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热词
    • 1. 发明授权
    • 액 처리 장치
    • KR102364953B1
    • 2022-02-17
    • KR1020210076668
    • 2021-06-14
    • H01L21/67B08B17/00
    • 컵체의주위의분위기를청정한상태로유지하는것이가능한액 처리장치를제공한다. 액처리장치(16)는, 회전하는기판(W)에대하여처리액을공급하여액 처리를행하고, 포위부재(20, 23, 24)는, 회전하는기판(W)을둘러싸고기판의상방에개구가마련된컵체(50)의상방공간을포함하는영역을, 상기컵체(50)보다외방측에서둘러싼다. 기류형성부(21)는, 컵체(50)의상방측으로부터하강기류를형성하고, 바닥면부(28)는, 컵체(50)와포위부재(20, 23, 24) 사이를둘레방향을따라막는다. 컵체(50)보다외측에는, 배기구(241, 231)가마련되어, 바닥면부(28)보다상방으로서, 포위부재(20, 23, 24) 및바닥면부(28)로둘러싸이는영역을배기한다.
    • 5. 发明公开
    • 태양집광패널 세정방법
    • 用于太阳能光伏通道的清洁装置及其清洁方法
    • KR1020120105274A
    • 2012-09-25
    • KR1020110022985
    • 2011-03-15
    • (주)인바이어플랜텍
    • 윤병돈
    • B08B3/04B08B5/02B08B1/00B08B17/00
    • PURPOSE: Solar panel cleaning equipment and a cleaning method thereof are provided to prevent adhesive organic and inorganic pollutants and high conductive ionic materials on a solar panel after cleaning by using pure water for the cleaning to remove residual ionic materials. CONSTITUTION: Solar panel cleaning equipment(2) comprises a cleaning water supplying unit and a cleaner member(40) and jets cleaning water to a solar panel. The cleaning water supplying unit supplies one of negative ionic water(20A) and pure water as cleaning water. The cleaner member wipes off the cleaned solar panel.
    • 目的:提供太阳能电池板清洁设备及其清洁方法,通过使用纯水清洗残留的离子材料,在清洁后,在太阳能电池板上防止粘合剂有机和无机污染物和高导电离子材料。 规定:太阳能电池板清洁设备(2)包括清洁水供应单元和清洁器构件(40),并将清洁水喷射到太阳能电池板。 清洗水供给单元将负离子水(20A)和纯水中的一种作为清洗水供给。 清洁部件擦拭清洁的太阳能电池板。
    • 6. 发明公开
    • 방진 장치
    • 防尘装置
    • KR1020100074838A
    • 2010-07-02
    • KR1020080133376
    • 2008-12-24
    • 주식회사 포스코
    • 김대일
    • B08B15/00B08B15/02B08B17/00B08B17/02
    • PURPOSE: A dust preventing device is provided to supply information, since characters or figures are formed by dust attached to a dust preventing unit. CONSTITUTION: A dust preventing device(100) comprises a dust preventing unit(101), a drive unit(102), an altitude holding unit(103), and a dust collecting unit(104). The dust preventing unit is unfolded or folded. The dust preventing unit which is unfolded attaches the dust using static electricity. The drive unit is located on the lower part of the dust preventing unit, and the altitude holding unit is located on the upper part of the dust preventing unit. The drive unit unfolds or folds the dust preventing unit. The altitude holding unit maintains the unfolded dust preventing unit.
    • 目的:提供防尘装置来提供信息,因为字符或图形由附着在防尘单元上的灰尘形成。 构成:防尘装置(100)包括防尘单元(101),驱动单元(102),高度保持单元(103)和集尘单元(104)。 防尘单元展开或折叠。 展开的防尘单元利用静电附着灰尘。 驱动单元位于防尘单元的下部,高度保持单元位于防尘单元的上部。 驱动单元展开或折叠防尘单元。 高度保持单元保持展开的防尘单元。
    • 7. 发明公开
    • 캡처 기판을 위한 시스템 및 방법
    • 用于捕获衬底的系统和方法
    • KR1020080032645A
    • 2008-04-15
    • KR1020087005114
    • 2006-07-31
    • 엔테그리스, 아이엔씨.
    • 알바레즈다니엘제이알.스코긴스트로이비.스피겔만제프리제이.
    • C23C16/44B08B17/00G01N33/00H01L21/322
    • B08B17/00
    • A method of detecting a molecular species in an electronics processing environment is disclosed. The method exposes a capture substrate to the processing environment. The capture substrate has a surface area different from the surface area of an electronic substrate undergoing electronics processing. The molecular species is transferred from the environment to the capture substrate. A characteristic of the molecular species is identified, thereby detecting the species. Other methods utilize a capture substrate to remove the molecular species from an electronic processing environment, or use the capture substrate to determine the presence of a molecular species in a transfer container operating between two process environments or two intermediate process steps. Systems for carrying out the methods are also disclosed.
    • 公开了一种在电子处理环境中检测分子种类的方法。 该方法将捕获衬底暴露于处理环境。 捕获基板具有与经历电子处理的电子基板的表面积不同的表面积。 分子物质从环境转移到捕获底物。 鉴定出分子物种的特征,从而检测物种。 其他方法利用捕获底物从电子处理环境中除去分子物质,或使用捕获底物来确定在两个工艺环境或两个中间工艺步骤之间操作的转移容器中分子物质的存在。 还公开了用于实施方法的系统。
    • 10. 发明公开
    • 공작기계에 착탈가능한 집진장치
    • 切片收集装置可拆卸到机器工具
    • KR1020150145142A
    • 2015-12-29
    • KR1020140074598
    • 2014-06-18
    • 주식회사 하기시스템김재성
    • 김재성나상만
    • B23Q11/00B08B17/00B23Q11/10B08B5/04
    • 집진장치가내장되어있지않은가공기에서용이하게착탈될수 있고가공시에발생하는절삭분을효과적으로집진할수 있는집진장치. 집진장치는가공기에서가공툴이부착되는가공부의하측에체결되어설치될수 있는집진모듈헤드와, 상기집진모듈헤드의하부에착탈될수 있는중공의집진덕트를구비하여, 상기집진덕트를가공조건에맞게교체할수 있게되어있다. 집진모듈헤드및 상기집진덕트중 어느하나에는자석이부착되어있고, 다른하나가자성체부분을포함하며, 이에따라집진모듈헤드와집진덕트가자석의자력에의해결합된다. 집진모듈헤드및 집진덕트중 어느하나에는, 절삭제분사노즐과, 상기절삭제분사노즐에유체흐름경로상으로연결되는절삭제배관접속구와, 외부의흡입장치에유체흐름경로상으로연결될수 있는집진배관접속구가마련되어있다. 바람직한실시예에있어서, 집진모듈헤드에는절삭제분사노즐에절삭제를공급하기위한절삭제유로와, 집진되는절삭분의통로로작용하며절삭제배관접속구까지연장되는절삭분유로가형성되어있다. 절삭분을효과적으로집진할수 있고, 집진덕트를교체하여가공조건에최적화할수 있으며, 콤팩트하여가공툴의동작에영향을주지않는효과가있다.
    • 本发明提供一种能够容易地从没有集尘装置的处理装置安装和拆卸的集尘装置,并且有效地收集在进行加工工作时产生的切削屑。 集尘装置包括:集尘模块头; 和集尘管。 灰尘收集模块头被安装成联接到处理装置的处理部分的下侧,允许加工工具附接到处理装置。 集尘管具有中空形状,并且可拆卸地安装在集尘模块头部上。 因此,可以根据加工条件来更换除尘管道。 一个吸尘模块头部和集尘管道上的一个磁铁,另一个除尘模块头部和集尘管道包括一个磁体,使得集尘模块头部和集尘管道 通过磁铁的磁力耦合。 集尘模块头和集尘管中的一个包括:切削液注入喷嘴; 切削液管连接部件; 和集尘管连接部。 切割流体管连接部分连接到切割流体注入喷嘴以定位在液体流动路径上。 集尘管连接部分连接到外部抽吸装置以定位在流体流动路径上。 根据本发明的一个实施例,集尘模块头部包括:切削液流动路径,用于将切削流体供给到切削液注入喷嘴; 以及作为收集的切割废料的路径的切割废料流路,并且延伸到切割流体管连接部。 可以有效地收集切屑,可以更换除尘管,从而优化加工条件。 此外,集尘装置具有紧凑的结构,因此它不会干扰加工工具的操作。