专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

121. 发明专利

TW201231362A 可最小化門撓曲之前開式晶圓容器 FRONT OPENING WAFER CONTAINER WITH DOOR DEFLECTION MINIMIZATION 审中-公开
简体标题：可最小化门挠曲之前开式晶圆容器 FRONT OPENING WAFER CONTAINER WITH DOOR DEFLECTION MINIMIZATION
公开(公告)号：TW201231362A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：TW100138042
申请日：2011-10-20
申请人：安堤格里斯公司
发明人：富勒馬修A
IPC分类号： B65D
CPC分类号： H01L21/67772 , H01L21/67369 , H01L21/67373
摘要：一種用於450毫米直徑之晶圓之前開式晶圓容器。前門具有一對閂鎖機構，分別從外部操作且位於門之側面，各閂鎖機構具有一對閂鎖尖端，閂鎖尖端自門之頂部周邊及底部周邊延伸至位於容器部之正面開口之門框架中之接納器中。門包含用以支撐水平堆疊之晶圓之晶圓襯墊。襯墊具有垂直延伸之支撐條部，在垂直延伸之支撐條部之間具有弧形晶圓嚙合部。弧形晶圓嚙合部位於門之內表面上之一垂直延伸之中心凹槽中。晶圓襯墊於一對垂直延伸之加載接合部處在垂直延伸之支撐條部處緊固至門之內側。各閂鎖機構之閂鎖尖端與垂直延伸之加載接合部垂直對齊。
简体摘要：一种用于450毫米直径之晶圆之前开式晶圆容器。前门具有一对闩锁机构，分别从外部操作且位于门之侧面，各闩锁机构具有一对闩锁尖端，闩锁尖端自门之顶部周边及底部周边延伸至位于容器部之正面开口之门框架中之接纳器中。门包含用以支撑水平堆栈之晶圆之晶圆衬垫。衬垫具有垂直延伸之支撑条部，在垂直延伸之支撑条部之间具有弧形晶圆啮合部。弧形晶圆啮合部位于门之内表面上之一垂直延伸之中心凹槽中。晶圆衬垫于一对垂直延伸之加载接合部处在垂直延伸之支撑条部处紧固至门之内侧。各闩锁机构之闩锁尖端与垂直延伸之加载接合部垂直对齐。

122. 发明专利

TW201218408A 太陽能電池製程承載器 SOLAR CELL PROCESS CARRIER 审中-公开
简体标题：太阳能电池制程承载器 SOLAR CELL PROCESS CARRIER
公开(公告)号：TW201218408A
公开(公告)日：2012-05-01
申请号：TW100106876
申请日：2011-03-02
申请人：安堤格里斯公司
发明人：伯恩斯約翰 , 金傑夫瑞J
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/67309 , H01L21/67057 , H01L21/67313
摘要：一種用於將太陽能電池浸於製程流體中之太陽能電池製程承載器,該承載器包含一對端壁,複數個軌道延伸於該對端壁之間,該等軌道界定一太陽能電池容置區,各該軌道具有一基座部及複數個齒,該等齒係沿該基座部軸向地依序排列並自該基座部延伸出,各該齒上具有一電池接觸區域,且各該軌道更具有一用於增强各該電池接觸區域處之流體流量之構件。
简体摘要：一种用于将太阳能电池浸于制程流体中之太阳能电池制程承载器,该承载器包含一对端壁,复数个轨道延伸于该对端壁之间,该等轨道界定一太阳能电池容置区,各该轨道具有一基座部及复数个齿,该等齿系沿该基座部轴向地依序排列并自该基座部延伸出,各该齿上具有一电池接触区域,且各该轨道更具有一用于增强各该电池接触区域处之流体流量之构件。

123. 发明专利

TWI358742B 具有粒子收集構造之晶圓容器門 WAFER CONTAINER DOOR WITH PARTICULATE COLLECTING STRUCTURE 失效
简体标题：具有粒子收集构造之晶圆容器门 WAFER CONTAINER DOOR WITH PARTICULATE COLLECTING STRUCTURE
公开(公告)号：TWI358742B
公开(公告)日：2012-02-21
申请号：TW094112231
申请日：2005-04-18
申请人：安堤格里斯公司
发明人：大衛海柏梅爾
IPC分类号： H01L
摘要：一基板容器具有一外殼，該外殼具有用以插入與移出基板至外殼的內部內之出入開口，及組態成以選擇性地關閉該開口之門底板，該門底板包括一具有自其延伸的周邊壁之第一壁。基板容器包含一閂鎖機構，該機構可操作地耦接底板，閂鎖機構組態可操作地固著底板至開口。基板容器之門包含一網紋組織粒子捕捉區域，其中，由閂鎖機構及其他處所產生的粒子均由粒子捕捉區域所捕捉。
简体摘要：一基板容器具有一外壳，该外壳具有用以插入与移出基板至外壳的内部内之出入开口，及组态成以选择性地关闭该开口之门底板，该门底板包括一具有自其延伸的周边壁之第一壁。基板容器包含一闩锁机构，该机构可操作地耦接底板，闩锁机构组态可操作地固着底板至开口。基板容器之门包含一网纹组织粒子捕捉区域，其中，由闩锁机构及其他处所产生的粒子均由粒子捕捉区域所捕捉。

124. 发明专利

TW201136814A 用於微環境之可供滌洗氣穿透之多孔壁 POROUS BARRIER FOR EVENLY DISTRIBUTED PURGE GAS IN A MICROENVIRONMENT 审中-公开
简体标题：用于微环境之可供涤洗气穿透之多孔壁 POROUS BARRIER FOR EVENLY DISTRIBUTED PURGE GAS IN A MICROENVIRONMENT
公开(公告)号：TW201136814A
公开(公告)日：2011-11-01
申请号：TW099143212
申请日：2010-12-10
申请人：安堤格里斯公司
发明人：伯恩斯約翰 , 史密斯馬克 , 富勒馬修
IPC分类号： B65D
CPC分类号： H01L21/67393 , H01L21/67376
摘要：本發明提供一種藉由洗滌氣遞送將一微環境洗滌至所特定需之相對濕度水準、氧氣含量或微粒含量之裝置及方法，且該裝置及方法可使洗滌氣於均勻分布於微環境內。一基板容器中具有一塔，一流體流動通道延伸過該塔之長度。存在複數個孔，在複數個孔與流體流動通道之間具有一多孔媒介，該多孔媒介用以調節在每一孔處排放之空氣之體積及壓力。
简体摘要：本发明提供一种借由洗涤气递送将一微环境洗涤至所特定需之相对湿度水准、氧气含量或微粒含量之设备及方法，且该设备及方法可使洗涤气于均匀分布于微环境内。一基板容器中具有一塔，一流体流动信道延伸过该塔之长度。存在复数个孔，在复数个孔与流体流动信道之间具有一多孔媒介，该多孔媒介用以调节在每一孔处排放之空气之体积及压力。

125. 发明专利

TWI337160B 改良載入之具有齒狀設計之運送機 SHIPPER WITH TOOTH DESIGN FOR IMPROVED LOADING 有权
简体标题：改良加载之具有齿状设计之运送机 SHIPPER WITH TOOTH DESIGN FOR IMPROVED LOADING
公开(公告)号：TWI337160B
公开(公告)日：2011-02-11
申请号：TW093130539
申请日：2004-10-08
申请人：安堤格里斯公司
发明人：喬伊杜班胡 , 史蒂芬科爾鮑
IPC分类号： B65D
CPC分类号： G11B33/0444 , Y10S206/832
摘要：一種記憶碟片之運送機，包含具有一開放頂部與一開放底部之一卡匣，一上蓋以覆蓋該開放頂部，與一下蓋以覆蓋該底部。該主體部具有相對側壁與相對端壁。該兩側壁各具有一垂直上部及一向內收斂之底部。該側壁具有向內面對之延伸齒或間隔物以固定該基板呈垂直置放且成一間隔陣列。各齒係從該開放頂部連續至該開放底部且各齒在該側壁之垂直上部處具有一上垂直部且在該側壁之底部具有一收斂下部。各齒之收斂下部係跟隨該側壁底部之收斂。各齒之收斂下部係被設計以不同於在上部之齒的結構，該上部齒係提供以用於改良接收碟片的功能，以減少或消除在槽中碟片之不完全接收，如碟片因卡住或倚靠在齒上方而無法完全收容於槽中之情形。
简体摘要：一种记忆盘片之运送机，包含具有一开放顶部与一开放底部之一卡匣，一上盖以覆盖该开放顶部，与一下盖以覆盖该底部。该主体部具有相对侧壁与相对端壁。该两侧壁各具有一垂直上部及一向内收敛之底部。该侧壁具有向内面对之延伸齿或间隔物以固定该基板呈垂直置放且成一间隔数组。各齿系从该开放顶部连续至该开放底部且各齿在该侧壁之垂直上部处具有一上垂直部且在该侧壁之底部具有一收敛下部。各齿之收敛下部系跟随该侧壁底部之收敛。各齿之收敛下部系被设计以不同于在上部之齿的结构，该上部齿系提供以用于改良接收盘片的功能，以减少或消除在槽中盘片之不完全接收，如盘片因卡住或倚靠在齿上方而无法完全收容于槽中之情形。

126. 发明专利

TWI333924B 基板容器、自其上分散靜電之方法及其製造方法 SUBSTRATE CONTAINER, METHOD OF DISSIPATING STATIC ELECTRICITY THEREFROM, AND METHOD OF MAKING THE SAME 失效
简体标题：基板容器、自其上分散静电之方法及其制造方法 SUBSTRATE CONTAINER, METHOD OF DISSIPATING STATIC ELECTRICITY THEREFROM, AND METHOD OF MAKING THE SAME
公开(公告)号：TWI333924B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：TW093133978
申请日：2004-11-08
申请人：安堤格里斯公司
发明人：約翰伯恩斯 , 馬修富勒 , 傑佛里金 , 馬丁福布斯 , 馬克史密斯
IPC分类号： B65D
摘要：一種可分散靜電荷的基板載具，其具有由包覆成型(overmold)而在實質上一體成型之容器內的導電網格或網路。該網格係電性接連接於底部且接地之底座。該載具可更包括大致透明的側壁與導電支撐架，用以保持所儲存之大致在軸向對齊的基板。
简体摘要：一种可分散静电荷的基板载具，其具有由包复成型(overmold)而在实质上一体成型之容器内的导电网格或网络。该网格系电性接连接于底部且接地之底座。该载具可更包括大致透明的侧壁与导电支撑架，用以保持所存储之大致在轴向对齐的基板。

127. 发明专利

TW200948689A 晶圓容置箱及其製造方法 WAFER CONTAINER AND METHOD OF MANUFACTURE 审中-公开
简体标题：晶圆容置箱及其制造方法 WAFER CONTAINER AND METHOD OF MANUFACTURE
公开(公告)号：TW200948689A
公开(公告)日：2009-12-01
申请号：TW098100999
申请日：2009-01-13
申请人：安堤格里斯公司
发明人：格雷格森貝瑞 , 亞當斯麥克尚 , 史提芬斯傑森
IPC分类号： B65D
CPC分类号： B65D25/103 , B65D25/28 , B65D43/02 , B65D85/70 , H01L21/6732 , H01L21/67369 , H01L21/67383 , H01L21/67386 , H01L21/67763
摘要：本發明係關於一種用於大直徑晶圓之前開式半導體晶圓容置箱，包含一容置箱部及一門。該容置箱部包含一左閉合側面、一右閉合側面、一閉合背面、一開口正面、以及一開口內腔，該開口內腔包含複數狹槽，用於容納及容置該等晶圓。該門可附裝至該容置箱部以封閉該開口正面，並可選擇性地閂鎖至該容置箱部。該容置箱部包含用於容納大直徑晶圓、尤其450毫米晶圓之一裝置。本發明提供最佳化之馳垂控制以及增強之結構剛度及複數晶圓安放特徵。
简体摘要：本发明系关于一种用于大直径晶圆之前开式半导体晶圆容置箱，包含一容置箱部及一门。该容置箱部包含一左闭合侧面、一右闭合侧面、一闭合背面、一开口正面、以及一开口内腔，该开口内腔包含复数狭槽，用于容纳及容置该等晶圆。该门可附装至该容置箱部以封闭该开口正面，并可选择性地闩锁至该容置箱部。该容置箱部包含用于容纳大直径晶圆、尤其450毫米晶圆之一设备。本发明提供最优化之驰垂控制以及增强之结构刚度及复数晶圆安放特征。

128. 发明专利

TW200933779A 具有清潔條件感測功能之儲存櫃 STOCKER WITH PURGE CONDITION SENSING 审中-公开
简体标题：具有清洁条件传感功能之存储柜 STOCKER WITH PURGE CONDITION SENSING
公开(公告)号：TW200933779A
公开(公告)日：2009-08-01
申请号：TW097130976
申请日：2008-08-14
申请人：安堤格里斯公司 ENTEGRIS, INC.
发明人：威廉M 古德溫 GOODWIN, WILLIAM M. , 馬克C 費爾普斯 PHELPS, MARK C.
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/67253 , G03F1/66 , H01L21/67017 , H01L21/67353 , H01L21/67359 , H01L21/67393 , H01L21/67769
摘要：本發明提供一種用以保護光罩且具體而言用以提供清潔並感測及確認清潔流之方法、系統及組件。一用於光罩傳送盒且具有一清潔系統之儲存外殼具有一用於傳遞光罩傳送盒之自動化機械機構,該自動化機械機構包含一具一空氣流動感測器之握爪。該外殼包含用於容置該等光罩傳送盒之容座,各該容座具有作為該清潔系統之一部分之清潔出口,以於光罩傳送盒未放置於定位時排放清潔流並於已安放傳送盒時排放入光罩傳送盒。於放置光罩傳送盒於容座上之前,該握爪上之空氣流動感測器可確認並量測容座處之清潔流。
简体摘要：本发明提供一种用以保护光罩且具体而言用以提供清洁并传感及确认清洁流之方法、系统及组件。一用于光罩发送盒且具有一清洁系统之存储外壳具有一用于传递光罩发送盒之自动化机械机构,该自动化机械机构包含一具一空气流动传感器之握爪。该外壳包含用于容置该等光罩发送盒之容座,各该容座具有作为该清洁系统之一部分之清洁出口,以于光罩发送盒未放置于定位时排放清洁流并于已安放发送盒时排放入光罩发送盒。于放置光罩发送盒于容座上之前,该握爪上之空气流动传感器可确认并量测容座处之清洁流。

129. 发明专利

TW200930634A 施配流體之裝置及方法 METHOD AND APPARATUS FOR DISPENSING FLUIDS 审中-公开
简体标题：施配流体之设备及方法 METHOD AND APPARATUS FOR DISPENSING FLUIDS
公开(公告)号：TW200930634A
公开(公告)日：2009-07-16
申请号：TW097132898
申请日：2008-08-28
申请人：安堤格里斯公司 ENTEGRIS, INC.
发明人：約翰A 雷斯 LEYS, JOHN A. , 約翰M 翰能 HENNEN, JOHN M. , 麥克L 强森 JOHNSON, MICHAEL L.
IPC分类号： B65D , B67D
CPC分类号： B67D7/0255 , B65D83/0055 , B67D2001/0828 , Y10T29/49826
摘要：本發明提供一種瓶納袋總成(bag-in-bag-in-bottle assembly),其由具有一施配附件之一撓性施配容器形成。該施配容器被鄰設於一或多個撓性加壓容器或夾置於該一或多個撓性加壓容器之間,該一或多個撓性加壓容器具有穿過一第二附件之一單獨入口/出口路徑。然後可將袋納袋總成置於安裝有該等附件之一容置容器中,使得可於容器上接近該袋納袋總成。可藉由以足夠之壓力將一流體引入該一或多個加壓容器內以迫使液體經該施配附件流出,自該施配容器中提取液體。一經造型之施配頭可利用一凸輪致動配置耦合至該瓶納袋總成,以將加壓、排放及流體提取耦合件同時鎖定。可利用一鍵碼系統,其中對一通用鍵碼環加以修改而達成對容置容器之鍵編碼,使其僅與某些施配頭相容。
简体摘要：本发明提供一种瓶纳袋总成(bag-in-bag-in-bottle assembly),其由具有一施配附件之一挠性施配容器形成。该施配容器被邻设于一或多个挠性加压容器或夹置于该一或多个挠性加压容器之间,该一或多个挠性加压容器具有穿过一第二附件之一单独入口/出口路径。然后可将袋纳袋总成置于安装有该等附件之一容置容器中,使得可于容器上接近该袋纳袋总成。可借由以足够之压力将一流体引入该一或多个加压容器内以迫使液体经该施配附件流出,自该施配容器中提取液体。一经造型之施配头可利用一凸轮致动配置耦合至该瓶纳袋总成,以将加压、排放及流体提取耦合件同时锁定。可利用一键码系统,其中对一通用键码环加以修改而达成对容置容器之键编码,使其仅与某些施配头兼容。

130. 发明专利

TW200903180A 基材容器之清潔系統 PURGE SYSTEM FOR A SUBSTRATE CONTAINER 审中-公开
简体标题：基材容器之清洁系统 PURGE SYSTEM FOR A SUBSTRATE CONTAINER
公开(公告)号：TW200903180A
公开(公告)日：2009-01-16
申请号：TW097106970
申请日：2008-02-29
申请人：安堤格里斯公司 ENTEGRIS, INC.
发明人：安東尼馬修斯泰班 TIEBEN, ANTHONY MATHIUS , 大衛L 哈布麥爾 HALBMAIER, DAVID L. , 史提芬P 科爾包 KOLBOW, STEVEN P.
IPC分类号： G03F , B65D , B08B , C25F
CPC分类号： H01L21/67353 , H01L21/67017 , H01L21/67359 , H01L21/67386 , H01L21/67393 , Y10S414/14
摘要：本發明提供一種具有一基材容器容置區之清潔站(purging station),其具有至少一朝上延伸之清潔噴嘴(purging nozzle)。該噴嘴具有一圓形嚙合唇緣。該基材容器具有用於至少一基材之支撐裝置以及一清潔埠總成,該清潔埠總成包含一自該容器朝下之朝外密封凸緣。該密封凸緣具有一中央孔及一懸臂式凸緣部,該懸臂式凸緣部嚙合該噴嘴之該圓形嚙合唇緣。該凸緣之懸臂部所承載的作用於於該噴嘴上之基材容器重量使該凸緣彎曲,藉以達成一彈性軟密封。
简体摘要：本发明提供一种具有一基材容器容置区之清洁站(purging station),其具有至少一朝上延伸之清洁喷嘴(purging nozzle)。该喷嘴具有一圆形啮合唇缘。该基材容器具有用于至少一基材之支撑设备以及一清洁端口总成,该清洁端口总成包含一自该容器朝下之朝外密封凸缘。该密封凸缘具有一中央孔及一悬臂式凸缘部,该悬臂式凸缘部啮合该喷嘴之该圆形啮合唇缘。该凸缘之悬臂部所承载的作用于于该喷嘴上之基材容器重量使该凸缘弯曲,借以达成一弹性软密封。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式