic fluids and having features enabling an extended service life for the valve. The valve includes a two part primary diaphragm assembly with a wetted diaphragm made from highly fatigue resistant fluoropolymer material, and a diaphragm backer made from high strength fluoropolymer material designed to withstand the high stress loads imposed by an extended valve stroke. The combination of these two layers in a single primary diaphragm assembly yields a highly durable, caustic chemical resistant, diaphragm capable of use in a long stroke poppet valve and having a relatively long service life. 【創作特點】本發明提供一種特別適合供處理腐蝕性流體之延伸衝程提動閥，其與先前之閥比較，具有可延長閥之服務壽命的特色。閥包含一二部件主要隔膜組件，其具有一由高抗疲乏性含氟聚合物材料製成的濕式隔膜，及一由高強度含氟聚合物材料製成的隔膜支持物，其被設計以耐受由一延伸閥衝程所施加之高應力負載。此二層組合在一主要隔膜組件中，產生一高耐用性、抗化學腐蝕性、可使用在一長衝程提動閥中且具有相當長服務壽命之隔膜。可直接改善閥之耐用性與服務壽命，進而改善處理效率並減少成本。
依此，隔膜閥包含一閥本體，用以界定一入口路徑、一出口路徑、及一流體室。流體室具有一內部壁與一開啟側。入口路徑與出口路徑形成一開口在內部壁中，因此，入口路徑、出口路徑、及流體室均互相流體地連通。一閥座部位環繞在流體室中之入口路徑開口。一可撓隔膜組件係位於可密封地封閉流體室之開啟側的位置。可撓隔膜具有一朝向進入流體室之閥部位，且可選擇地位移在至少一閥部位係密封地結合閥座部位以阻塞流動通過該閥的流體之閥封閉位置，與閥部位自閥座間隔開使流體可流動通過該閥的閥開啟位置之間。可撓隔膜組件包含一主要隔膜組件，其包括一由抗疲乏性含氟聚合物材料所形成之主要隔膜構件，及一由高強度含氟聚合物材料所形成之鄰近的隔膜支持物構件。隔膜組件可進一步包含一自主要隔膜組件間隔開之副隔膜。閥亦可包含一引動器組件，可動地與可撓隔膜組件耦合，用以可選擇地定位可撓隔膜組件在閥開啟與閥封閉位置。
简体摘要：一种延伸冲程提动阀，特别适合用以处理腐蚀性流体，且具有可使阀具有延长之服务寿命的特色。阀包含一二部件主要隔膜组件，其具有一由高抗疲乏性含氟聚合物材料制成的湿式隔膜，及一由高强度含氟聚合物材料制成的隔膜支持物，其系被设计以耐受由一延伸之阀冲程所施加之高应力载荷。此二层组合在单一主要隔膜组件中，产生一高耐用性、抗化学腐蚀性，可使用在一长冲程提动阀中且具有相当长服务寿命之隔膜。 An extended stroke poppet valve particularly suited for handling caustic fluids and having features enabling an extended service life for the valve. The valve includes a two part primary diaphragm assembly with a wetted diaphragm made from highly fatigue resistant fluoropolymer material, and a diaphragm backer made from high strength fluoropolymer material designed to withstand the high stress loads imposed by an extended valve stroke. The combination of these two layers in a single primary diaphragm assembly yields a highly durable, caustic chemical resistant, diaphragm capable of use in a long stroke poppet valve and having a relatively long service life. 【创作特点】本发明提供一种特别适合供处理腐蚀性流体之延伸冲程提动阀，其与先前之阀比较，具有可延长阀之服务寿命的特色。阀包含一二部件主要隔膜组件，其具有一由高抗疲乏性含氟聚合物材料制成的湿式隔膜，及一由高强度含氟聚合物材料制成的隔膜支持物，其被设计以耐受由一延伸阀冲程所施加之高应力负载。此二层组合在一主要隔膜组件中，产生一高耐用性、抗化学腐蚀性、可使用在一长冲程提动阀中且具有相当长服务寿命之隔膜。可直接改善阀之耐用性与服务寿命，进而改善处理效率并减少成本。依此，隔膜阀包含一阀本体，用以界定一入口路径、一出口路径、及一流体室。流体室具有一内部壁与一打开侧。入口路径与出口路径形成一开口在内部壁中，因此，入口路径、出口路径、及流体室均互相流体地连通。一阀座部位环绕在流体室中之入口路径开口。一可挠隔膜组件系位于可密封地封闭流体室之打开侧的位置。可挠隔膜具有一朝向进入流体室之阀部位，且可选择地位移在至少一阀部位系密封地结合阀座部位以阻塞流动通过该阀的流体之阀封闭位置，与阀部位自阀座间隔开使流体可流动通过该阀的阀打开位置之间。可挠隔膜组件包含一主要隔膜组件，其包括一由抗疲乏性含氟聚合物材料所形成之主要隔膜构件，及一由高强度含氟聚合物材料所形成之邻近的隔膜支持物构件。隔膜组件可进一步包含一自主要隔膜组件间隔开之副隔膜。阀亦可包含一引动器组件，可动地与可挠隔膜组件耦合，用以可选择地定位可挠隔膜组件在阀打开与阀封闭位置。

183. 发明专利

TW200944450A 具有管狀環境控制元件之晶圓儲存盒 WAFER CONTAINER WITH TUBULAR ENVIRONMENTAL CONTROL COMPONENTS 审中-公开
简体标题：具有管状环境控件之晶圆存储盒 WAFER CONTAINER WITH TUBULAR ENVIRONMENTAL CONTROL COMPONENTS
公开(公告)号：TW200944450A
公开(公告)日：2009-11-01
申请号：TW098108223
申请日：2009-03-13
申请人：安堤格里斯公司
发明人：華生詹姆士A , 柏斯約翰 , 佛比斯馬汀L , 富勒馬修A , 史密斯馬克V
IPC分类号： B65D , B01D , B65G , H01L
CPC分类号： H01L21/67393
摘要：本發明提供一種晶圓儲存盒，其利用一其中具有複數狹縫及一「吸氣劑」之剛性聚合物管狀塔以吸收及過濾晶圓儲存盒內之水份及水蒸氣。該塔較佳利用位於儲存盒基座處之一洗淨套管，且其中可具有一止回閥以控制相對於該塔進出該儲存盒之氣體（包括空氣）之流向。該塔係與該套管密封地連接。該塔可具有一吸氣媒體件（getter media piece），該吸氣媒體件被卷成一細長圓環方式而形成或被成形為一管狀並設置於塔內，且該塔可具有軸線延伸。該媒體可提供主動式及/或被動式過濾，並具有被再充填之能力。用於300毫米尺寸晶圓之前開式晶圓儲存盒一般於儲存盒部內部後方之左側與右側上皆具有一對凹槽。該等凹槽較佳用於細長之塔，此等塔實質自一底部晶圓位置延伸至一頂部晶圓位置。於一替代實施例中，一管狀之吸氣材料暴露於前開式儲存盒內，該前開式儲存盒除端部之外不容納吸氣劑。該管狀吸氣劑形式較佳在離散位置處得到支撐以最大化地暴露於內部儲存盒環境。一阻擋構件可選擇性地封閉開孔。一彈性體帽可有利於將管狀元件緊固於儲存盒部中。
简体摘要：本发明提供一种晶圆存储盒，其利用一其中具有复数狭缝及一“吸气剂”之刚性聚合物管状塔以吸收及过滤晶圆存储盒内之水份及水蒸气。该塔较佳利用位于存储盒基座处之一洗净套管，且其中可具有一止回阀以控制相对于该塔进出该存储盒之气体（包括空气）之流向。该塔系与该套管密封地连接。该塔可具有一吸气媒体件（getter media piece），该吸气媒体件被卷成一细长圆环方式而形成或被成形为一管状并设置于塔内，且该塔可具有轴线延伸。该媒体可提供主动式及/或被动式过滤，并具有被再充填之能力。用于300毫米尺寸晶圆之前开式晶圆存储盒一般于存储盒部内部后方之左侧与右侧上皆具有一对凹槽。该等凹槽较佳用于细长之塔，此等塔实质自一底部晶圆位置延伸至一顶部晶圆位置。于一替代实施例中，一管状之吸气材料暴露于前开式存储盒内，该前开式存储盒除端部之外不容纳吸气剂。该管状吸气剂形式较佳在离散位置处得到支撑以最大化地暴露于内部存储盒环境。一阻挡构件可选择性地封闭开孔。一弹性体帽可有利于将管状组件紧固于存储盒部中。

184. 发明专利

TW200920978A 管接件及其製造及組合之方法 TUBING CONNECTOR, METHOD OF MANUFACTURE, AND METHOD OF ASSEMBLY 审中-公开
简体标题：管接件及其制造及组合之方法 TUBING CONNECTOR, METHOD OF MANUFACTURE, AND METHOD OF ASSEMBLY
公开(公告)号：TW200920978A
公开(公告)日：2009-05-16
申请号：TW097117654
申请日：2008-05-14
申请人：安堤格里斯公司 ENTEGRIS, INC.
发明人：約翰A 雷斯 LEYS, JOHN A. , 麥克史萊哲 SCHLEICHER, MICHAEL , 史提芬A 費雪 FISCHER, STEVEN A.
IPC分类号： F16L
CPC分类号： F16L19/028 , F16L19/04 , F16L19/083 , F16L47/04
摘要：本發明提供一種耦合件,其利用一管端部,該管端部於外側具有一球形狀且具有一相應之內側球形狀,該管端嚙合一接頭本體,該接頭本體具有一球形狀及收斂之環形槽。本發明包含一種成形方法、製作該耦合件元件之方法以及製作該連接之方法,製作該耦合件元件之方法具體包含該球形管端部及該接頭本體。本發明包含各種單獨元件以及合成該等元件為一系統或一耦合件。本發明包含附連有此一耦合件之具體流體流動元件。
简体摘要：本发明提供一种耦合件,其利用一管端部,该管端部于外侧具有一球形状且具有一相应之内侧球形状,该管端啮合一接头本体,该接头本体具有一球形状及收敛之环形槽。本发明包含一种成形方法、制作该耦合件组件之方法以及制作该连接之方法,制作该耦合件组件之方法具体包含该球形管端部及该接头本体。本发明包含各种单独组件以及合成该等组件为一系统或一耦合件。本发明包含附连有此一耦合件之具体流体流动组件。

185. 发明专利

TW200822268A 晶圓盒 WAFER CASSETTE 审中-公开
简体标题：晶圆盒 WAFER CASSETTE
公开(公告)号：TW200822268A
公开(公告)日：2008-05-16
申请号：TW096124895
申请日：2007-07-09
申请人：安堤格里斯公司 ENTEGRIS, INC.
发明人：馬修A 富勒 FULLER, MATTHEW A. , 約翰柏恩斯 BURNS, JOHN
IPC分类号： H01L , B65D
CPC分类号： H01L21/67383
摘要：本發明提供一種前開式晶圓容器,包含一殼體部及一門。其提供一晶圓支撐系統,包含一對相間之懸臂式晶圓擱架,各該晶圓擱架包含一對相對之傾斜斜面部。該等斜面部協同定位及配置成使得當晶圓接納於該等擱架上時,該晶圓於晶圓之一下周緣角處支撐於該等斜面上,該晶圓之所有其他部分則不與該晶圓支撐系統接觸。各該晶圓擱架可具有一大致凹陷之上表面,且該等斜面之斜坡係與該等晶圓擱架之凹陷上表面接續。
简体摘要：本发明提供一种前开式晶圆容器,包含一壳体部及一门。其提供一晶圆支撑系统,包含一对相间之悬臂式晶圆搁架,各该晶圆搁架包含一对相对之倾斜斜面部。该等斜面部协同定位及配置成使得当晶圆接纳于该等搁架上时,该晶圆于晶圆之一下周缘角处支撑于该等斜面上,该晶圆之所有其他部分则不与该晶圆支撑系统接触。各该晶圆搁架可具有一大致凹陷之上表面,且该等斜面之斜坡系与该等晶圆搁架之凹陷上表面接续。

186. 发明专利

TWI290353B 利用載具門達成具有接地路徑之前開式晶圓載具 FRONT OPENING WAFER CARRIER WITH PATH TO GROUND EFFECTUATED BY DOOR 有权
简体标题：利用载具门达成具有接地路径之前开式晶圆载具 FRONT OPENING WAFER CARRIER WITH PATH TO GROUND EFFECTUATED BY DOOR
公开(公告)号：TWI290353B
公开(公告)日：2007-11-21
申请号：TW091134461
申请日：2002-11-27
申请人：安堤格里斯公司 ENTEGRIS, INC.
发明人：格雷戈里.博雷斯 GREGORY BORES , 蘇拉.卡利亞 SURAJ KALIA , 安東尼.M.堤本恩 ANTHOYN MATHIAS TIEBEN
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/67373 , H01L21/67396 , Y10T29/49117
摘要：原則上由塑膠形成及包含一外殼部份與一載具門的前開式晶圓載具，其係具有相關於晶圓之至接地的一路徑，該接地路徑則由該載具門所達成。”接地”基座可能提供於其上放置有載具的機械介面，或者經由緊握、操作、以及移動該載具門的自動支臂。
简体摘要：原则上由塑胶形成及包含一外壳部份与一载具门的前开式晶圆载具，其系具有相关于晶圆之至接地的一路径，该接地路径则由该载具门所达成。”接地”基座可能提供于其上放置有载具的机械界面，或者经由紧握、操作、以及移动该载具门的自动支臂。

187. 发明专利

TW200741183A 具隔離腔室之流體處理裝置 FLUID HANDLING DEVICE WITH ISOLATING CHAMBER 审中-公开
简体标题：具隔离腔室之流体处理设备 FLUID HANDLING DEVICE WITH ISOLATING CHAMBER
公开(公告)号：TW200741183A
公开(公告)日：2007-11-01
申请号：TW096108221
申请日：2007-03-09
申请人：安堤格里斯公司 ENTEGRIS, INC.
发明人：湯馬士派特森 PETERSON, THOMAS
IPC分类号： G01F , G05D
CPC分类号： G01F1/36
摘要：本發明提供一種流體處理裝置,其包含一本體部,該本體部界定一流動通道及自該流動通道延伸出之一脈衝腔室。該脈衝腔室與該流動通道流體耦合,並具有一對在其間界定一長度尺寸之相對端。該脈衝腔室更提供垂直於該長度尺寸之一直徑尺寸,其中該長度尺寸為該直徑尺寸之至少3倍且不大於10倍。該裝置更包含以可操作方式與該本體部耦合之至少一感測器。該感測器緊靠該脈衝腔室之與該流動通道相對之端部設置,並提供朝向該脈衝腔室內之一感測面。
简体摘要：本发明提供一种流体处理设备,其包含一本体部,该本体部界定一流动信道及自该流动信道延伸出之一脉冲腔室。该脉冲腔室与该流动信道流体耦合,并具有一对在其间界定一长度尺寸之相对端。该脉冲腔室更提供垂直于该长度尺寸之一直径尺寸,其中该长度尺寸为该直径尺寸之至少3倍且不大于10倍。该设备更包含以可操作方式与该本体部耦合之至少一传感器。该传感器紧靠该脉冲腔室之与该流动信道相对之端部设置,并提供朝向该脉冲腔室内之一传感面。

188. 发明专利

TW200716302A 化學機械研磨之固定環 CMP RETAINING RING 审中-公开
简体标题：化学机械研磨之固定环 CMP RETAINING RING
公开(公告)号：TW200716302A
公开(公告)日：2007-05-01
申请号：TW095118480
申请日：2006-05-24
申请人：安堤格里斯公司 ENTEGRIS, INC.
发明人：約翰伯恩斯 BURNS, JOHN , 馬克V 史密斯 SMITH, MARK V. , 馬汀L 佛比斯 FORBES, MARTIN L.
IPC分类号： B24B , H01L
CPC分类号： B24B37/32 , Y10T29/49826
摘要：本發明係關於一種改良之化學機械研磨(CMP)之固定環。較佳之實施例包含由耐磨損塑膠材料製成之底座部份,及由硬物及更耐磨損的材料所製成之上部或骨架部份。較佳地,底座部份或骨架部份其中之一包覆成型於另一個。底座部份一般可由平坦的墊接觸表面、外表面及內表面所限定。底座部份可更包含溝槽,自外表面延伸至內表面,以促進製程中進出基板的研磨漿流動。底座部份或骨架部份其中之一或兩者可更包含複數個環形肋條,以在已包覆成型材料上產生額外的接合表面。固定環可更包含複數個具有螺紋嵌入孔的突起,使固定環能附接至化學機械研磨系統。
简体摘要：本发明系关于一种改良之化学机械研磨(CMP)之固定环。较佳之实施例包含由耐磨损塑胶材料制成之底座部份,及由硬物及更耐磨损的材料所制成之上部或骨架部份。较佳地,底座部份或骨架部份其中之一包复成型于另一个。底座部份一般可由平坦的垫接触表面、外表面及内表面所限定。底座部份可更包含沟槽,自外表面延伸至内表面,以促进制程中进出基板的研磨浆流动。底座部份或骨架部份其中之一或两者可更包含复数个环形肋条,以在已包复成型材料上产生额外的接合表面。固定环可更包含复数个具有螺纹嵌入孔的突起,使固定环能附接至化学机械研磨系统。

189. 发明专利

TW200702285A 用於流體容納桶之識別標籤 IDENTIFICATION TAG FOR FLUID CONTAINMENT DRUM 审中-公开
简体标题：用于流体容纳桶之识别标签 IDENTIFICATION TAG FOR FLUID CONTAINMENT DRUM
公开(公告)号：TW200702285A
公开(公告)日：2007-01-16
申请号：TW095112716
申请日：2006-04-10
申请人：安堤格里斯公司 ENTEGRIS, INC.
发明人：偉恩亞斯普 ASP, WAYNE , 傑夫瑞J 麥肯錫 MCKENZIE, JEFFREY J. , 約翰M 漢能 HENNEN, JOHN M.
IPC分类号： B67D , G06K
摘要：一種流體容納及分配系統,其具有一無線射頻識別標籤連結其上,流體容納及分配系統包含一流體容納桶,其具有一開口定義其上,該流體容納及分配系統更包含一分配機構,其係可操作地連接於該開口,該分配機構係用以分配流體容納桶之內容物。識別標籤係可連接於該分配機構,且包含第一薄層、第二薄層、以及設置於第一及第二薄層間之無線射頻識別元件,其中該無線射頻識別元件包含流體容納及分配系統之相關資訊。
简体摘要：一种流体容纳及分配系统,其具有一无线射频识别标签链接其上,流体容纳及分配系统包含一流体容纳桶,其具有一开口定义其上,该流体容纳及分配系统更包含一分配机构,其系可操作地连接于该开口,该分配机构系用以分配流体容纳桶之内容物。识别标签系可连接于该分配机构,且包含第一薄层、第二薄层、以及设置于第一及第二薄层间之无线射频识别组件,其中该无线射频识别组件包含流体容纳及分配系统之相关信息。

190. 发明专利

TW200702284A 高容積流體分配系統 HIGH-VOLUME FLUID DISPENSE SYSTEM 审中-公开
简体标题：高容积流体分配系统 HIGH-VOLUME FLUID DISPENSE SYSTEM
公开(公告)号：TW200702284A
公开(公告)日：2007-01-16
申请号：TW095112715
申请日：2006-04-10
申请人：安堤格里斯公司 ENTEGRIS, INC.
发明人：約翰M 漢能 HENNEN, JOHN M. , 貝利L 勞沃瑟 RAUWORTH, BARRY L. , 詹姆士C 林德 LINDER, JAMES C.
IPC分类号： B67D
摘要：一種用於容器桶之流體分配系統,具有一桶插入件,其裝配係與容器桶上的一塞孔連接,該桶插入件具有一上部、以及自其延伸進入該容器桶內部之桶插入件下管;此系統更具有一分配頭,其裝配係與該桶插入件連接,該分配頭具有一第一導管及一第二導管,其各具有一閥總成,當該分配頭與該桶插入件連接時,該閥總成係與該桶插入件相連接,當該分配頭與該桶插入件相連接時,可使第一閥總成及第二閥總成處於一開啓位置,以容許流體經導管流通,當該分配頭與該桶插入件處於非連接狀態時,第一閥總成及第二閥總成偏斜至一關閉位置,以阻擋流體經導管流通。
简体摘要：一种用于容器桶之流体分配系统,具有一桶插入件,其装配系与容器桶上的一塞孔连接,该桶插入件具有一上部、以及自其延伸进入该容器桶内部之桶插入件下管;此系统更具有一分配头,其装配系与该桶插入件连接,该分配头具有一第一导管及一第二导管,其各具有一阀总成,当该分配头与该桶插入件连接时,该阀总成系与该桶插入件相连接,当该分配头与该桶插入件相连接时,可使第一阀总成及第二阀总成处于一开启位置,以容许流体经导管流通,当该分配头与该桶插入件处于非连接状态时,第一阀总成及第二阀总成偏斜至一关闭位置,以阻挡流体经导管流通。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式