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    • 9. 发明专利
    • 用於基板片材之邊緣處理的設備及方法
    • 用于基板片材之边缘处理的设备及方法
    • TW201829119A
    • 2018-08-16
    • TW106140693
    • 2017-11-23
    • 美商康寧公司CORNING INCORPORATED
    • 布朗 詹姆斯威廉BROWN, JAMES WILLIAM李偉明LI, WEIMING潘尼德斯 依理亞斯PANIDES, ELIAS
    • B24B9/08B24B55/02
    • 一種用於處理基板片材的邊緣的設備。設備包括精整構件、護罩及管狀構件。精整構件可旋轉地保持在護罩的腔室內。 護罩包括端接於限定槽之一部分的主邊緣的壁段。槽經配成接收基板片材的邊緣,以便於邊緣與精整構件的接合。壁段進一步限定了噴嘴通道,該噴嘴通道端接於主邊緣的開口處。管狀構件從主邊緣突出及限定與噴嘴通道流體連通的通路。即使在存在真空引起的交叉流動的情況中,輸送至噴嘴通道的冷卻劑亦經由管狀構件被噴射至精整構件上。在一些實施例中,管狀構件的空間佈置係可調整的。
    • 一种用于处理基板片材的边缘的设备。设备包括精整构件、护罩及管状构件。精整构件可旋转地保持在护罩的腔室内。 护罩包括端接于限定槽之一部分的主边缘的壁段。槽经配成接收基板片材的边缘,以便于边缘与精整构件的接合。壁段进一步限定了喷嘴信道,该喷嘴信道端接于主边缘的开口处。管状构件从主边缘突出及限定与喷嘴信道流体连通的通路。即使在存在真空引起的交叉流动的情况中,输送至喷嘴信道的冷却剂亦经由管状构件被喷射至精整构件上。在一些实施例中,管状构件的空间布置系可调整的。