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    • 5. 实用新型
    • 圖案化基板改良及磊晶結構及發光元件
    • 图案化基板改良及磊晶结构及发光组件
    • TWM383203U
    • 2010-06-21
    • TW099202800
    • 2010-02-10
    • 中美矽晶製品股份有限公司
    • 吳耀銓林博文徐文慶何思樺
    • H01L
    • 本創作之磊晶結構係至少包含有一基板以及形成於該基板上之磊晶層,該基板之上表面設有複數與基板材質相異之生長遮塊,各生長遮塊係由基板表面朝遠離表面方向漸縮,藉由該基板進行磊晶形成磊晶層時,各生長遮塊表面無法磊晶,讓未受生長遮塊遮蔽之表面可形成側向磊晶成長於各生長遮塊上,並覆蓋各生長遮塊,令整體磊晶層可具有低缺陷密度排列,並有效提高後續元件製作的良率。
    • 本创作之磊晶结构系至少包含有一基板以及形成于该基板上之磊晶层,该基板之上表面设有复数与基板材质相异之生长遮块,各生长遮块系由基板表面朝远离表面方向渐缩,借由该基板进行磊晶形成磊晶层时,各生长遮块表面无法磊晶,让未受生长遮块屏蔽之表面可形成侧向磊晶成长于各生长遮块上,并覆盖各生长遮块,令整体磊晶层可具有低缺陷密度排列,并有效提高后续组件制作的良率。