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91. 发明专利

TW201600207A 接合裝置审中-公开
简体标题：接合设备
公开(公告)号：TW201600207A
公开(公告)日：2016-01-01
申请号：TW104114731
申请日：2015-05-08
申请人：華祥股份有限公司 , KAIJO CORPORATION
发明人：杉藤哲郎 , SUGITO, AKIO
IPC分类号： B23K20/10 , H01L21/60
CPC分类号： H01L24/78 , B23K20/005 , B23K20/02 , B23K20/106 , H01L2224/45015 , H01L2224/45099 , H01L2224/78301 , H01L2224/78349 , H01L2224/78824 , H01L2224/78901 , H01L2924/00014 , H01L2924/207 , H01L2224/05599
摘要：本發明提供一種接合裝置，於將形成於導線的前端部的球形體伴隨著摩擦振動而按壓接合於半導體晶片的電極時，可自如地控制瓷嘴前端部。接合裝置包括振動驅動部7，且振動驅動部7包括：多個壓電元件10，一端固定於接合臂3的前端部，且沿著接合臂3的軸向而伸縮；多個瓷嘴保持部15，分別固定於多個壓電元件10的各者的另一端，且接觸於瓷嘴20的基端側周面；以及按壓保持部21，至少一端側固定於接合臂3，另一端側接觸於瓷嘴20的基端側周面的與瓷嘴保持部15為相反側，將瓷嘴20按壓並夾持於多個瓷嘴保持部15，其中多個壓電元件對於向各壓電元件的驅動電壓波形施加振幅、相位、頻率或波形的函數性的操作。
简体摘要：本发明提供一种接合设备，于将形成于导线的前端部的球形体伴随着摩擦振动而按压接合于半导体芯片的电极时，可自如地控制瓷嘴前端部。接合设备包括振动驱动部7，且振动驱动部7包括：多个压电组件10，一端固定于接合臂3的前端部，且沿着接合臂3的轴向而伸缩；多个瓷嘴保持部15，分别固定于多个压电组件10的各者的另一端，且接触于瓷嘴20的基端侧周面；以及按压保持部21，至少一端侧固定于接合臂3，另一端侧接触于瓷嘴20的基端侧周面的与瓷嘴保持部15为相反侧，将瓷嘴20按压并夹持于多个瓷嘴保持部15，其中多个压电组件对于向各压电组件的驱动电压波形施加振幅、相位、频率或波形的函数性的操作。

92. 发明专利

TWI500093B 氧化防止氣體吹送單元有权
简体标题：氧化防止气体吹送单元
公开(公告)号：TWI500093B
公开(公告)日：2015-09-11
申请号：TW101148619
申请日：2012-12-20
申请人：新川股份有限公司 , SHINKAWA LTD.
发明人：前田徹 , MAEDA, TORU , 坂倉光昭 , SAKAKURA, MITSUAKI
IPC分类号： H01L21/60
CPC分类号： B23K20/007 , B23K9/16 , B23K20/005 , B23K37/00 , H01L24/45 , H01L24/78 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/781 , H01L2224/78268 , H01L2224/78301 , H01L2224/85045 , H01L2224/85054 , H01L2924/00014 , H01L2924/00015 , Y10T137/6416 , H01L2224/48

93. 发明专利

TW201533819A 半導體裝置的製造方法以及打線裝置审中-公开
简体标题：半导体设备的制造方法以及打线设备
公开(公告)号：TW201533819A
公开(公告)日：2015-09-01
申请号：TW103144201
申请日：2014-12-18
申请人：新川股份有限公司 , SHINKAWA LTD.
发明人：萩原美仁 , HAGIWARA, YOSHIHITO , 高橋信夫 , TAKAHASHI, NOBUO
IPC分类号： H01L21/603 , H01L21/67
CPC分类号： H01L24/78 , B23K20/005 , H01L24/48 , H01L24/85 , H01L2224/48095 , H01L2224/48227 , H01L2224/48472 , H01L2224/78301 , H01L2224/78353 , H01L2224/7855 , H01L2224/85181 , H01L2224/85205 , H01L2224/85947 , H01L2924/00014 , H01L2924/00 , H01L2224/45015 , H01L2924/207 , H01L2224/45099
摘要：本發明可簡便且有效率地將導線尾部整形為規定形狀。半導體裝置的製造方法包括：導線尾部接觸步驟，使導線尾部43自前端外延的接合工具40下降而使導線尾部43的前端接觸於半導體裝置100的接合面；導線尾部彎曲步驟，使接合工具40向與該接合工具40的軸方向(Z方向)交叉的方向移動，一面使導線尾部43的前端43a接觸於接合面一面使導線尾部43彎曲；第1接合步驟，使接合工具40下降並於第1接合點對導線尾部43的一部分加壓，並且以導線尾部43的前端43a朝向上方的方式將導線尾部43整形為規定形狀；導線成圈步驟，一面抽出導線43，一面使接合工具40移動而使導線42外延為規定形狀；第2接合步驟，使接合工具40下降並於第2接合點對導線42的一部分加壓；以及導線切斷步驟，以使導線42的一部分自接合工具40的前端外延的方式將導線42切斷。
简体摘要：本发明可简便且有效率地将导线尾部整形为规定形状。半导体设备的制造方法包括：导线尾部接触步骤，使导线尾部43自前端外延的接合工具40下降而使导线尾部43的前端接触于半导体设备100的接合面；导线尾部弯曲步骤，使接合工具40向与该接合工具40的轴方向(Z方向)交叉的方向移动，一面使导线尾部43的前端43a接触于接合面一面使导线尾部43弯曲；第1接合步骤，使接合工具40下降并于第1接合点对导线尾部43的一部分加压，并且以导线尾部43的前端43a朝向上方的方式将导线尾部43整形为规定形状；导线成圈步骤，一面抽出导线43，一面使接合工具40移动而使导线42外延为规定形状；第2接合步骤，使接合工具40下降并于第2接合点对导线42的一部分加压；以及导线切断步骤，以使导线42的一部分自接合工具40的前端外延的方式将导线42切断。

94. 发明专利

TW201528395A 在線接合操作中之短尾恢復技術审中-公开
简体标题：在线接合操作中之短尾恢复技术
公开(公告)号：TW201528395A
公开(公告)日：2015-07-16
申请号：TW104101243
申请日：2015-01-14
申请人：庫利克和索夫工業公司 , KULICKE AND SOFFA INDUSTRIES, INC.
发明人：吉洛帝蓋瑞S , GILLOTTI, GARY S.
IPC分类号： H01L21/60
CPC分类号： H01L22/12 , B23K20/004 , B23K20/005 , B23K20/007 , H01L22/14 , H01L24/48 , H01L24/78 , H01L24/85 , H01L2224/32225 , H01L2224/48227 , H01L2224/4845 , H01L2224/48465 , H01L2224/73265 , H01L2224/78301 , H01L2224/78821 , H01L2224/789 , H01L2224/85009 , H01L2224/85045 , H01L2224/851 , H01L2224/85181 , H01L2224/85203 , H01L2224/85205 , H01L2224/85207 , H01L2224/85365 , H01L2224/859 , H01L2924/00014 , H01L2224/45099 , H01L2924/00
摘要：提供一種線材接合機的操作方法。該方法包括：在線材接合部形成之後檢測短尾情況；將線材接合機的接合頭組件設置在線材接合機的xy位置處；使接合頭組件朝向位於xy位置處的接觸表面下降；打開線材夾；使接合頭元件減速，從而使得線材的一部分延伸到線材接合工具的末端下方；閉合線材夾；以及執行測試，以確認線材延伸到線材接合工具的末端下方的端部是否與接觸表面接觸。
简体摘要：提供一种线材接合机的操作方法。该方法包括：在线材接合部形成之后检测短尾情况；将线材接合机的接合头组件设置在线材接合机的xy位置处；使接合头组件朝向位于xy位置处的接触表面下降；打开线材夹；使接合头组件减速，从而使得线材的一部分延伸到线材接合工具的末端下方；闭合线材夹；以及运行测试，以确认线材延伸到线材接合工具的末端下方的端部是否与接触表面接触。

95. 发明专利

TW201236092A 連續引線接合 CONTINUOUS WIRE BONDING 审中-公开
简体标题：连续引线接合 CONTINUOUS WIRE BONDING
公开(公告)号：TW201236092A
公开(公告)日：2012-09-01
申请号：TW100130795
申请日：2011-08-26
申请人：晟碟半導體(上海)有限公司 , 晟碟信息技術(上海)有限公司
发明人：呂忠 , 余芬 , 邱進添 , 俞志明 , 肖富強
IPC分类号： H01L
CPC分类号： B23K20/005 , H01L24/05 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/49 , H01L24/78 , H01L24/85 , H01L25/0657 , H01L2224/04042 , H01L2224/05073 , H01L2224/05124 , H01L2224/05554 , H01L2224/05624 , H01L2224/05644 , H01L2224/45015 , H01L2224/45124 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/48091 , H01L2224/48147 , H01L2224/48227 , H01L2224/48247 , H01L2224/48465 , H01L2224/48479 , H01L2224/48499 , H01L2224/48624 , H01L2224/48644 , H01L2224/48724 , H01L2224/48844 , H01L2224/49175 , H01L2224/78301 , H01L2224/85051 , H01L2224/85181 , H01L2224/85205 , H01L2224/85986 , H01L2225/06506 , H01L2225/0651 , H01L2225/06562 , H01L2924/00014 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01057 , H01L2924/01074 , H01L2924/01079 , H01L2924/20105 , H01L2924/00 , H01L2224/48824 , H01L2224/48744 , H01L2924/00015 , H01L2924/01202 , H01L2924/01203 , H01L2224/4554
摘要：本發明揭示一種用於一半導體器件之引線接合結構。該引線接合結構包含：一接合墊；一導電凸塊，其安置於該接合墊上，該導電凸塊包括一凹面頂表面；及一段連續引線，該段連續引線與該導電凸塊之該凹面頂表面相互擴散。該引線電耦接該接合墊與一第一電接點及一不同於該第一電接點之第二電接點。
简体摘要：本发明揭示一种用于一半导体器件之引线接合结构。该引线接合结构包含：一接合垫；一导电凸块，其安置于该接合垫上，该导电凸块包括一凹面顶表面；及一段连续引线，该段连续引线与该导电凸块之该凹面顶表面相互扩散。该引线电耦接该接合垫与一第一电接点及一不同于该第一电接点之第二电接点。

96. 发明专利

TW201132439A 用於導線鍵合機的自動導線進給系統 AUTOMATIC WIRE FEEDING SYSTEM FOR WIRE BONDERS 审中-公开
简体标题：用于导线键合机的自动导线进给系统 AUTOMATIC WIRE FEEDING SYSTEM FOR WIRE BONDERS
公开(公告)号：TW201132439A
公开(公告)日：2011-10-01
申请号：TW099134652
申请日：2010-10-12
申请人：先進科技新加坡有限公司
发明人：張悅 , 宋景燿 , 陳小亮
IPC分类号： B23K , H01L
CPC分类号： B23K20/005 , B23K2201/42 , H01L24/45 , H01L24/78 , H01L24/85 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/48463 , H01L2224/78301 , H01L2224/786 , H01L2224/851 , H01L2224/85205 , H01L2924/00014 , H01L2924/01005 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2224/48 , H01L2924/00015 , H01L2924/00
摘要：本發明公開了使用氣動設備將導線進給到導線鍵合機的鍵合工具，該氣動設備用於促使導線通過氣動設備的出口朝向鍵合工具進給；導線夾具，其相鄰於氣動設備的出口設置；以及具有孔洞的導線引導器，其位於該導線夾具和鍵合工具之間並相鄰於導線夾具設置，以在導線被進給到鍵合工具以前通過該孔洞穿越導線。
简体摘要：本发明公开了使用气动设备将导线进给到导线键合机的键合工具，该气动设备用于促使导线通过气动设备的出口朝向键合工具进给；导线夹具，其相邻于气动设备的出口设置；以及具有孔洞的导线引导器，其位于该导线夹具和键合工具之间并相邻于导线夹具设置，以在导线被进给到键合工具以前通过该孔洞穿越导线。

97. 发明专利

TWI330873B 打線裝置失效
简体标题：打线设备
公开(公告)号：TWI330873B
公开(公告)日：2010-09-21
申请号：TW093139083
申请日：2004-12-16
申请人：新川股份有限公司
发明人：近藤豐
IPC分类号： H01L
CPC分类号： B23K20/106 , B23K20/005 , H01L24/78 , H01L2224/78301 , H01L2924/00014 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01033 , H01L2224/48 , H01L2224/45099
摘要：不須自裝置卸下銲頭，即能進行壓電元件的預壓調整及壓電元件的更換，俾謀求維修性的提高。
為在銲頭1的軸線方向使銲針3振動，將壓電元件4裝入銲頭1的銲針安裝部附近。供施加預壓於壓電元件4的預壓施加機構係具備：配設於壓電元件4後方的二個楔狀安裝座5、6、以及自銲頭1的外周螺合於楔狀安裝座6的預壓用螺栓7；利用預壓用螺栓7的旋轉，使楔狀安裝座5在銲頭1的軸線方向移動，藉以施加預壓於壓電元件4。
简体摘要：不须自设备卸下焊头，即能进行压电组件的预压调整及压电组件的更换，俾谋求维修性的提高。为在焊头1的轴线方向使焊针3振动，将压电组件4装入焊头1的焊针安装部附近。供施加预压于压电组件4的预压施加机构系具备：配设于压电组件4后方的二个楔状安装座5、6、以及自焊头1的外周螺合于楔状安装座6的预压用螺栓7；利用预压用螺栓7的旋转，使楔状安装座5在焊头1的轴线方向移动，借以施加预压于压电组件4。

98. 发明专利

TW201011844A 接合方法、接合裝置及製造方法审中-公开
简体标题：接合方法、接合设备及制造方法
公开(公告)号：TW201011844A
公开(公告)日：2010-03-16
申请号：TW098104630
申请日：2009-02-13
申请人：新川股份有限公司
发明人：青柳伸幸 , 吉野浩章
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L24/85 , B23K20/005 , B23K20/10 , H01L24/48 , H01L24/78 , H01L2224/32014 , H01L2224/451 , H01L2224/48091 , H01L2224/48225 , H01L2224/48227 , H01L2224/48245 , H01L2224/48247 , H01L2224/48465 , H01L2224/73265 , H01L2224/78301 , H01L2224/78823 , H01L2224/789 , H01L2224/85181 , H01L2224/85205 , H01L2224/859 , H01L2924/00014 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01058 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/3511 , H01L2924/00 , H01L2224/45099 , H01L2924/00015 , H01L2224/05599
摘要：以高速形成均勻之環。接合裝置1，使毛細管5下降至接合位置，將初始球10接合於懸臂式晶粒100之焊墊104，此時，於每一既定時間，檢測毛細管5於Z軸方向之位置，且檢測負載感測器7所檢測之負載並加以儲存。接著，參照所儲存之作用於毛細管5之負載、與毛細管5之位置，檢測負載變化點，從於該負載變化點之毛細管5之負載變化位置減去接合位置，以算出自負載變化位置至接合位置之毛細管5之移動量Z。接著，使毛細管5上升此算出之移動量Z後，使金屬線環形成於焊墊104與引腳105間。
简体摘要：以高速形成均匀之环。接合设备1，使毛细管5下降至接合位置，将初始球10接合于悬臂式晶粒100之焊垫104，此时，于每一既定时间，检测毛细管5于Z轴方向之位置，且检测负载传感器7所检测之负载并加以存储。接着，参照所存储之作用于毛细管5之负载、与毛细管5之位置，检测负载变化点，从于该负载变化点之毛细管5之负载变化位置减去接合位置，以算出自负载变化位置至接合位置之毛细管5之移动量Z。接着，使毛细管5上升此算出之移动量Z后，使金属线环形成于焊垫104与引脚105间。

99. 发明专利

TW200939372A 用於打線接合之方法與裝置 METHOD AND DEVICE FOR WIRE BONDING 审中-公开
简体标题：用于打线接合之方法与设备 METHOD AND DEVICE FOR WIRE BONDING
公开(公告)号：TW200939372A
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：TW097146529
申请日：2008-11-28
申请人：林德股份公司 LINDE AG
发明人：恩斯特旺可 WANDKE, ERNST , 克里斯多夫羅曼 LAUMEN, CHRISTOPH , 裴潘林 HIEW, PANG LING , 陳邦 TAN, BOON ANN
IPC分类号： H01L , B23K
CPC分类号： B23K20/005 , B23K2201/42 , H01L21/67138 , H01L24/45 , H01L24/78 , H01L24/85 , H01L2224/45124 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/78268 , H01L2224/78301 , H01L2224/85013 , H01L2224/85043 , H01L2224/85045 , H01L2924/00014 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01007 , H01L2924/01013 , H01L2924/01018 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/3025 , H01L2224/48 , H01L2924/00015
摘要：本發明係關於一種用於打線接合之裝置,其藉助一含銅接合線(2)進行打線結合以將一組件(9)連接至一支撐件(7),其中在所有情形下在組件(9)上以及在支撐件(7)上提供至少一個接合墊(4),該用於打線結合之裝置囊括一用於該接合線之引導器(1)及一用於熔化一接合線(2)之一經提供用於一至該等接合墊(4)中之一者之連接之部分之裝置(3),其中以如下方式體現該用於該接合線(2)之引導器(1),在所有情形下該接合線(2)之該已熔化部分在一接合室(5)中與至少一個接合墊(4)接觸,其特徵在於:提供至少一個電漿噴嘴(6),在其幫助下,一電漿可作用於該接合線(2)之該經提供用於該至該接合墊(4)之連接之部分及/或該接合墊(4)及/或該接合室(5)上。此外,本發明係關於一種用於打線接合之方法。
简体摘要：本发明系关于一种用于打线接合之设备,其借助一含铜接合线(2)进行打线结合以将一组件(9)连接至一支撑件(7),其中在所有情形下在组件(9)上以及在支撑件(7)上提供至少一个接合垫(4),该用于打线结合之设备囊括一用于该接合线之引导器(1)及一用于熔化一接合线(2)之一经提供用于一至该等接合垫(4)中之一者之连接之部分之设备(3),其中以如下方式体现该用于该接合线(2)之引导器(1),在所有情形下该接合线(2)之该已熔化部分在一接合室(5)中与至少一个接合垫(4)接触,其特征在于:提供至少一个等离子喷嘴(6),在其帮助下,一等离子可作用于该接合线(2)之该经提供用于该至该接合垫(4)之连接之部分及/或该接合垫(4)及/或该接合室(5)上。此外,本发明系关于一种用于打线接合之方法。

100. 发明专利

TWI307131B 用於導線銲接裝置之兩步驟高瓶頸式毛細管 TWO-STEP HIGH BOTTLENECK TYPE CAPILLARY FOR WIRE BONDING DEVICE 失效
简体标题：用于导线焊接设备之两步骤高瓶颈式毛细管 TWO-STEP HIGH BOTTLENECK TYPE CAPILLARY FOR WIRE BONDING DEVICE
公开(公告)号：TWI307131B
公开(公告)日：2009-03-01
申请号：TW095102247
申请日：2006-01-20
申请人：李正求 LEE, JUNG KU
发明人：李正求 LEE, JUNG KU , 成賢範 SUNG, HYUN BUM , 李海寶 LEE, HAE BAL , 文正洙 MOON, JUNG JU , 李康永 LEE, KANG YONG
IPC分类号： H01L , B23K
CPC分类号： B23K20/005 , H01L24/48 , H01L24/78 , H01L24/85 , H01L2224/48091 , H01L2224/48225 , H01L2224/48227 , H01L2224/48463 , H01L2224/78302 , H01L2224/85045 , H01L2224/85203 , H01L2224/85205 , H01L2924/00014 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01019 , H01L2924/01033 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/14 , H01L2224/45099 , H01L2224/05599 , H01L2924/00
摘要：本發明教示一種用於導線銲接裝置之兩階段高瓶頸型毛細管,其包含具有起自該毛細管末端的大約1.5-5.0毫米的高度和10-15�之尖細形狀。該毛細管包含有一直線部分;一從該毛細管末端延伸至一第一階段之具有8-12�的尖細形狀的第一瓶頸部分,該第一瓶頸部分具有從該毛細管末端至第一階段之為0.1-0.5毫米的第一高度;以及一從該第一瓶頸部分延伸至一在該直線部分的邊緣之第二階段的具有10-15�之尖細形狀的第二瓶頸部分,該第二瓶頸部分具有從該毛細管末端至該第二階段之為1.1-5.0毫米的第二高度。
简体摘要：本发明教示一种用于导线焊接设备之两阶段高瓶颈型毛细管,其包含具有起自该毛细管末端的大约1.5-5.0毫米的高度和10-15�之尖细形状。该毛细管包含有一直线部分;一从该毛细管末端延伸至一第一阶段之具有8-12�的尖细形状的第一瓶颈部分,该第一瓶颈部分具有从该毛细管末端至第一阶段之为0.1-0.5毫米的第一高度;以及一从该第一瓶颈部分延伸至一在该直线部分的边缘之第二阶段的具有10-15�之尖细形状的第二瓶颈部分,该第二瓶颈部分具有从该毛细管末端至该第二阶段之为1.1-5.0毫米的第二高度。

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