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    • 130. 发明专利
    • 液體組成物及利用該液體組成物的蝕刻方法
    • 液体组成物及利用该液体组成物的蚀刻方法
    • TW201627533A
    • 2016-08-01
    • TW104138367
    • 2015-11-20
    • 三菱瓦斯化學股份有限公司MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.
    • 竹內秀範TAKEUCHI, HIDENORI夕部邦夫YUBE, KUNIO
    • C23F1/18C23F1/26C23F1/44H01L21/3213H01L21/465H01L29/786
    • 本發明關於一種液體組成物,該液體組成物係用以蝕刻在由銦、鎵、鋅及氧構成之氧化物上形成之銅或銅作為主成分之金屬化合物;並係關於一種蝕刻方法,其特徵為:使該液體組成物接觸具有銅或銅作為主成分之金屬化合物之基板。 本發明之液體組成物,其特徵為:含有(A)過氧化氫、(B)不含氟原子之酸、(C)選自於由膦酸類、磷酸酯類、1H-四唑-1-乙酸、1H-四唑-5-乙酸及4-胺基-1,2,4-三唑構成之群組中之1種以上之化合物、及(D)水,且pH值為5以下。藉由使用本發明之液體組成物,可抑制對由銦、鎵、鋅及氧構成之氧化物的損傷,並蝕刻在由銦、鎵、鋅及氧構成之氧化物上形成之銅或銅作為主成分之金屬化合物。
    • 本发明关于一种液体组成物,该液体组成物系用以蚀刻在由铟、镓、锌及氧构成之氧化物上形成之铜或铜作为主成分之金属化合物;并系关于一种蚀刻方法,其特征为:使该液体组成物接触具有铜或铜作为主成分之金属化合物之基板。 本发明之液体组成物,其特征为:含有(A)过氧化氢、(B)不含氟原子之酸、(C)选自于由膦酸类、磷酸酯类、1H-四唑-1-乙酸、1H-四唑-5-乙酸及4-胺基-1,2,4-三唑构成之群组中之1种以上之化合物、及(D)水,且pH值为5以下。借由使用本发明之液体组成物,可抑制对由铟、镓、锌及氧构成之氧化物的损伤,并蚀刻在由铟、镓、锌及氧构成之氧化物上形成之铜或铜作为主成分之金属化合物。