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    • 4. 发明专利
    • 粒狀結晶體製造裝置 MANUFACTURING DEVICE OF GRANULAR SINGLE CRYSTAL
    • 粒状结晶体制造设备 MANUFACTURING DEVICE OF GRANULAR SINGLE CRYSTAL
    • TW200641191A
    • 2006-12-01
    • TW094132387
    • 2005-09-20
    • 京半導體股份有限公司 KYOSEMI CORPORATION
    • 中田仗祐 NAKATA JOSUKE
    • C30BB22F
    • C30B35/00C30B29/607
    • 本發明之粒狀單結晶體製造裝置(1)係讓無機材料之熔液的粒狀液滴一邊自由落下一邊凝固,以製作粒狀之單結晶體的裝置,該裝置(1)係具備有:形成為截面積愈往下愈小的落下管(30);具備有在落下管(30)上方,將無機材料熔融而成為熔液的坩鍋(11)與形成在該坩鍋(11)底部之多個噴嘴(12a、12b),而從該等噴嘴(12a、12b)將上述熔液形成液滴而朝落下管(30)內落下的液滴形成機構(10);在落下管(30)內部,形成從上到下之冷卻用惰性氣體氣流的氣流形成機構(50);將無機材料製之多數固體粒子(3)朝落下管(30)內部以與液滴(2)的落下方向呈交差狀地放出,而讓固體粒子(3)與大約處於過冷卻狀態之液滴(2)產生接觸的固體粒子放出機構(40);回轉式球磨機(80);熱處理爐(84);及擴散爐(86)等。
    • 本发明之粒状单结晶体制造设备(1)系让无机材料之熔液的粒状液滴一边自由落下一边凝固,以制作粒状之单结晶体的设备,该设备(1)系具备有:形成为截面积愈往下愈小的落下管(30);具备有在落下管(30)上方,将无机材料熔融而成为熔液的坩锅(11)与形成在该坩锅(11)底部之多个喷嘴(12a、12b),而从该等喷嘴(12a、12b)将上述熔液形成液滴而朝落下管(30)内落下的液滴形成机构(10);在落下管(30)内部,形成从上到下之冷却用惰性气体气流的气流形成机构(50);将无机材料制之多数固体粒子(3)朝落下管(30)内部以与液滴(2)的落下方向呈交差状地放出,而让固体粒子(3)与大约处于过冷却状态之液滴(2)产生接触的固体粒子放出机构(40);回转式球磨机(80);热处理炉(84);及扩散炉(86)等。