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1. 发明专利

TW201442145A 驅動器及黏附卡盤裝置审中-公开
简体标题：驱动器及黏附卡盘设备
公开(公告)号：TW201442145A
公开(公告)日：2014-11-01
申请号：TW102148255
申请日：2013-12-25
申请人：信越工程股份有限公司 , SHIN-ETSU ENGINEERING CO., LTD. , 入江工研股份有限公司 , IRIE KOKEN CO., LTD.
发明人：大谷義和 , OHTANI, YOSHIKAZU , 佐藤謙司 , SATO, KENJI , 源浩 , MINAMOTO, HIROSHI , 青木一成 , AOKI, KAZUNARI , 信安勇二 , NOBUYASU, YUJI
IPC分类号： H01L21/687 , G02F1/133
CPC分类号： F15B15/10 , F15B15/149
摘要：本發明提供一種以非接觸狀態無徑向振擺地驅動可動件之驅動器及黏附卡盤裝置。本發明之驅動器中，向內外以同心狀配置具有蛇腹部(11a、11a')之複數個金屬波紋管(11、11')作為伸縮部(10)，藉由使金屬波紋管(11、11')伸縮變形，從而金屬波紋管(11、11')之蛇腹部(11a、11a')將各自之內周端(11b、11b')及外周端(11c、11c')相互交替固定而伸縮部(10)整體全然不會向伸縮變形方向(Z方向)以外之XYθ方向變形，因此可動件(40)經由遍及金屬波紋管(11、11')之一端而設置之升降部(20)在伸縮部(10)之中心空間(12)及基部(30)之通孔(31)內向伸縮變形方向(Z方向)以外之XYθ方向無振擺地往復移動。
简体摘要：本发明提供一种以非接触状态无径向振摆地驱动可动件之驱动器及黏附卡盘设备。本发明之驱动器中，向内外以同心状配置具有蛇腹部(11a、11a')之复数个金属波纹管(11、11')作为伸缩部(10)，借由使金属波纹管(11、11')伸缩变形，从而金属波纹管(11、11')之蛇腹部(11a、11a')将各自之内周端(11b、11b')及外周端(11c、11c')相互交替固定而伸缩部(10)整体全然不会向伸缩变形方向(Z方向)以外之XYθ方向变形，因此可动件(40)经由遍及金属波纹管(11、11')之一端而设置之升降部(20)在伸缩部(10)之中心空间(12)及基部(30)之通孔(31)内向伸缩变形方向(Z方向)以外之XYθ方向无振摆地往复移动。

2. 发明专利

TW201641293A 貼合設備的製造裝置审中-公开
简体标题：贴合设备的制造设备
公开(公告)号：TW201641293A
公开(公告)日：2016-12-01
申请号：TW105110146
申请日：2016-03-30
申请人：信越工程股份有限公司 , SHIN-ETSU ENGINEERING CO., LTD.
发明人：大谷義和 , OHTANI, YOSHIKAZU , 佐藤謙司 , SATO, KENJI , 藤田一也 , FUJITA, KAZUYA
IPC分类号： B32B37/10 , B32B38/18 , G02F1/13
CPC分类号： B32B37/10 , G02F1/13 , G09F9/00 , H01L21/683
摘要：本發明係一面將第1工件保持面及第2工件保持面對工件的接觸面積最小化，一面防止第1工件保持面及第2工件保持面隨時間經過而磨損。本發明的貼合設備的製造裝置係將一對工件分別保持於第1保持構件和第2保持構件上，藉由前述第1保持構件和前述第2保持構件相對地靠近移動，而將前述一對工件對位貼合者，且，前述第1保持構件的第1工件保持面或前述第2保持構件的第2工件保持面中的任意一方或雙方具備硬塗層，該硬塗層與前述一對工件中的一方或雙方對向，並且其表面以較前述第1保持構件、前述第2保持構件、及前述一對工件的材質更硬之材料形成為凹凸形狀，前述硬塗層係自前述第1工件保持面或前述第2工件保持面中的任意一方或雙方向前述一對工件中的一方或雙方呈山狀突出，且具有與前述一對工件中的一方的平滑表面或雙方的平滑表面分別地點接觸之複數個支撐突起。
简体摘要：本发明系一面将第1工件保持面及第2工件保持面对工件的接触面积最小化，一面防止第1工件保持面及第2工件保持面随时间经过而磨损。本发明的贴合设备的制造设备系将一对工件分别保持于第1保持构件和第2保持构件上，借由前述第1保持构件和前述第2保持构件相对地靠近移动，而将前述一对工件对位贴合者，且，前述第1保持构件的第1工件保持面或前述第2保持构件的第2工件保持面中的任意一方或双方具备硬涂层，该硬涂层与前述一对工件中的一方或双方对向，并且其表面以较前述第1保持构件、前述第2保持构件、及前述一对工件的材质更硬之材料形成为凹凸形状，前述硬涂层系自前述第1工件保持面或前述第2工件保持面中的任意一方或双方向前述一对工件中的一方或双方呈山状突出，且具有与前述一对工件中的一方的平滑表面或双方的平滑表面分别地点接触之复数个支撑突起。

3. 发明专利

TW201816474A 貼合器件的真空貼合裝置审中-公开
简体标题：贴合器件的真空贴合设备
公开(公告)号：TW201816474A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：TW106134877
申请日：2017-10-12
申请人：日商信越工程股份有限公司 , SHIN-ETSU ENGINEERING CO., LTD.
发明人：佐藤謙司 , SATO, KENJI , 大谷義和 , OHTANI, YOSHIKAZU
IPC分类号： G02F1/13 , G02F1/1333 , H01L21/68 , H01L21/683
摘要：本發明提供一種貼合器件的真空貼合裝置。本發明的貼合器件的真空貼合裝置防止由貼合空間的氣壓變化及溫度變化引起之第一工件與第二工件的位置偏移。本發明的貼合器件的真空貼合裝置具備：第一保持構件，具有第一工件的第一工件保持面；第二保持構件，與第一工件保持面隔著貼合空間而對置並且具有第二工件的第二工件保持面；接觸分離用驅動部，使第一保持構件或第二保持構件中的任一個或兩者相對地靠近移動；室壓調整部，從貼合空間將氣體排出至外部空間以將貼合空間從大氣氣氛調整至減壓氣氛；及控制部，對接觸分離用驅動部及室壓調整部進行作動控制，第一工件保持面或第二工件保持面中的任一個或兩者具有：複數個凸狀部，以與第一工件或第二工件中的一個或兩者的非貼合面對置而裝卸自如地接觸之方式形成；及複數個凹槽部，以在複數個凸狀部的旁邊與非貼合面對置之方式形成，複數個凸狀部及複數個凹槽部遍及第一工件保持面或第二工件保持面中的任一個或兩者的整體，複數個凸狀部及複數個凹槽部以非貼合面所交叉之方向具有各向同性之配置排列，在非貼合面與複數個凸狀部接觸的狀態下，複數個凹槽部為將貼合空間與外部空間分別連通之通氣路，控制部在藉由室壓調整部使得貼合空間減壓時及在大氣中釋放時，以使氣體藉由通氣路向非貼合面所交叉之方向分別相同地流動之方式進行控制。
简体摘要：本发明提供一种贴合器件的真空贴合设备。本发明的贴合器件的真空贴合设备防止由贴合空间的气压变化及温度变化引起之第一工件与第二工件的位置偏移。本发明的贴合器件的真空贴合设备具备：第一保持构件，具有第一工件的第一工件保持面；第二保持构件，与第一工件保持面隔着贴合空间而对置并且具有第二工件的第二工件保持面；接触分离用驱动部，使第一保持构件或第二保持构件中的任一个或两者相对地靠近移动；室压调整部，从贴合空间将气体排出至外部空间以将贴合空间从大气气氛调整至减压气氛；及控制部，对接触分离用驱动部及室压调整部进行作动控制，第一工件保持面或第二工件保持面中的任一个或两者具有：复数个凸状部，以与第一工件或第二工件中的一个或两者的非贴合面对置而装卸自如地接触之方式形成；及复数个凹槽部，以在复数个凸状部的旁边与非贴合面对置之方式形成，复数个凸状部及复数个凹槽部遍及第一工件保持面或第二工件保持面中的任一个或两者的整体，复数个凸状部及复数个凹槽部以非贴合面所交叉之方向具有各向同性之配置排列，在非贴合面与复数个凸状部接触的状态下，复数个凹槽部为将贴合空间与外部空间分别连通之通气路，控制部在借由室压调整部使得贴合空间减压时及在大气中释放时，以使气体借由通气路向非贴合面所交叉之方向分别相同地流动之方式进行控制。

4. 发明专利

TWI604952B 貼合設備的製造裝置有权
简体标题：贴合设备的制造设备
公开(公告)号：TWI604952B
公开(公告)日：2017-11-11
申请号：TW105110146
申请日：2016-03-30
申请人：信越工程股份有限公司 , SHIN-ETSU ENGINEERING CO., LTD.
发明人：大谷義和 , OHTANI, YOSHIKAZU , 佐藤謙司 , SATO, KENJI , 藤田一也 , FUJITA, KAZUYA
IPC分类号： B32B37/10 , B32B38/18 , G02F1/13
CPC分类号： B32B37/10 , G02F1/13 , G09F9/00 , H01L21/683

5. 发明专利

TWI598991B 驅動器及黏附卡盤裝置有权
简体标题：驱动器及黏附卡盘设备
公开(公告)号：TWI598991B
公开(公告)日：2017-09-11
申请号：TW102148255
申请日：2013-12-25
申请人：信越工程股份有限公司 , SHIN-ETSU ENGINEERING CO., LTD. , 入江工研股份有限公司 , IRIE KOKEN CO., LTD.
发明人：大谷義和 , OHTANI, YOSHIKAZU , 佐藤謙司 , SATO, KENJI , 源浩 , MINAMOTO, HIROSHI , 青木一成 , AOKI, KAZUNARI , 信安勇二 , NOBUYASU, YUJI
IPC分类号： H01L21/687 , G02F1/133
CPC分类号： F15B15/10 , F15B15/149

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