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1. 发明授权

KR102344697B1 기울어진 팁을 이용하여 측정 대상의 표면의 특성을 얻는 방법, 이 방법이 수행되기 위한 원자 현미경 및 이 방법이 수행되기 위해 저장 매체에 저장된 컴퓨터 프로그램 有权
公开(公告)号：KR102344697B1
公开(公告)日：2021-12-30
申请号：KR1020200017159
申请日：2020-02-12
IPC分类号： G01Q70/10 , G01Q60/00
摘要： 본발명은언더컷 (undercut) 구조의내부까지깊게이미지를얻을수 있고팁이언더컷구조의내부로부터쉽게탈출할수 있는, 기울어진팁을이용하여측정대상의표면의특성을얻는방법, 이방법이수행되기위한원자현미경및 이방법이수행되기위해저장매체에저장된컴퓨터프로그램에관한것이다. 상기과제를해결하기위한본 발명의일 실시예에따른방법은, 측정대상의표면과상호작용하는팁 (tip) 을포함하는측정장치를이용하여상기측정대상의표면의특성을얻는방법이다. 이방법은, 제1 제어방식을사용하여, 상기측정대상의표면에대해상기팁을제1 방향으로상대이동시키면서상기측정대상의표면의특성을얻는, 정상측정단계; 상기정상측정단계를수행중에, 상기팁에의해얻어지는적어도하나의특성값이특정범위를벗어나이상상태로판정된경우, 사전에정의된상기측정대상의표면의형상에기초하여설정된제2 제어방식으로상기팁이상기이상상태로부터벗어나도록제어되는, 탈출단계; 및상기탈출단계이후에, 다시상기정상측정단계가수행되는단계; 를포함한다.

2. 发明授权

KR101823954B1 탐침형 원자 현미경 작동 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于操作探针型原子显微镜的方法和设备
公开(公告)号：KR101823954B1
公开(公告)日：2018-01-31
申请号：KR1020177001022
申请日：2009-11-13
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 후,얀 , 후,슈이큉 , 수,찬민
IPC分类号： G01Q60/24 , G01Q60/34 , G01Q60/00
CPC分类号： G01Q20/00 , B82Y35/00 , G01Q10/065 , G01Q20/02 , G01Q60/24 , G01Q60/30 , G01Q60/32 , G01Q60/34
摘要： AFM 이미징(피크힘 테핑(PFT) 모드)의개선된모드 300은모든현존하는 AFM 작동모드들에의하여성취될수 있는스캔속도를유지하면서, 팁-샘플상호작용힘을감소시키기위하여가변적인피드백으로서힘을사용한다. 샘플이미징및 기계적특성매핑은개선된해상도및 높은샘플작업량에의하여이루어지며, 가스, 유체및 진공을포함하는가변적인환경에서작업가능한모드를제공한다.
摘要翻译： AFM成像（峰值力带（PFT）模式）的改进模式300提供可变力反馈以减小尖端 - 样品相互作用力，同时保持可通过所有现有AFM操作模式实现的扫描速率。使用。样品成像和力学性能测试是通过提高分辨率和高样品通量来完成的，并且提供了一种在包括气体，流体和真空在内的可变环境中的操作模式。

3. 发明公开

KR1020170113160A 주사형 프로브 현미경 및 그 프로브 접촉 검출 방법 审中-实审
标题翻译：扫描探针显微镜及其探针接触检测方法
公开(公告)号：KR1020170113160A
公开(公告)日：2017-10-12
申请号：KR1020170035437
申请日：2017-03-21
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크 사이언스
发明人： 시게노마사츠구 , 와타나베가즈토시 , 와타나베마사후미 , 야마모토히로요시 , 지노네가즈오
IPC分类号： G01Q20/00 , G01Q10/04 , G01Q60/00
CPC分类号： G01Q10/02 , G01Q10/065
摘要： (과제) 프로브가접촉하는시료표면이경사면인경우에있어서, 프로브와시료표면의접촉을검출하는가압력의값이, 수평면과비교하여변화되는현상을개선가능한, 주사형프로브현미경및 그프로브접촉검출방법을제공한다. (해결수단) 시료표면에프로브를접촉시켜, 상기시료표면을상기프로브로주사하는주사형프로브현미경으로서, 선단에상기프로브를구비하는캔틸레버와, 상기캔틸레버의휨량과비틀림량을검출하는변위검출부와, 상기변위검출부에의해검출된, 무변형의캔틸레버에있어서의전방위의휨량과비틀림량에기초하여상기프로브의상기시료표면에대한 1 차접촉을판정하는접촉판정부를구비한다.
摘要翻译：（任务）在样品表面的情况下是一个倾斜的表面，其中所述探针是在接触时，探针和样品，压力的值确实检测到的表面的接触，可以提高的现象变化与水平面，扫描探针显微镜和探针接触检测比较＆lt; （解决手段）的探针接触到样品表面上，扫描探针显微镜，用于与探针扫描样品表面时，在远端处具有探针的悬臂，并且用于检测所述偏转和悬臂的扭转量和位移检测器和接触判定单元，用于确定所述悬臂的全方位偏转和扭转量的基础上，试样探针的表面上的第一接触，所述无应变由位移检测器检测。

4. 发明公开

KR1020110119665A 조절된 팁 로딩 증착을 포함하는 넓은 면적의 균일한 어레이 제작 无效
标题翻译：大面积，均匀的阵列制造，包括控制尾料加载蒸气沉积
公开(公告)号：KR1020110119665A
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：KR1020117017430
申请日：2010-01-25
申请人： 나노잉크, 인크.
发明人： 암로,나빌,아. , 세인드린,레이몬드
IPC分类号： G03F7/00 , G01Q60/00
CPC分类号： G03F7/0002 , G01Q80/00
摘要： 팁들의 어레이를, 팁으로부터 기판으로 물질의 이어지는 침착을 위한 물질로 로딩하기 위한 개선된 방법. 팁 로딩은 기판 위에 비-특이적 물질 침착물의 양을 감소시키는 조절된 증착에 의해 수행될 수 있다. 개선된 나노규모 및 마이크로규모의 공학 및 석판술이 수득될 수 있다. 응용은 줄기 세포 연구 및 줄기 세포 분화 조절을 포함하는 더 나은 세포 연구를 포함한다.

5. 发明公开

KR1020040024332A 나노 정보 저장 장치 失效
标题翻译：纳诺信息记录装置
公开(公告)号：KR1020040024332A
公开(公告)日：2004-03-20
申请号：KR1020020055894
申请日：2002-09-13
申请人： 엘지전자 주식회사
发明人： 김영식
IPC分类号： G11B9/14 , G01Q60/00 , B82Y10/00
摘要： PURPOSE: A nano information recording device is provided to simplify writing, reading, and erasing operation, get a large operating displacement by a lower operating voltage, and miniaturize a size of the device. CONSTITUTION: A recording medium(200) includes an electrode to a lower part. A head(100) includes a cantilever array(110) comprising the nXm cantilevers for writing/reading/erasing the recording medium and a z-axis position detecting sensor(120) formed on an outer substrate of the cantilever array. A scanner(300) moves the recording medium to an x/y/z axis.
摘要翻译：目的：提供一种纳米信息记录装置，以简化写入，读取和擦除操作，通过较低的工作电压获得较大的工作位移，并使设备的尺寸小型化。构成：记录介质（200）包括到下部的电极。头部（100）包括悬臂阵列（110），其包括用于写入/读取/擦除记录介质的nXm悬臂和形成在悬臂阵列的外基板上的z轴位置检测传感器（120）。扫描器（300）将记录介质移动到x / y / z轴。

6. 发明授权

KR102401164B1 인공지능 객체 인식 기술을 이용한 원자 힘 현미경 및 이의 동작 방법 有权
公开(公告)号：KR102401164B1
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：KR1020200112538
申请日：2020-09-03
IPC分类号： G01Q60/00 , G01Q10/04 , G01Q20/02 , G06T7/20
摘要： 본발명의원자힘 현미경은, 샘플을수용하는샘플스테이지; 상기샘플상에배치되고, 탐침을포함하는캔틸레버; 상기캔틸레버에레이저빔을주사하는레이저; 상기캔틸레버에서반사된레이저빔을입력받는포토디텍터; 상기샘플및 상기캔틸레버를촬영하는제1 카메라; 상기캔틸레버및 상기레이저로부터주사된레이저스팟을촬영하는제2 카메라; 및상기제1 카메라, 제2 카메라및 포토디텍터와전기적으로연결되고, 상기제1 카메라, 제2 카메라및 포토디텍터로부터획득한데이터를처리하는프로세서를포함할수 있다. 본발명의원자힘 현미경의동작방법은, 제1 카메라를통해캔틸레버및 샘플의위치를감지하는단계; 상기샘플의위치를조정하는단계; 제2 카메라를통해레이저및 캔틸레버의위치를감지하는단계; 상기레이저를정렬하는단계; 포토디텍터를통해레이저빔의위치를감지하는단계; 상기포토디텍터의위치를정렬하는단계를포함할수 있다.

7. 发明授权

KR102005911B1 대형 사이즈 하이드로젤 탐침 생산방법 및 하이드로젤 탐침 有权
公开(公告)号：KR102005911B1
公开(公告)日：2019-07-31
申请号：KR1020170159925
申请日：2017-11-28
申请人： 서강대학교산학협력단
发明人： 이정철 , 고주희 , 박근한 , 아문자르젬브스키
IPC分类号： G01Q40/02 , G01Q60/00

8. 发明授权

KR101990916B1 스캐닝 프로브 현미경을 작동하는 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR101990916B1
公开(公告)日：2019-06-19
申请号：KR1020187011207
申请日：2010-12-01
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 후,얀 , 후,쉬킹 , 수,챈민 , 시,지안 , 마,지
IPC分类号： G01Q60/24 , G01B21/20 , G01Q60/00 , G01Q60/34

9. 发明授权

KR101852475B1 스캐닝 프로브 현미경을 작동하는 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR101852475B1
公开(公告)日：2018-06-11
申请号：KR1020177001695
申请日：2010-12-01
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 후,얀 , 후,쉬킹 , 수,챈민 , 시,지안 , 마,지
IPC分类号： G01Q60/24 , G01B21/20 , G01Q60/00 , G01Q60/34
摘要： AFM 이미징의개선된모드(PFT(Peak Force Tapping) Mode)가힘을피드백변수로서사용하여, 모든기존의 AFM 동작모드에의해얻어질수 있는스캔속도를유지하면서, 팁과샘플의상호작용력을감소시킬수 있다. 샘플이미징및 기계적속성매핑이, 개선된분해능과높은샘플처리율을갖고이뤄지며, 여기서모드는다양한환경(가령, 기체, 유체, 및진공)을걸쳐작동한다. 전문사용자가이미징을모니터링할필요가없어짐으로써, 용이한사용이촉진된다.

10. 发明公开

KR20180043410A 스캐닝 프로브 현미경을 작동하는 방법 및 장치 审中-公开
公开(公告)号：KR20180043410A
公开(公告)日：2018-04-27
申请号：KR20187011207
申请日：2010-12-01
申请人： BRUKER NANO INC
发明人： HU YAN , HU SHUIQING , SU CHANMIN , SHI JIAN , MA JI
IPC分类号： G01Q60/24 , G01B21/20 , G01Q60/00 , G01Q60/34
CPC分类号： G01Q20/00 , B82Y35/00 , G01Q10/065 , G01Q60/32 , H01R4/56 , H01R13/6315 , H01R2103/00
摘要： AFM 이미징의개선된모드(PFT(Peak Force Tapping) Mode)가힘을피드백변수로서사용하여, 모든기존의 AFM 동작모드에의해얻어질수 있는스캔속도를유지하면서, 팁과샘플의상호작용력을감소시킬수 있다. 샘플이미징및 기계적속성매핑이, 개선된분해능과높은샘플처리율을갖고이뤄지며, 여기서모드는다양한환경(가령, 기체, 유체, 및진공)을걸쳐작동한다. 전문사용자가이미징을모니터링할필요가없어짐으로써, 용이한사용이촉진된다.

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