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    • 8. 发明授权
    • 오염 방지 기능이 구비된 기판 건조 장치
    • KR102254188B1
    • 2021-05-21
    • KR1020190093646
    • 2019-08-01
    • 무진전자 주식회사
    • 이철수
    • H01L21/67H01L21/687B08B15/00
    • 본발명은기판건조과정에서발생하는기류에의한기판오염을방지하는오염방지기능이구비된기판건조장치에관한것이다. 본발명은챔버, 상기챔버의내부에배치되어회전구동되는스핀척(spin chuck), 상기스핀척의상면에설치되어처리대상인기판이이탈되지않도록그립(grip)하여지지하는지지핀, 상단부가상기지지핀에의해지지되는기판보다높게위치하도록상기챔버의내부에배치된제1 컵(cup), 상단부가상기기판보다낮고상기스핀척의상면보다높게위치하도록상기제1 컵의내부에배치된제2 컵및 상단부가상기스핀척의하면보다낮게위치하도록상기제2 컵의내부에배치된제3 컵을포함한다. 본발명에따르면, 기판건조과정에서기판과지지핀의회전에의해발생하는기류성분을외부로배출하기위한경로와스핀척의회전에의해발생하는기류성분을외부로배출하기위한경로를별도로이중적으로구성하여기판건조과정에서발생하는기류에의한기판오염을효율적으로방지할수 있다.