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    • 5. 发明专利
    • 曝光系統及其調校方法 EXPOSURE SYSTEM AND ADJUSTMENT METHOD THEREOF
    • 曝光系统及其调校方法 EXPOSURE SYSTEM AND ADJUSTMENT METHOD THEREOF
    • TW201144945A
    • 2011-12-16
    • TW099119091
    • 2010-06-11
    • 財團法人工業技術研究院
    • 黃俊傑李源欽楊錦添鄭坤銓陳順成陳志宇
    • G03F
    • G03B27/32G03B27/16G03B27/54G03B27/72G03F7/70383
    • 一種曝光系統,包括一第一雷射光源、一第二雷射光源、一聚焦模組、一像散產生元件及一光偵測器。第一雷射光源適於發出一第一雷射光束,第二雷射光源適於發出一第二雷射光束。聚焦模組包括一聚光單元,配置於第一雷射光束與第二雷射光束的傳遞路徑上,以將第一雷射光束與第二雷射光束投射於一材料。至少部分第一雷射光束反射成一第一反射光束。聚光單元與像散產生元件配置於第一反射光束的傳遞路徑上。光偵測器配置於來自像散產生元件的第一反射光束之傳遞路徑上,且與聚焦模組電性連接。一種曝光系統的調校方法亦被提出。
    • 一种曝光系统,包括一第一激光光源、一第二激光光源、一聚焦模块、一像散产生组件及一光侦测器。第一激光光源适于发出一第一激光光束,第二激光光源适于发出一第二激光光束。聚焦模块包括一聚光单元,配置于第一激光光束与第二激光光束的传递路径上,以将第一激光光束与第二激光光束投射于一材料。至少部分第一激光光束反射成一第一反射光束。聚光单元与像散产生组件配置于第一反射光束的传递路径上。光侦测器配置于来自像散产生组件的第一反射光束之传递路径上,且与聚焦模块电性连接。一种曝光系统的调校方法亦被提出。
    • 8. 发明专利
    • 螢光顯微影像系統 FLUORESCENCE MICRO IMAGING SYSTEM
    • 萤光显微影像系统 FLUORESCENCE MICRO IMAGING SYSTEM
    • TW201142352A
    • 2011-12-01
    • TW099116015
    • 2010-05-19
    • 財團法人工業技術研究院
    • 巫秉融鄭坤銓余興政朱朝居黃俊傑李源欽
    • G02B
    • G02B21/16G02B21/245
    • 一種螢光顯微影像系統,用於檢測樣品的螢光訊號,包括:一螢光偵測模組,具有一螢光激發光源產生器和一螢光偵測器,螢光激發光源產生器可以產生具有第一波長的激發光束用以激發樣品發出螢光,再利用螢光偵測器讀取樣品的螢光訊號,以及一對焦控制模組,對焦控制模組可產生具有第二波長的伺服光束,再利用配置在觀察面的伺服光束反射膜反射伺服光束,然後以對焦偵測法分析回光訊號,再利用一致動器移動物鏡進行自動對焦,使螢光激發光束能激發樣品發出螢光。
    • 一种萤光显微影像系统,用于检测样品的萤光信号,包括:一萤光侦测模块,具有一萤光激发光源产生器和一萤光侦测器,萤光激发光源产生器可以产生具有第一波长的激发光束用以激发样品发出萤光,再利用萤光侦测器读采样品的萤光信号,以及一对焦控制模块,对焦控制模块可产生具有第二波长的伺服光束,再利用配置在观察面的伺服光束反射膜反射伺服光束,然后以对焦侦测法分析回光信号,再利用一致动器移动物镜进行自动对焦,使萤光激发光束能激发样品发出萤光。
    • 9. 发明专利
    • 輸入裝置、操作方法及光學反射板模組 INPUT APPARATUS, OPERATION METHOD THEREOF AND OPTICAL REFLECTION MODULE
    • 输入设备、操作方法及光学反射板模块 INPUT APPARATUS, OPERATION METHOD THEREOF AND OPTICAL REFLECTION MODULE
    • TW201106209A
    • 2011-02-16
    • TW099126475
    • 2010-08-09
    • 財團法人工業技術研究院
    • 藍永松鄭坤銓
    • G06F
    • G06F3/03548
    • 一種輸入裝置,包括一光學滑鼠模組及一滑鼠板模組。光學滑鼠模組包括一光源與一光感測器,其中光源適於發出一光束,且光感測器具有一感測距離。滑鼠板模組配置於光學滑鼠模組上。滑鼠板模組包括一滑片,其彈性地耦接至光學滑鼠模組。滑片適於在三度空間中移動。光感測器與滑片沿著一排列方向排列。當滑片被按壓至光感測器的感測距離內且在垂直於排列方向的方向上移動時,光感測器會感測到滑片相對光學滑鼠模組的移動。當滑片不被按壓時,滑片耦接至光學滑鼠模組的彈力會使滑片回復至感測距離外。一種輸入裝置的操作方法及光學反射板模組亦被提出。
    • 一种输入设备,包括一光学鼠标模块及一鼠标板模块。光学鼠标模块包括一光源与一光传感器,其中光源适于发出一光束,且光传感器具有一传感距离。鼠标板模块配置于光学鼠标模块上。鼠标板模块包括一滑片,其弹性地耦接至光学鼠标模块。滑片适于在三度空间中移动。光传感器与滑片沿着一排列方向排列。当滑片被按压至光传感器的传感距离内且在垂直于排列方向的方向上移动时,光传感器会传感到滑片相对光学鼠标模块的移动。当滑片不被按压时,滑片耦接至光学鼠标模块的弹力会使滑片回复至传感距离外。一种输入设备的操作方法及光学反射板模块亦被提出。