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1. 发明授权

KR102414699B1 복합 필터를 이용한 공기청정기 有权
公开(公告)号：KR102414699B1
公开(公告)日：2022-06-29
申请号：KR1020200188542
申请日：2020-12-30
IPC分类号： F24F8/108 , F24F13/20 , F24F13/28 , F24F11/88 , F24F11/89 , F24F11/72 , B01D46/00 , B01D46/12 , G01D5/347 , G01D5/14
摘要： 본발명은복수의필터부재를분리가능하게적층할수 있도록하여상황및 시기에따라원하는여과기능을갖는복수의필터부재를적절히선택하여복합필터모듈을구성할수 있으며, 복합필터모듈이외부로노출된상태에서공기정화작용을수행할수 있도록하여필터부재의교체시기를쉽게알 수있고, 필터부재의교체가매우용이하며, 직관적인필터부재의교체가가능한공기청정기에관한것으로, 본발명에따른공기청정기는, 공기가유입되는유입구와정화된공기가배출되는배출구가형성되어있는본체부; 상기본체부에설치되어유입구를통해공기를흡입하여배출구로배출하는송풍유닛; 상기유입구의하단부에선회가능하게설치되는필터마운트부재; 오염물질을여과하는복수의필터부재가서로분리가능하게적층되어구성되고, 하단부가상기필터마운트부재에안착되어지지되며, 사용자의조작에의해필터마운트부재를중심으로선회하면서유입구를개폐하는복합필터모듈; 상기필터마운트부재의일측에설치되어필터마운트부재의선회동작에의해스위칭되면서전원을인가하거나차단하는스위칭부재; 및, 상기스위칭부재와전기적으로연결되어, 스위칭부재의온(on)/오프(off) 상태에따라상기송풍유닛의작동을제어하는제어부;를포함할수 있다.

2. 发明授权

KR102397072B1 회전식 길이 측정장치 有权
公开(公告)号：KR102397072B1
公开(公告)日：2022-05-16
申请号：KR1020200085655
申请日：2020-07-10
IPC分类号： G01B5/04 , G01D7/00 , G01D5/347
摘要： 본발명은회전식길이측정장치에관한것으로, 전류가흐르는전선에직접접촉하지않아도전선에접촉되는회전부에의하여전선의길이를정확하게측정하여전선공사를정확하게수행할수 있는회전식길이측정장치를제공한다.

3. 发明授权

KR102330201B1 회전 샤프트들 및 커플링들의 매개변수들을 측정하기 위한 방법들 및 시스템들 有权
公开(公告)号：KR102330201B1
公开(公告)日：2021-11-22
申请号：KR1020197033689
申请日：2018-04-17
IPC分类号： G01D5/14 , G01D5/347 , G01B7/312 , G01L3/10 , G01L3/12
摘要： 회전샤프트들및 커플링들의변위매개변수들을측정하기위한시스템들및 방법들이개시된다. 일부양태들에서, 측정시스템은길이방향으로연장되는샤프트및 샤프트와회전하도록구성되는타겟휠을포함한다. 타겟휠은타겟휠 주위에원주방향으로분포되는센서타겟들을포함한다. 타겟들중 일부는길이방향으로비스듬하며, 그리고타겟들중 일부는길이방향에대해평행하다. 측정시스템은샤프트주위에반경방향으로장착되고그리고타겟휠이상기샤프트와회전함에따라센서타겟들을검출하도록구성되는적어도 3개의센서들을포함하는센서어레이(sensor array)를포함한다. 측정시스템은센서들로부터센서신호들을수신하고그리고, 센서신호들에기초하여, 적어도길이방향으로의샤프트의축방향변위측정및 샤프트의반경방향변위측정을결정하도록구성되는제어기를포함한다.

4. 发明授权

KR102200971B1 광학 엔코더 有权
公开(公告)号：KR102200971B1
公开(公告)日：2021-01-11
申请号：KR1020190176801
申请日：2019-12-27
申请人： 알에스오토메이션주식회사
发明人： 신준호 , 조한규 , 두영후
IPC分类号： G01D5/347
摘要： 본발명은패턴구조를개선한광학엔코더의수광부에관한것이다. 본발명은제2 패턴이형성된스케일; 및상기스케일에대해서상대이동되며제1 패턴이형성된수광부를포함하고, 상기제1 패턴은사인파신호를획득하도록곡률진형상이며, 상기제1 패턴은복수의단위패턴으로이루어지며, 상기각 단위패턴의변곡점또는각 단위패턴의접하는부분인대칭점중적어도하나는라운딩처리되는광학엔코더가제공될수 있다.

5. 发明授权

KR102037786B1 앱솔루트 인코더 有权
公开(公告)号：KR102037786B1
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：KR1020197004840
申请日：2018-02-20
申请人： 미쓰비시덴키 가부시키가이샤
发明人： 노구치다쿠야 , 구보유지 , 다쿠시마시게루 , 짐보시게오
IPC分类号： G01D5/347

6. 发明授权

KR102020076B1 고 콘트라스트 인코더 헤드 有权
公开(公告)号：KR102020076B1
公开(公告)日：2019-09-09
申请号：KR1020147009082
申请日：2012-09-05
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 굿윈에릭피
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/027 , G01B11/00 , G01D5/26 , G01D5/347

7. 发明授权

KR101980798B1 지하시설물 측량시 어두운 장소에서 측량이 용이하도록 하는 발광 타겟장치 有权
公开(公告)号：KR101980798B1
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：KR1020180129761
申请日：2018-10-29
申请人： 서울공간정보 주식회사
发明人： 조규식 , 유종석 , 김한욱
IPC分类号： G01C15/06 , G01B3/04 , G01C5/00 , G01D5/347

8. 发明授权

KR101939589B1 포워드 포커싱에 의한 스캐닝 타입의 도광 인코더 有权
公开(公告)号：KR101939589B1
公开(公告)日：2019-01-17
申请号：KR1020170047557
申请日：2017-04-12
申请人： 쳉 신-테
发明人： 쳉신-테
IPC分类号： G01D5/347

9. 发明公开

KR20180010226A 리소그래피 시스템의 적어도 하나의 미러의 위치를 결정하기 위한 위치 센서 디바이스 및 방법 审中-公开
标题翻译：一种用于确定光刻系统的至少一个反射镜的位置的位置传感器装置和方法
公开(公告)号：KR20180010226A
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：KR20177036541
申请日：2016-05-10
IPC分类号： G03F7/20 , G01B11/02 , G01D5/347
CPC分类号： G03F7/70258 , G01B11/026 , G01D5/347 , G03F7/70825 , G03F7/7085
摘要： 본발명은리소그래피시스템의적어도하나의미러의위치를결정하기위한위치센서디바이스에관한것이다. 상기위치센서디바이스는미러에결합되고, 적어도 1/(500 ㎛)의공간주파수에서정보콘텐트를갖는패턴을제공하기위한패턴제공장치와, 제공된패턴을기록하기위한이미지캡처장치로서, 이미지캡처장치는광학시스템및 이미지센서를갖고, 광학시스템은최대 99%의강도감쇠를갖고 0.1/㎛내지 1/(250 ㎛)의공간주파수범위에서적어도 1/(500 ㎛)의공간주파수를갖는제공된패턴을이미지센서상에이미징하도록구성되는, 이미지캡처장치와, 기록된패턴에따라미러의위치를결정하기위한이미지평가장치를포함한다. 적어도 1/(500 ㎛)의공간주파수에서정보콘텐트를갖는패턴이사용되기때문에, 위치센서장치는높은측정정확도를제공할수 있다. 본발명은또한투영시스템을갖는리소그래피시스템, 및리소그래피시스템의적어도하나의미러의위치를결정하기위한방법에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于确定光刻系统的至少一个反射镜的位置的位置传感器装置。其中位置传感器装置耦合到反射镜并且包括用于提供具有至少1 /（500μm）的空间频率的信息内容的图案的图案提供装置以及用于记录提供的图案的图像捕获装置， 1.一种光学系统和图像传感器，其中所述光学系统被配置为在0.1 /μm至1 /（250μm）的空间频率范围内提供具有至少1 /（500μm）的空间频率的给定图案，图像捕获装置，被配置为在传感器上成像;以及图像评估装置，用于根据记录的图案确定反射镜的位置。由于具有信息内容的图案以至少1 /（500μm）的空间频率被使用，所以位置传感器装置可以提供高测量精度。本发明还涉及具有投影系统的光刻系统以及用于确定光刻系统的至少一个反射镜的位置的方法。

10. 发明公开

KR1020170082298A 2개의 절대형 엔코더를 이용한 절대위치 계측장치 및 계측방법 审中-实审
标题翻译：绝对位置测量装置和使用两个绝对式编码器的测量方法
公开(公告)号：KR1020170082298A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：KR1020160001529
申请日：2016-01-06
申请人： 김병기
发明人： 김병기
IPC分类号： G01B21/00 , G01B21/04 , G01B5/008 , G01D5/00 , G01D5/34 , G01D5/347 , G01D18/00 , F16H1/20 , F16H1/34
摘要： 본발명은물리적변위량를측정하는데있어서 2개의절대형엔코더를적정한감속장치로결합하여긴 거리에대한절대위치를정밀하게검출하며, 전원이차단된중에도이동한장치의이동량을계측할수 있도록하는 2개의절대형엔코더를이용한절대위치계측장치및 계측방법에관한것이다. 본발명에따른 2개의절대형엔코더를이용한절대위치계측장치는상기측정대상물의이동에따라회전하는회전축(104)에결합되어, 상기회전축(104)의회전각도에따른값을측정하여출력하는정밀측정용절대형엔코더인정밀엔코더(112)와; 상기회전축(104)에형성되는기어(105)와맞물려회전축(104)의회전속도를감속하는감속기어(106)와; 상기감속기어(106)에의해감속된회전각도에따른회전각도값을측정하여출력하는광역측정용절대형엔코더인광역엔코더(113)와; 상기정밀엔코더(112) 및광역엔코더(113)의측정값을분석하여측정대상물의이동에따른절대위치값을계산하는절대위치계측컨트롤러(200);를포함하여이루어져, 긴거리에대한절대위치를정밀하게계측할수 있도록제공된다.
摘要翻译：在本发明中，两个绝对型编码器与合适的减速装置组合以精确测量相对于长距离的绝对位置以测量物理位移量，并且两个绝对类型一种绝对位置测量装置和一种使用编码器的测量方法。根据本发明的使用两个绝对值编码器的绝对位置测量装置耦合到根据测量对象的移动而旋转的旋转轴104，并且该旋转轴104用于根据测量对象的全速度测量值，精密编码器112是用于测量的绝对编码器; 与形成在旋转轴104上的齿轮105啮合以减小旋转轴104的旋转速度的减速齿轮106; 作为用于广域测量的绝对编码器的广角编码器113，其根据由减速齿轮106减速的旋转角度来测量和输出旋转角度值; 绝对位置测量控制器200用于分析精确编码器112和广角编码器113的测量值并根据测量对象的移动计算绝对位置值，它用于精确测量。

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