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    • 122. 发明专利
    • 薄膜電晶體陣列及其製造方法
    • 薄膜晶体管数组及其制造方法
    • TW201519417A
    • 2015-05-16
    • TW103133405
    • 2014-09-26
    • 凸版印刷股份有限公司TOPPAN PRINTING CO., LTD.
    • 松原亮平MATSUBARA, RYOHEI
    • H01L27/12
    • H01L51/0545G02F1/136227H01L27/1288H01L27/1292H01L27/3258H01L51/105H01L2227/323
    • 提供在使用凹平版印刷(gravure-offset-printing)形成如層間絕緣膜圖案的通路開孔圖案的情況下,能不發生刮刀(blade)的彎曲或版的缺口地形成圖案的薄膜電晶體陣列。薄膜電晶體陣列係將薄膜電晶體配置成矩陣狀,該薄膜電晶體具有:形成在基板上的閘極電極;形成在閘極電極上的閘極絕緣層;形成在閘極絕緣層上的源極電極及連接於畫素電極的汲極電極;形成在源極電極及汲極電極之間的半導體層;以覆蓋源極電極、汲極電極、半導體層及畫素電極的一部分的方式所形成的層間絕緣膜;以及形成在層間絕緣膜上,連接於畫素電極的上部畫素電極,將閘極電極、源極電極分別連接於閘極配線、源極配線,層間絕緣膜具有凹部。
    • 提供在使用凹平版印刷(gravure-offset-printing)形成如层间绝缘膜图案的通路开孔图案的情况下,能不发生刮刀(blade)的弯曲或版的缺口地形成图案的薄膜晶体管数组。薄膜晶体管数组系将薄膜晶体管配置成矩阵状,该薄膜晶体管具有:形成在基板上的闸极电极;形成在闸极电极上的闸极绝缘层;形成在闸极绝缘层上的源极电极及连接于像素电极的汲极电极;形成在源极电极及汲极电极之间的半导体层;以覆盖源极电极、汲极电极、半导体层及像素电极的一部分的方式所形成的层间绝缘膜;以及形成在层间绝缘膜上,连接于像素电极的上部像素电极,将闸极电极、源极电极分别连接于闸极配线、源极配线,层间绝缘膜具有凹部。