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111. 发明专利

TWI576678B 壓力式流量控制裝置有权
简体标题：压力式流量控制设备
公开(公告)号：TWI576678B
公开(公告)日：2017-04-01
申请号：TW104123257
申请日：2015-07-17
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G05D7/03
CPC分类号： G05D7/0635

112. 发明专利

TW201632841A 液面偵測電路、液面計、具備其之容器、及使用該容器的汽化器审中-公开
简体标题：液面侦测电路、液面计、具备其之容器、及使用该容器的汽化器
公开(公告)号：TW201632841A
公开(公告)日：2016-09-16
申请号：TW104140166
申请日：2015-12-01
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：平田薰 , HIRATA, KAORU , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 日高敦志 , HIDAKA, ATSUSHI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G01F23/22
CPC分类号： G01F23/246 , G01F23/241 , G01F23/243
摘要：關於本發明的液面計(30)係具備第1電阻測溫體(R11)、配置於第1電阻測溫體的附近的第1溫度測定體(R12)、及根據第1電阻測溫體及第1溫度測定體的溫度，偵測液面的位置的液面偵測部(39)，更具備：檢測出第1電阻測溫體及第1溫度測定體的溫度的溫度檢測部(37)、以藉由溫度檢測部所檢測出之第1電阻測溫體的溫度與第1溫度測定體的溫度的差成為第1一定值之方式，決定施加於第1電阻測溫體的電流值的電流控制部(38)、及將決定之電流值的電流，施加於第1電阻測溫體的電源部(32)，液面偵測部，係使用施加於第1電阻測溫體的電流值，判定第1電阻測溫體是存在於液體中，或存在於液體外。藉此，可不受到周圍溫度的影響而進行液面的檢測，以定溫度差進行溫度控制，故不會對電阻測溫體施加必要以上的電力，可謀求長壽命化。
简体摘要：关于本发明的液面计(30)系具备第1电阻测温体(R11)、配置于第1电阻测温体的附近的第1温度测定体(R12)、及根据第1电阻测温体及第1温度测定体的温度，侦测液面的位置的液面侦测部(39)，更具备：检测出第1电阻测温体及第1温度测定体的温度的温度检测部(37)、以借由温度检测部所检测出之第1电阻测温体的温度与第1温度测定体的温度的差成为第1一定值之方式，决定施加于第1电阻测温体的电流值的电流控制部(38)、及将决定之电流值的电流，施加于第1电阻测温体的电源部(32)，液面侦测部，系使用施加于第1电阻测温体的电流值，判定第1电阻测温体是存在于液体中，或存在于液体外。借此，可不受到周围温度的影响而进行液面的检测，以定温度差进行温度控制，故不会对电阻测温体施加必要以上的电力，可谋求长寿命化。

113. 发明专利

TWI548826B 自動閥用開度檢測裝置有权
简体标题：自动阀用开度检测设备
公开(公告)号：TWI548826B
公开(公告)日：2016-09-11
申请号：TW100143044
申请日：2011-11-24
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 富田厚男 , TOMITA, ATSUO , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： F16K37/00
CPC分类号： F16K37/0041 , F16K31/1221 , F16K37/00 , F16K37/0083 , Y10T137/8158 , Y10T137/8242

114. 发明专利

TW201631299A 液面計及液體原料氣化供給裝置审中-公开
简体标题：液面计及液体原料气化供给设备
公开(公告)号：TW201631299A
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：TW104137016
申请日：2015-11-10
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：日高敦志 , HIDAKA, ATSUSHI , 永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 山下哲 , YAMASHITA, SATORU , 平尾圭志 , HIRAO, KEIJI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G01F23/22 , C23C16/455 , B01J4/00 , H01L21/31
CPC分类号： C23C16/45561 , B01J4/00 , C23C16/448 , C23C16/4481 , G01F23/22 , G01F23/247 , G01F23/26 , H01L21/31 , H01L21/67248
摘要：提供可在由液相切換成氣相的感測時間減少流量依存性，並且縮短感測時間的液面計及液體原料氣化供給裝置。具備有：貯留液體原料的腔室(2)；收容有用以感測腔室(2)內的液面(L1)的測溫電阻體的至少一支保護管(3)；及控制由腔室(2)流出的氣體流量來進行供給的流量控制裝置(4)，保護管(3)以水平方向被插入在腔室(2)的側壁(2a)而予以固定。
简体摘要：提供可在由液相切换成气相的传感时间减少流量依存性，并且缩短传感时间的液面计及液体原料气化供给设备。具备有：贮留液体原料的腔室(2)；收容有用以传感腔室(2)内的液面(L1)的测温电阻体的至少一支保护管(3)；及控制由腔室(2)流出的气体流量来进行供给的流量控制设备(4)，保护管(3)以水平方向被插入在腔室(2)的侧壁(2a)而予以固定。

115. 发明专利

TWI534577B 壓力式流量控制裝置有权
简体标题：压力式流量控制设备
公开(公告)号：TWI534577B
公开(公告)日：2016-05-21
申请号：TW103136633
申请日：2014-10-23
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：平田薰 , HIRATA, KAORU , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , F16K7/14 , F16K31/004

116. 发明专利

TW201610414A 內嵌型濃度測量裝置审中-公开
简体标题：内嵌型浓度测量设备
公开(公告)号：TW201610414A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：TW104124254
申请日：2015-07-27
申请人：國立大學法人德島大學 , TOKUSHIMA UNIVERSITY , 富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：出口祥啓 , DEGUCHI, YOSHIHIRO , 永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 山路道雄 , YAMAJI, MICHIO , 薬師神忠幸 , YAKUSHIJIN, TADAYUKI
IPC分类号： G01N21/31
CPC分类号： G01N21/27 , G01N21/05 , G01N21/15 , G01N2021/151 , G01N2201/08
摘要： [課題] 提供一種內嵌型濃度測量裝置，可以將光入射部附近的氣體滯留部縮小或是消除，將朝有機金屬材料的光入射部的堆積減少。 [技術內容] 具備：形成有氣體流路(5)的測量單元本體(15)、及與測量單元本體(15)連接且具備窗材(4)的光入射部(3)、及與測量單元本體(15)連接且具備窗材(6)的受光部(8)，氣體流路(5)，是具備：在光入射部(3)的窗材(4)及受光部(8)的窗材(6)之間形成直線狀而成為光路的光路用氣體流路部(5a)、及從形成於測量單元本體(15)的氣體流入口(5B1)連通至光路用氣體流路部(5a)的第一連通部(5B)、及從形成於測量單元本體(15)的氣體流出口(5C)連通至光路用氣體流路部(5a)的第二連通部(5C)，第一連通部(5B)是從氣體流入口(5B1)朝向光入射部(3)的窗材(4)傾斜延伸。
简体摘要： [课题] 提供一种内嵌型浓度测量设备，可以将光入射部附近的气体滞留部缩小或是消除，将朝有机金属材料的光入射部的堆积减少。 [技术内容] 具备：形成有气体流路(5)的测量单元本体(15)、及与测量单元本体(15)连接且具备窗材(4)的光入射部(3)、及与测量单元本体(15)连接且具备窗材(6)的受光部(8)，气体流路(5)，是具备：在光入射部(3)的窗材(4)及受光部(8)的窗材(6)之间形成直线状而成为光路的光路用气体流路部(5a)、及从形成于测量单元本体(15)的气体流入口(5B1)连通至光路用气体流路部(5a)的第一连通部(5B)、及从形成于测量单元本体(15)的气体流出口(5C)连通至光路用气体流路部(5a)的第二连通部(5C)，第一连通部(5B)是从气体流入口(5B1)朝向光入射部(3)的窗材(4)倾斜延伸。

117. 发明专利

TWI505386B 半導體製造裝置之氣體分流供給裝置有权
简体标题：半导体制造设备之气体分流供给设备
公开(公告)号：TWI505386B
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：TW101140130
申请日：2012-10-30
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 森崎和之 , MORISAKI, KAZUYUKI
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： G05D7/0641 , G05D7/0664 , Y10T137/2544

118. 发明专利

TW201537146A 流路密封構造审中-公开
简体标题：流路密封构造
公开(公告)号：TW201537146A
公开(公告)日：2015-10-01
申请号：TW103145512
申请日：2014-12-25
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 安本直史 , YASUMOTO, NAOFUMI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G01F1/40 , G05D7/06
CPC分类号： F16L15/008 , F16L55/027 , G01F1/42 , G01F15/005 , G05D7/0635
摘要：可省略將孔口板或過濾板利用熔接、填隙來固定在作為母材之孔口座或過濾器座的步驟，而能謀求更加小型化。本發明的流路密封構造，係具備：本體塊(1)，形成有本體流路(1a、1b)；凹部(12，13)，形成於本體塊(1)的側面，且在內周面形成有雌螺紋；薄板(6，8)，抵接於前述凹部之深處且形成有通孔；墊圈(16，17)，抵接於薄板(6，8)；按壓配管(20，21)，具有可與本體流路1a，1b連通之內部流路及擴徑部，且抵接於前述墊圈；以及緊固螺絲(22)，外插於前述按壓配管且旋入於前述雌螺紋，抵接於前述擴徑部而將前述按壓配管緊壓。
简体摘要：可省略将孔口板或过滤板利用熔接、填隙来固定在作为母材之孔口座或过滤器座的步骤，而能谋求更加小型化。本发明的流路密封构造，系具备：本体块(1)，形成有本体流路(1a、1b)；凹部(12，13)，形成于本体块(1)的侧面，且在内周面形成有雌螺纹；薄板(6，8)，抵接于前述凹部之深处且形成有通孔；垫圈(16，17)，抵接于薄板(6，8)；按压配管(20，21)，具有可与本体流路1a，1b连通之内部流路及扩径部，且抵接于前述垫圈；以及紧固螺丝(22)，外插于前述按压配管且旋入于前述雌螺纹，抵接于前述扩径部而将前述按压配管紧压。

119. 发明专利

TWI497248B 氣體分流供給裝置及使用其之氣體分流供給方法有权
简体标题：气体分流供给设备及使用其之气体分流供给方法
公开(公告)号：TWI497248B
公开(公告)日：2015-08-21
申请号：TW102102889
申请日：2013-01-25
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 西野功二 , NISHINO, KOUJI
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0641 , G05D7/0664 , Y10T137/0368 , Y10T137/776

120. 发明专利

TW201531668A 流量計及具備該流量計的流量控制裝置审中-公开
简体标题：流量计及具备该流量计的流量控制设备
公开(公告)号：TW201531668A
公开(公告)日：2015-08-16
申请号：TW103137005
申请日：2014-10-27
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 日高敦志 , HIDAKA, ATSUSHI , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI
IPC分类号： G01F1/34 , G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0647 , F16K31/004 , F16K31/06 , G01F1/34 , G01F1/363 , G01F1/42 , G01F1/6847 , G01F15/002 , G01F15/005 , G01F15/04
摘要：本發明提供一種：有效地利用壓力式流量控制部所具備的高耐壓力變動特性，藉由將衰減式流量監測部組合於壓力式流量控制部的上游側，執行趨近於即時(real time)的流量監測，並藉由可對應於流量區域來切換監測流量，而能擴大監測流量範圍與提升監測精確度和流量控制之精確度之具有流量範圍切換型流量監測器的壓力式流量控制裝置。本發明，是由「設於上游側的衰減式流量監測部BDM」、和「設於其下游側的壓力式流量控制部FCS」、和「連結衰減式流量監測部BDM與壓力式流量控制部FCS，將衰減式流量監測部BDM的監測流量Q朝壓力式流量控制部FCS傳送的訊號傳送迴路CT」、及「設於壓力式流量控制部FCS，根據來自於前述衰減式流量監測部BDM的監測流量Q，調整壓力式流量控制部FCS之設定流量Qs的流量設定值調整機構QSR」所構成之具有衰減式流量監測器的壓力式流量控制裝置，前述衰減式流量監測部BDM的監測流量演算控制部CPb形成：當大流量時，使前述出口側開閉切換閥PV2保持開放狀態，並將入口側開閉切換閥PV1的出口側與流量控制部FCS的控制閥CV之間的氣體通路內容積，作為衰減容積而演算大監測流量Q1，此外，當小流量時，使入口側開閉切換閥PV1保持開放狀態，並將出口側開閉切換閥PV2的出口側與流量控制部FCS的控制閥CV之間的氣體通路內容積而演算小監測流量Q2的構造。
简体摘要：本发明提供一种：有效地利用压力式流量控制部所具备的高耐压力变动特性，借由将衰减式流量监测部组合于压力式流量控制部的上游侧，运行趋近于实时(real time)的流量监测，并借由可对应于流量区域来切换监测流量，而能扩大监测流量范围与提升监测精确度和流量控制之精确度之具有流量范围切换型流量监测器的压力式流量控制设备。本发明，是由“设于上游侧的衰减式流量监测部BDM”、和“设于其下游侧的压力式流量控制部FCS”、和“链接衰减式流量监测部BDM与压力式流量控制部FCS，将衰减式流量监测部BDM的监测流量Q朝压力式流量控制部FCS发送的信号发送回路CT”、及“设于压力式流量控制部FCS，根据来自于前述衰减式流量监测部BDM的监测流量Q，调整压力式流量控制部FCS之设置流量Qs的流量设置值调整机构QSR”所构成之具有衰减式流量监测器的压力式流量控制设备，前述衰减式流量监测部BDM的监测流量演算控制部CPb形成：当大流量时，使前述出口侧开闭切换阀PV2保持开放状态，并将入口侧开闭切换阀PV1的出口侧与流量控制部FCS的控制阀CV之间的气体通路内容积，作为衰减容积而演算大监测流量Q1，此外，当小流量时，使入口侧开闭切换阀PV1保持开放状态，并将出口侧开闭切换阀PV2的出口侧与流量控制部FCS的控制阀CV之间的气体通路内容积而演算小监测流量Q2的构造。

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