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1. 发明专利

TW200940124A 火災防護裝置、系統及利用霧處理火災之方法 FIRE PROTECTION APPARATUS, SYSTEMS AND METHODS FOR ADDRESSING A FIRE WITH A MIST 审中-公开
简体标题：火灾防护设备、系统及利用雾处理火灾之方法 FIRE PROTECTION APPARATUS, SYSTEMS AND METHODS FOR ADDRESSING A FIRE WITH A MIST
公开(公告)号：TW200940124A
公开(公告)日：2009-10-01
申请号：TW097143450
申请日：2008-11-10
申请人：泰科防火產品有限合夥公司 , 追蹤力學公共有限公司
发明人：拉查瑞L 梅根諾 , 大衛J 拉貝 , 西恩S 托特 , 瑪克斯布萊恩梅海爾芬頓 , 詹姆斯奧利佛法蘭奇
IPC分类号： A62C
CPC分类号： B05B7/065 , A61L2/22 , A61L2202/25 , A62C5/008 , A62C31/05 , A62C31/07 , A62C35/023 , A62C35/11 , A62C99/0072 , B05B7/0433 , B05B7/0466 , B05B7/0475 , B05B7/067 , Y10T29/49401 , Y10T29/4943
摘要：本發明提供利用一霧處理一火災之火災防護裝置、系統及方法。更特定言之，本發明提供可提供一水霧以處理且較佳抑制一火災之系統及其設計方法。本發明進一步提供用於一空間之全淹沒體積防護以處理一火災，而較佳控制、抑制且更佳撲滅一火災之系統及方法。本發明進一步提供在該等系統及方法中使用之霧化器件。
简体摘要：本发明提供利用一雾处理一火灾之火灾防护设备、系统及方法。更特定言之，本发明提供可提供一水雾以处理且较佳抑制一火灾之系统及其设计方法。本发明进一步提供用于一空间之全淹没体积防护以处理一火灾，而较佳控制、抑制且更佳扑灭一火灾之系统及方法。本发明进一步提供在该等系统及方法中使用之雾化器件。

3. 发明专利

TW201536947A 具有均勻性折流板之半導體基板處理設備审中-公开
简体标题：具有均匀性折流板之半导体基板处理设备
公开(公告)号：TW201536947A
公开(公告)日：2015-10-01
申请号：TW103144244
申请日：2014-12-18
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：凱薩瓦穆堤阿朗 , KESHAVAMURTHY, ARUN , 凡史貴凡迪巴頓 , VAN SCHRAVENDIJK, BART , 寇漢大衛 , COHEN, DAVID
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/505 , C23C16/52 , H01L21/02
CPC分类号： C23C16/45565 , C23C16/455 , C23C16/45591 , C23C16/505 , Y10T29/4943
摘要：用以處理半導體基板之半導體基板處理設備包含噴淋頭模組，該噴淋頭模組透過面板將製程氣體從製程氣體源輸送至該處理設備之處理區，該面板具有穿過該面板之氣體通道，個別半導體基板係在該處理區中受處理。噴淋頭模組包含氣體輸送導管，該氣體輸送導管在其下端與空腔流體連通；在該氣體輸送導管及該空腔中的折流板配置；及該空腔中之設置於該折流板配置下方的阻擋板。折流板配置包含將流動穿過氣體輸送導管的製程氣體分成中心流動流、內部環形流動流、及外部環形流動流的折流板。中心流動流在面板之中央部份上方離開折流板配置，內部環形流動流於該面板之內部環形區域上方離開該折流板配置，而外部環形流動流於該面板之外部環形區域上方離開該折流板配置。
简体摘要：用以处理半导体基板之半导体基板处理设备包含喷淋头模块，该喷淋头模块透过皮肤将制程气体从制程气体源输送至该处理设备之处理区，该皮肤具有穿过该皮肤之气体信道，个别半导体基板系在该处理区中受处理。喷淋头模块包含气体输送导管，该气体输送导管在其下端与空腔流体连通；在该气体输送导管及该空腔中的折流板配置；及该空腔中之设置于该折流板配置下方的阻挡板。折流板配置包含将流动穿过气体输送导管的制程气体分成中心流动流、内部环形流动流、及外部环形流动流的折流板。中心流动流在皮肤之中央部份上方离开折流板配置，内部环形流动流于该皮肤之内部环形区域上方离开该折流板配置，而外部环形流动流于该皮肤之外部环形区域上方离开该折流板配置。

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